【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带闭环控制系统的微机电干涉平台,其特征在于:包括光路系统和闭环控制电路系统(1);?所述光路系统包括激光光源(2)、第一分光镜(3)、第二分光镜(5)、第一微镜(6)、第一四象限探测器(4)、第三分光镜(11)、第二微镜(9)、第二四象限探测器(12);?第一分光镜(3)用于把激光光源(2)发出的一束激光分成相同的两束光,一束打在第二分光镜(5)上,一束打在第三分光镜(11)上;?第二分光镜(5)用于将一束光分成相同的两束光,一束打在第一微镜(6)上,一束打在外部吸收,第一微镜(6)反射后的光打在第一四象限探测器(4)上;?第三分光镜(11)用于将一束光分成两束光,一束打在第二微镜(9)上,一束打在外部吸收,第二微镜(9)反射的光打在第二四象限探测器(12)上;?所述闭环控制电路系统(1)包括数据处理模块(102),信号整形模块(104),光电转换模块(105)和数据转换模块(103);?所述数据处理模块(102)是程序运算的中心,负责算法的运行和功能调度;?所述信号整形模块(104)用于将采集到的光电信号和驱动信号调整到合适的范围;?所述光电转换模块(105)是将四象限探测器检测 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:兰树明,谢会开,陈巧,王元光,王卫喜,周正伟,
申请(专利权)人:无锡微奥科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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