【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种两自由度高速并联扫描平台,其特征在于,包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、关节轴承和PSD位置传感器;?所述反射镜轴机构包括主轴、反射镜、反射镜支架、调平螺钉和激光发射器,所述主轴为一端直径较大一端直径较小的阶梯轴,其轴心处具有一轴向的通孔,所述反射镜固定于反射镜支架上,反射镜支架通过多个调平螺钉固定于主轴大轴端的端面,所述激光发射器固定于主轴轴心处的通孔内,其激光发射方向沿主轴的轴心穿过通孔,指向主轴的小轴端;?所述主轴的大轴端固定于关节轴承的内圈,关节轴承的外圈固定于机壳上;?所述PSD位置传感器固定于机壳上,与主轴的小轴端相对设置;?两个直线驱动机构活动安装于机壳内,分别为第一直线驱动机构和第二直线驱动机构,所述第一直线驱动机构和第二直线驱动机构的运动输出端分别与主轴连接,驱动主轴在关节轴承上绕关节轴承的旋转中心摆动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李凯格,张弓,陈贤帅,王映品,周雪峰,梁济民,孙克争,
申请(专利权)人:广州中国科学院先进技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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