一种用于标定多个相机平行性的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于标定多个相机平行性的装置，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定mark，所述标定mark包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低，通过三个高度不一致的标定mark，在测量相机位置关系的同时，增加了多个相机平行性标定功能，有效的解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光直写曝光
，具体涉及一种用于标定多个相机平行性的装置，是激光直写曝光机的组成部分。
技术介绍
多个相机平行性标定是半导体直写曝光设备性能调试的重要组成部分，良好的多个相机平行性可以保证不同板厚的PCB板对准结果的准确性。目前，现有半导体直写曝光机只具有特定板厚多个相机位置关系标定功能，不具有多个相机平行性标定功能，无法满足不同板厚PCB板对准结果准确性的要求。
技术实现思路
本技术提供一种用于标定多个相机平行性的装置，通过三个高度不一致的标定点，在测量多个相机位置关系的同时，增加了标定多个相机平行性的功能，有效解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种用于标定多个相机平行性的装置，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。优选地，所述标定点一、标定点二和标定点三均位于吸盘垫外侧，其中标定点一的高度与所述运动平台的高度一致，可以便于测量。优选地，所述标定点一包括印有点的覆铜板以及设置在该覆铜板上的压片，所述标定点二和标定点三均包括印有点的覆铜板、设置在该覆铜板上的压片以及设置在该覆铜板下的垫片，通过设置不同高度的垫片来区分三个标定点，标定点一也可以通过增加垫片来改变高度，形成高度依次升高或降低的三个标定点。由以上技术方案可知，本技术通过三个高度不一致的标定点，在测量相机位置关系的同时，增加了多个相机平行性标定功能，有效的解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题；同时，使用印有标定点的覆铜板替代原有标定板，解决了原有标定板尺寸偏大、易碎以及价格昂贵等问题，结构合理、布局紧凑美观、成本低廉。附图说明图1为本技术装置的俯视图；图2为本技术装置的侧视图；图3为本技术优选实施例中第二相机相对于第一相机的X方向平行性示意图；图4为本技术优选实施例中第二相机相对于第一相机的Y方向平行性示意图。图中：10、运动平台，21、第一相机，22、第二相机，23、第三相机，30、吸盘垫，41、标定点一，42、标定点二，43、标定点三。具体实施方式下面结合附图对本技术的一种优选实施方式作详细的说明。如图1和2所示，所述装置包括具有两自由度的运动平台10以及布置在该运动平台上方的第一相机21、第二相机22和第三相机23，三个相机用于对运动平台的位置坐标进行标定。所述运动平台10上设置有吸盘垫30和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一41、标定点二42和标定点三43，三个标定点均位于吸盘垫30外侧，为了满足标定多个相机平行性的目的，所述标定点一、标定点二和标定点三的高度需要依次升高或降低，当采用标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高时，其中标定点一的高度与所述运动平台的高度一致，当采用标定点一、标定点二和标定点三的高度依次降低时，其中标定点三的高度与所述运动平台的高度一致。如图1所示，本实施例中所述标定点一41右侧10mm处设有标定点二42，所述标定点二42右侧10mm处设有标定点三43。如图2所示，所述标定点一41包括印有点的覆铜板以及设置在该覆铜板上的压片，所述标定点二42和标定点三43均包括印有点的覆铜板、设置在该覆铜板上的压片以及设置在该覆铜板下的垫片。本实施例中三个标定点的覆铜板尺寸一致，均从0.5mm厚的覆铜板处剪取，剪取的部分长为10mm、宽为10mm，同时需要覆铜板上印有标定点。所述板厚为0.5mm的覆铜板容易剪裁，在半导体曝光生产厂家取材简单，覆铜板上还涂有铜防氧化剂，有效避免后期的氧化。标定点二中垫片的尺寸(厚度：2mm长：10mm宽：10mm)小于标定点三中垫片的尺寸(厚度：4.5mm长：10mm宽：10mm)。通过设置不同高度的垫片来区分三个标定点，标定点一也可以通过增加垫片来改变高度，形成高度依次升高或降低的三个标定点。在采用本技术装置标定多个相机平行性时，通过三个高度不一致的标定点，在测量相机位置关系的同时，增加了多个相机平行性标定功能，具体步骤如下：1)通过第一相机21采集标定点一41的位置坐标(x1-1,y1-1)，通过第二相机22采集标定点一41的位置坐标(x2-1,y2-1)，以第一相机21作为基准相机，计算第二相机22相对于第一相机21在X方向的相机位置关系Δx12-1＝x2-1-x1-1，计算第二相机22相对于第一相机21在Y方向的相机位置关系Δy12-1＝y2-1-y1-1。2)通过第一相机21采集标定点二42的位置坐标(x1-2,y1-2)，通过第二相机21采集标定点二42的位置坐标(x2-2,y2-2)，以第一相机21作为基准相机，计算第二相机22相对于第一相机21在X方向的相机位置关系Δx12-2＝x2-2-x1-2，计算第二相机22相对于第一相机21在Y方向的相机位置关系Δy12-2＝y2-2-y1-2。3)通过第一相机21采集标定点三43的位置坐标(x1-3,y1-3)，通过第二相机22采集标定点三43的位置坐标(x2-3,y2-3)，以第一相机21作为基准相机，计算第二相机22相对于第一相机21在X方向的相机位置关系Δx12-3＝x2-3-x1-3，计算第二相机22相对于第一相机21在Y方向的相机位置关系Δy12-3＝y2-3-y1-3。4)通过Δx12-1、Δx12-2、Δx12-3数值比较，标定出第二相机22相对于第一相机21的X方向平行性，通过Δy12-1、Δy12-2、Δy12-3数值比较，标定出第二相机22相对于第一相机21的Y方向平行性。5)根据第二相机22相对于第一相机21的X方向平行性和Y方向平行性，修正第二相机22的固定支架的倾斜和俯仰情况，确保第二相机22在X方向和Y方向平行于第一相机21，修改后的平行性需要满足在X方向和Y方向的相机位置关系值相等。在图3所述第二相机22相对于第一相机21的X方向平行性实施例中，Δx12-3>Δx12-2>Δx12-1，表示第二相机22相对于第一相机21向右倾斜，通过调整第二相机22的固定支架向左倾斜，修正第二相机相对于第一相机的X方向平行性。在图4所述第二相机22相对于第一相机21的Y方向平行性实施例中，Δy12-3>Δy12-2>Δy12-1，表示第二相机22相对于第一相机21向后俯仰，通过调整第二相机22的固定支架的俯仰情况，修正第二相机相对于第一相机的Y方向平行性。6)重复上述步骤1)～4)，以第一相机21作为基准相机，测量计算第三相机23相对于第一相机21在X方向的相机位置关系Δx13-1、Δx13-2、Δx13-3，测量计算第三相机23相对于第一相机21在Y方向的相机位置关系Δy13-1、Δ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于标定多个相机平行性的装置，其特征在于，包括两自由度的运动平台(10)以及布置在该运动平台上方的第一相机(21)、第二相机(22)和第三相机(23)，所述运动平台(10)上设置有吸盘垫(30)和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一(41)、标定点二(42)和标定点三(43)，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。

【技术特征摘要】
1.一种用于标定多个相机平行性的装置，其特征在于，包括两自由度的运动平台(10)以及布置在该运动平台上方的第一相机(21)、第二相机(22)和第三相机(23)，所述运动平台(10)上设置有吸盘垫(30)和标定点，所述标定点包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一(41)、标定点二(42)和标定点三(43)，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述标定点一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏婷，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34