下载铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置的技术资料

文档序号:9272188

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本发明公开了一种铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置,该装置包括:外腔体,其设有用于基片进出的外腔体入口和外腔体出口,所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置;位于所述外腔体内的至少两个反应腔体,每个所述反应腔体设有用于基片进...
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