本发明专利技术公开了一种等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置，该等离子导引机构包括：套接于等离子放电装置上的壳体，借以与等离子放电装置定义出第一腔室第二腔室，其中等离子放电装置通过电弧放电在第一腔室内生等离子，第一腔室与第二腔室联通，且第二腔室的侧壁具有长形窄孔，用来导引等离子由长形窄孔喷出该壳体外部。因此，本发明专利技术所提供的等离子导引机构确实具有提高等离子放电装置的等离子喷射面积、延长使用寿命以及提供多样等离子喷射角度的优点。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种等离子导引机构，尤其涉及一种适用于等离子放电装置的 等离子导引机构。
技术介绍
等离子的组成包括有电子、离子以及电中性粒子。其中等离子产生的方式，是将所需的气体通入一容器内，在某一气压下加入直流电源、射频(Radio Frequency)或微波(Microwave)能量来源，利用电容式(Capacitive)、电感式 (Inductive)或粒子与波交互作用的方式，使气体崩溃(Breakdown)游离，可以 运用于切割、熔接以及各种材料的表面处理等工业。等离子放电装置，例如等离子炬(Plasma Torch)是一种电弧式大气等离子 放电装置，将等离子能量聚集在一小的体积范围内，将漩流l:作气体部份离子 化，使工作气体产生活化反应，在高功率高能量密度的条件之下提供相对低温 的喷射等离子。由于电弧式大气等离子放电密度高，处理速度快，因此适用于 各种领域的表面处理。然而电弧式大气等离子无法同时产生大面积的电弧放 电，仅能提供点状的喷射等离子，使其应用受到限制。为了解决此问题，美国专利编号第6262386号揭示了一种等离子炬，其外 电极具有斜角式旋转喷嘴，当等离子由作圆周旋转的斜角式旋转喷嘴喷出时， 可增加等离子喷射面积，达到扩大处理面积的效果。然而，等离子炬通过电弧 放电来产生等离子，由内电极放电端所产生的电流必须经过转动中的外电极与 轴承始能接地导通，但外电极在高速旋转的状态下，会使导通的电流不稳而影 响等离子炬表面处理的效率。另外旋转轴承容易因为电流加热造成温度上升而 导致使用寿命减少。又因为旋转中的机构不易与冷却装置搭配，导致等离子炬 长期在高温下工作而降低其使用寿命。美国专利编号第6262356号揭示了另一种等离子炬，将喷出电弧式等离子 的开口设计成条状窄孔喷嘴，使喷出的等离子呈现线状，借以提供较大等离子 喷射面积。然而，由于此种设计电弧放电所产生的电流会加热喷嘴，使喷嘴因 高热而变形。又由于从条状窄孔喷出的等离子呈燕尾状，容易产生窄孔端点的 等离子喷射速度与等离子密度不均的现象。且由于等离子的开口为条状设计在 处理具有高低落差的表面时，会有死角的问题发生。因此，有需要提供一种可提高等离子放电装置的等离子喷射面积以及使用 寿命长、且可提供等离子多种喷射角度的等离子导引装置。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种可提高等离子放电装置的等离 子喷射面积、延长使用寿命以及提供等离子放电装置多种喷射角度的等离子导 引机构。为实现上述目的，本专利技术所提供的等离子导引机构包括套接于等离子放 电装置上的壳体，通过壳体与等离子放电装置定义出第一腔室第二腔室，其中 等离子放电装置通过电弧放电在第一腔室内生等离子，第一腔室与第二腔室联 通，且第二腔室的侧壁具有长形窄孔，用来导引电由长形窄孔喷出该壳体外部。 另外等离子导引机构较佳还包括多个凸块位于腔室之中，并且突出于壳体的内本专利技术的另一目的就是在提供一种具有较高等离子喷射面积以及使用寿 命的等离子放电装置。为实现上述目的，本专利技术提供一等离子放电装置，包括具有管壳部的外 电极、绝缘层、内电极以及等离子导引机构。绝缘层位于管壳部的内侧侧壁上。 内电极设于管壳部内，通过内电极与外电极电弧放电来产生等离子喷出管壳 部。等离子导引机构包括套接于该管壳部上的壳体，通过壳体与该管壳部定义 出一第一腔室及一第二腔室，其中第一腔室用来容纳等离子，且第一腔室与第 二腔室联通，第二腔室的侧壁具有长形窄孔，用来导引等离子由长形窄孔喷出 壳体外部。其中壳体和管壳部较佳为一体成形。本专利技术的又一目的就是在提供一种由多个上述的等离子放电装置所排列 组装而成，可提供平面喷射等离子的等离子放电装置。