下载两自由度高速并联扫描平台的技术资料

文档序号:9478149

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本实用新型涉及一种两自由度高速并联扫描平台,包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、关节轴承和PSD位置传感器。本实用新型实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反射镜结构,只需一次反射即可完成扫描工作,避免了双镜反射带来...
该专利属于广州中国科学院先进技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广州中国科学院先进技术研究所授权不得商用。

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