预对准机的标定方法技术

一种预对准机的标定方法，一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：机械手将晶圆放置在预对准机上，晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点；预对准机识别第一位置点在第一坐标系中的坐标；机械手驱使晶圆沿机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一距离，晶圆的圆心到达一第二位置点；预对准机识别出第二位置点在第一坐标系中的坐标；计算第一位置点与第二位置点的连线与第一坐标系的横轴之间的夹角，即为第一坐标系与第二坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是一种确定预对准机与机械手坐标系相对位置的标定方法。
技术介绍
随着工业的发展，大量的自动化工具引入工业生产中，例如在晶圆的组装过程中，首先是识别晶圆的缺口，而现有技术是采用真空吸附式单轴预对准机，单轴预对准机使用时都需要与机械手共同来完成对晶圆的预对准(识别晶圆圆心及缺口或切边位置并使缺口或切边朝向某一预设的方向)，并且大多采用真空吸附式机械手。当预对准机识别出晶圆圆心后，应由机械手调整晶圆位置，使预对准机上真空吸盘的转轴通过晶圆圆心。若此时不知道预对准机与机械手坐标系的相对位置信息(方向和距离)，则系统将无法给机械手指令指示其对晶圆做出准确的调整，预对准结束后也无法得知晶圆在机械手上的确切位置，预对准将失去意义。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种方便准确的。一种，所述标定方法包括:一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤:所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(xl, yl),所述机械手驱使所述晶圆沿所述机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一定长度的距离，记为AX，所述晶圆的圆心从所述第一位置点到达一第二位置点，所述预对准机识别出所述第二位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x2，y2)，计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的夹角，所述夹角即为所述第一坐标系与所述第二坐标系的相对方向，记为Z 9，所述Z 0即为所述机械手与预对准机坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。在一实施方式中，所述标定方法还包括:所述机械手和预对准机坐标系相对位置的确定，包括步骤:所述机械手将所述晶圆放置在所述预对准机上，所述晶圆的圆心位置位于所述第一坐标系的一第四位置点，所述预对准机识别出所述第四位置点在所述第一坐标系中的第四坐标值，所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动一第一角度，使所述晶圆的圆心到达所述第一坐标系中一第五位置，所述预对准机识别所述第五位置在所述第一坐标系中的第五坐标值，所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动一第二角度，使所述晶圆的圆心到达所述第一坐标系中一第六位置，所述预对准机识别所述第六位置在所述第一坐标系中的第六坐标值，由所述第四、五、六位置的坐标计算出所述第二坐标系的原点在所述第一坐标系中的坐标，得到所述第二坐标系的原点与所述第一坐标系的原点之间的距离，得到所述机械手和预对准机坐标系的相对位置。在一实施方式中，所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动第七角度、第八角度......第N角度，所述预对准机识别出所述晶圆的圆心位置在第一坐标系中的第七坐标值、第八坐标值......第N坐标值；任取所述第四坐标值、第五坐标值......第N坐标值中三个位置的坐标值；通过圆拟合方法求出第二坐标系的原点在所述预对准机的第一坐标系中的坐标值。第二坐标系的原点在所述预对准机的第一坐标系中的坐标值即为所述机械手与所述预对准机的坐标系的相对位置。在一实施方式中，所述圆拟合方法采用最小二乘法。在一实施方式中,所述夹角的计算公式为Z 0 = arctan (y2-yl)/(x2_xl)。在一实施方式中，计算所述夹角的方法还可通过以下步骤:假设所述晶圆的圆心沿所述第一坐标系的横轴移动AX距离会到达一第三位置；所述预对准机识别所述第三位置在所述第一坐标系中的坐标，则所述第三位置的坐标为(xl+AX, yl)；连接所述第一位置点、所述第二位置点及所述第三位置点，形成一以AX为腰的等腰三角形，且所述第一位置点与所述第二位置点之间的长度等于AX，记为b，所述第一位置点与所述第三位置点的长度等于AX，记为a，则所述第一位置点与所述第三位置点的长度记为c，则权利要求1.一种，其特征在于，所述标定方法包括: 一机械手将一晶圆放置在一预对准机上； 所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤: 所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(xl, yl), 所述机械手驱使所述晶圆沿所述机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一定长度的距离，记为AX，所述晶圆的圆心从所述第一位置点到达一第二位置点， 所述预对准机识别出所述第二位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x2，y2)， 计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的夹角，所述夹角即为所述第一坐标系与所述第二坐标系的相对方向，记为Z 9， 所述Z 9即为所 述机械手与预对准机坐标系的相对方向； 所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。2.如权利要求1所述的，其特征在于，所述标定方法还包括: 所述机械手和预对准机坐标系相对位置的确定，包括步骤: 所述机械手将所述晶圆放置在所述预对准机上，所述晶圆的圆心位置位于所述第一坐标系的一第四位置点， 所述预对准机识别出所述第四位置点在所述第一坐标系中的第四坐标值， 所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动一第一角度，使所述晶圆的圆心到达所述第一坐标系中一第五位置， 所述预对准机识别所述第五位置在所述第一坐标系中的第五坐标值， 所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动一第二角度，使所述晶圆的圆心到达所述第一坐标系中一第六位置， 所述预对准机识别所述第六位置在所述第一坐标系中的第六坐标值， 由所述第四、五、六位置的坐标计算出所述第二坐标系的原点在所述第一坐标系中的坐标，得到所述第二坐标系的原点与所述第一坐标系的原点之间的距离， 得到所述机械手和预对准机坐标系的相对位置。3.如权利要求2所述的，其特征在于，由所述第四、五、六位置的坐标计算出所述第二坐标系的原点在所述第一坐标系中的坐标。4.如权利要求2所述的，其特征在于，所述机械手和预对准机坐标系相对位置的确定，还包括步骤: 所述机械手驱使所述晶圆绕所述第二坐标系的原点转动第七角度、第八角度......第N角度，所述预对准机识别出所述晶圆的圆心位置在第一坐标系中的第七坐标值、第八坐标值......第N坐标值； 任取所述第四坐标值、第五坐标值......第N坐标值中三个位置的坐标值； 通过圆拟合方法求出第二坐标系的原点在所述预对准机的第一坐标系中的坐标值。第二坐标系的原点在所述预对准机的第一坐标系中的坐标值即为所述机械手与所述预对准机的坐标系的相对位置。5.如权利要求4所述的，其特征在于，所述圆拟合方法采用最小二乘法。6.如权利要求1所述的，其特征在于，计算所述夹角的方法为计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的斜率。7.如权利要求5所述的，其特征在于，所述夹角的计算公式为Z 9 = arctan(y2-yl)/ (x2_xl)。8.如权利要求1所述的，其特征在于，计算所述夹角的方法还可通过以下步骤: 假设所述晶圆的圆心沿所述第一坐标系的横轴移动AX距离会到达一第三位置； 所述预对准机识别所述第三位置在所述第一坐标系中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种预对准机的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x1，y1)，所述机械手驱使所述晶圆沿所述机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一定长度的距离，记为ΔX，所述晶圆的圆心从所述第一位置点到达一第二位置点，所述预对准机识别出所述第二位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x2，y2)，计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的夹角，所述夹角即为所述第一坐标系与所述第二坐标系的相对方向，记为∠θ，所述∠θ即为所述机械手与预对准机坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曲道奎，徐方，张鹏，温燕修，李学威，孙义田，郑鋆，王鲁非，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：