预对准机的标定方法技术

一种预对准机的标定方法，一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：机械手将晶圆放置在预对准机上，晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点；预对准机识别第一位置点在第一坐标系中的坐标；机械手驱使晶圆沿机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一距离，晶圆的圆心到达一第二位置点；预对准机识别出第二位置点在第一坐标系中的坐标；计算第一位置点与第二位置点的连线与第一坐标系的横轴之间的夹角，即为第一坐标系与第二坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是一种确定预对准机与机械手坐标系相对位置的标定方法。
技术介绍
随着工业的发展，大量的自动化工具引入工业生产中，例如在晶圆的组装过程中，首先是识别晶圆的缺口，而现有技术是采用真空吸附式单轴预对准机，单轴预对准机使用时都需要与机械手共同来完成对晶圆的预对准(识别晶圆圆心及缺口或切边位置并使缺口或切边朝向某一预设的方向)，并且大多采用真空吸附式机械手。当预对准机识别出晶圆圆心后，应由机械手调整晶圆位置，使预对准机上真空吸盘的转轴通过晶圆圆心。若此时不知道预对准机与机械手坐标系的相对位置信息(方向和距离)，则系统将无法给机械手指令指示其对晶圆做出准确的调整，预对准结束后也无法得知晶圆在机械手上的确切位置，预对准将失去意义。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种方便准确的。一种，所述标定方法包括:一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤:所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(xl, yl),所述机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种预对准机的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x1，y1)，所述机械手驱使所述晶圆沿所述机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一定长度的距离，记为ΔX，所述晶圆的圆心从所述第一位置点到达一第二位置点，所述预对准机识别出所述第二位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x2，y2)，计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的夹角...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曲道奎，徐方，张鹏，温燕修，李学威，孙义田，郑鋆，王鲁非，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：