根据以上所述的较佳实施例，本专利技术的特征采用改良式的等离子导引机构 和等离子放电装置相结合，用来与等离子产生装置定义出两个互相连通的腔室，可容纳并导引等离子由一个长型窄孔喷出，借以提供均匀的线状喷射等离 子，可改善现有技术等离子密度不均的问题，并增加等离子喷射面积。另外再 搭配位于长型窄孔外侧的多个档片，即可提供线状等离子在不同部位具有多种 不同的喷射角度、喷射宽度、强度与距离。又由于本专利技术所提供的等离子导引 机构为固定机构，且构造简单，可搭配冷却系统用来降低等离子放电装置以及 喷射等离子的温度，借以延长等离子放电装置的使用寿命。因此，本专利技术所提供的等离子导引机构确实具有提高等离子放电装置的等 离子喷射面积、延长使用寿命以及提供多样等离子喷射角度的优点。附图说明图1A为根据本专利技术的第一较佳实施例所绘示的一种配有本专利技术的等离子 导引机构的等离子放电装置的剖面示意图； 图1B为垂直图1A的另一结构剖面图；图1C为根据本专利技术第一较佳实施例所绘示的等离子导引机构的底视图； 图2为根据本专利技术的第二较佳实施例所绘示的一种配有本专利技术的等离子导引机构的等离子放电装置的剖面示意图；图3A和图3B分别根据本专利技术的第二和第三较佳实施例所绘示的等离子导引机构的底视图；图4A为根据本专利技术的第四较佳实施例所绘示的一种搭配有本专利技术的等离 子导引机构的等离子放电装置的剖面示意图； 图4B为垂直图4A的另一结构剖面图；图5为根据本专利技术的第五较佳实施例所绘示的一种由多个搭配有等离子 导引机构的等离子放电装置所串联起来的结构剖面图；图6为根据本专利技术的第六较佳实施例所绘示的一种配有本专利技术的等离子 导引机构的等离子放电装置的剖面示意图；图7A为根据本专利技术的第七较佳实施例所绘示的一种内建有本专利技术的等离 子导引机构的等离子炬70的剖面示意图；图7B绘示垂直图7A的另一结构剖面图。其中，附图标记10:等离子放电装置 100:等离子导引机构101:第一腔室102a:管壳部104:绝缘层105b:喷射等离子107:套接口109:长形窄孔110b:凸块112a:冷却水管115:排气孔116b:档片119:通道调整器120:控制孔200:等离子导引机构202:外电极203:等离子开口205a:等离子206:内电极208:壳体210a:凸块212b:冷却水管215:排气孔217:排气通道300:等离子放电装置316a:档片 316a':档片40:等离子放电装置 401:第一腔室402a:管壳部 404:绝缘层 405b:喷射等离子102:外电极 103:等离子开口105a:等离子 106:内电极 108:壳体110a:凸块111:第二腔室 113:等离子通道116a:档片117:排气通道119a:阻挡部20:等离子放电装置201:第一腔室202a:管壳部 204:绝缘层 205b:喷射等离子 207:套接口 209:长形窄孔 211:第二腔室 213:等离子通道216a:档片219:通道调整器300，等离子放电装置316b:档片316b，档片400:等离子导引机构402:外电极403:等离子开口405a:等离子406:内电极407:套接口 409:长形窄孔 410b:凸块 412a:冷却水管415:排气孔 416b:档片 417:排气通道419a:阻挡部50a:等离子放电装置50C:等离子放电装置 60:等离子放电装置 601:第一腔室 602a:管壳部 604:绝缘层 605b:喷射等离子 607:套接口 609:长形窄孔610b本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种等离子导引机构，其特征在于，包括： 一壳体，套接于一等离子放电装置上，借以与该等离子放电装置定义出一第一腔室及一第二腔室，其中该等离子放电装置通过电弧放电在该第一腔室内生一等离子，该第一腔室与该第二腔室联通，且该第二腔室的侧壁具有一长形窄孔，用来容纳并导引该等离子由该长形窄孔喷出该壳体外部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：洪昭南，徐逸明，梁国超，王俊尧，李志勇，王亮钧，陈俊钦，陈彦政，
申请(专利权)人：馗鼎奈米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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