【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置,其特征在于,包括:外腔体(10),其设有用于基片(100)进出的外腔体入口和外腔体出口,所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置(11、12);位于所述外腔体(10)内的至少两个反应腔体(20),每个所述反应腔体(20)设有用于基片(100)进出的反应腔体入口和反应腔体出口,所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置(21、22),所述反应腔体(20)上分别设有硒蒸汽管(40)或硫蒸汽管(50);置于所述反应腔体(20)外的多个加热器(23);包覆在所述反应腔体(20)外的热反射层(30),所述加热器(23)置于所述反应腔体(20)和热反射层(30)之间;以及输送基片(100)进出所述反应腔体(20)的输送机(101)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钱青,龚立光,
申请(专利权)人:英莱新能上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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