一种用于标定多个相机平行性的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于标定多个相机平行性的装置，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定mark，所述标定mark包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低，通过三个高度不一致的标定mark，在测量相机位置关系的同时，增加了多个相机平行性标定功能，有效的解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光直写曝光
，具体涉及一种用于标定多个相机平行性的装置，是激光直写曝光机的组成部分。
技术介绍
多个相机平行性标定是半导体直写曝光设备性能调试的重要组成部分，良好的多个相机平行性可以保证不同板厚的PCB板对准结果的准确性。目前，现有半导体直写曝光机只具有特定板厚多个相机位置关系标定功能，不具有多个相机平行性标定功能，无法满足不同板厚PCB板对准结果准确性的要求。
技术实现思路
本技术提供一种用于标定多个相机平行性的装置，通过三个高度不一致的标定点，在测量多个相机位置关系的同时，增加了标定多个相机平行性的功能，有效解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种用于标定多个相机平行性的装置，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。优选地，所述标定点一、标定点二和标定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于标定多个相机平行性的装置，其特征在于，包括两自由度的运动平台(10)以及布置在该运动平台上方的第一相机(21)、第二相机(22)和第三相机(23)，所述运动平台(10)上设置有吸盘垫(30)和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一(41)、标定点二(42)和标定点三(43)，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。

【技术特征摘要】
1.一种用于标定多个相机平行性的装置，其特征在于，包括两自由度的运动平台(10)以及布置在该运动平台上方的第一相机(21)、第二相机(22)和第三相机(23)，所述运动平台(10)上设置有吸盘垫(30)和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一(41)、标定点二(42)和标定点三(43)，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述标定点一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏婷，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34