基于MEMS芯片的露点检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了基于MEMS芯片的露点检测装置，属于大气检测的技术领域。露点检测装置包括：散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，通过微机械工艺加工在镜面上方透明板阵列，透明板阵列与镜面之间的支撑物，所述透明板阵列、支撑物均为高导热材料，使透明板和镜面温度一致，从而透明板在镜面结露的同时也结露；透明板结露使反射光在光通路上有更多的衰减，有利于反射光信号的变化幅度增加，提高了露点检测仪的灵敏度和响应速度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于MEMS芯片的露点检测装置，包括散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，其特征在于：所述基于MEMS芯片的露点检测装置还包括：透明板阵列以及支撑板，所述支撑板通过微机械加工工艺制备在镜面上，所述透明板阵列通过微机械加工工艺制备在支撑板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘清惓，谢钟镭，邓俊，张加宏，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：发明
国别省市：