极化设备制造技术

一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。

【技术实现步骤摘要】
极化设备
本专利技术是有关于一种压电材料的极化技术，且特别是有关于一种极化设备。
技术介绍
近年来，压电材料的应用相当广泛，这些应用包含例如电子产品触控感测器、军机回声定位、以及超音波蜂鸣器等。为了满足特殊应用的需求，压电材料有时须做成薄膜。一般而言，需经过压电涂料制备、压电涂料涂布、以及压电涂膜的极化处理后，才能得到具有压电特性的薄膜。由于压电材料里的分子架构有不对称的特性，因此带正电和负电的物质分布不均匀，而造成分子架构里有局部正极和局部负极。这样的特性是压电材料产生极性的来源，极性方向定义为从局部负极至局部正极的方向。晶格具有相同极性方向的区域叫做电域。压电材料中的电域的极性方向常常没有规则性而互相抵消，易造成整块压电材料没有极性，进而无法呈现材料本身的压电特性。因此，通常需对压电材料进行极化制程，方能使压电材料的电域方向一致而呈现压电特性。非接触式极化技术是以高电场进行极化，以将压电薄膜里的分子沿着电场分布整齐地排列，而使压电薄膜呈现压电特性。由于电晕放电(coronadischarge)容易生成，且能提供进行极化制程所需的高电场环境，因此目前都使用电晕放电技术来提供电子来源。在一些采电晕放电技术的极化设备中，电子会先经过具有负性高电压网(grid)才到待极化的表面。然而，电晕放电极化技术有许多缺点。举例而言，电晕放电时易产生电弧，而击穿损坏待极化工件。为了避免电弧产生，电场就不能太强，如此会造成压电材料的极化效果或速度有限。此外，由于电晕放电的特性是局部放电，例如单点放电或多点放电，且不均匀，因此处理大面积的压电薄膜时，会有很多处理盲区或极化不均匀的问题。而为了提升压电薄膜的极化制程的均匀性，一般使用传动机构来移动及/或旋转电极及/或待极化工件，以使待极化工件上的压电薄膜的所有表面能充分地暴露在放电区之中。但，这样的方式会拉长整个极化制程的时间，且在压电薄膜尺寸大时，旋转或移动机制需要更大的空间才能完成。
技术实现思路
因此，本专利技术的一目的就是在提供一种极化设备，其以介电质屏蔽放电(dielectricbarrierdischarge，DBD)电浆源来取代习知电晕放电源，借此可产生二维均匀电浆，故可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。本专利技术的另一目的是在提供一种极化设备，其可产生均匀电浆，因此可无需增设移动机构及/或旋转机构，也不用拉长极化处理的时间，不仅可加快极化速度，更可降低设备成本与减少设备所需空间。而且，极化设备可应用于批量式(batch)极化制程、连续式(in-line)极化制程、连续式卷对卷(roll-to-roll)极化制程，应用性广泛。根据本专利技术的上述目的，提出一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器或脉冲直流电源供应器(通称“介电质屏蔽放电电源供应器”)、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且此导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。依据本专利技术的一实施例，上述的介电质屏蔽放电电浆源包含电极以及介电层。电极与第一极电性连接。介电层接合在电极的底面。依据本专利技术的一实施例，上述的电网包含网格状结构或数个排线，这些排线以一预设间距排列。根据本专利技术的上述目的，另提出一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电偏压电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中此工件包含压电材料薄膜。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电偏压电源供应器包含第五极与第六极，其中第五极电性连接导电载台，第六极接地，以提供导电载台一偏压。依据本专利技术的一实施例，上述的极化设备，还包含电网以及直流电源供应器。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。依据本专利技术的一实施例，上述的电网包含网格状结构或数个排线，这些排线以一预设间距排列。根据本专利技术的上述目的，又提出一种极化设备。此极化设备包含腔体、数个导电载台、数个介电质屏蔽放电电浆源、数个电网、至少一介电质屏蔽放电电源供应器、以及至少一直流电源供应器。腔体具有腔室。导电载台设于腔室内，其中每个导电载台具有承载面配置以承载工件，每个工件包含压电材料薄膜，且这些导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于腔室内，且分别对应设于上述承载面的上方，其中这些介电质屏蔽放电电浆源配置以朝对应的承载面上的压电材料薄膜施加电浆。电网分别设于承载面与对应的介电质屏蔽放电电浆源之间。每个介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。每个直流电源供应器包含第三极与第四极，第三极电性连接电网，第四极接地。依据本专利技术的一实施例，上述的每个电网包含网格状结构或数个排线，这些排线以一预设间距排列。根据本专利技术的上述目的，再提出一种极化设备。此极化设备包含腔体、数个导电载台、数个介电质屏蔽放电电浆源、至少一介电质屏蔽放电电源供应器、以及至少一直流电偏压电源供应器。腔体具有腔室。导电载台设于腔室内，其中每个导电载台具有承载面配置以承载工件，每个工件包含压电材料薄膜。介电质屏蔽放电电浆源设于腔室内，且分别对应设于承载面的上方，其中这些介电质屏蔽放电电浆源配置以朝对应的承载面上的压电材料薄膜施加电浆。每个介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。每个直流电偏压电源供应器包含第五极与第六极，第五极电性连接导电载台，第六极接地，以提供每个导电载台一偏压。依据本专利技术的一实施例，上述的极化设备还包含数个电网以及至少一直流电源供应器。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。每个直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。依据本专利技术的一实施例，上述的每个电网包含网格状结构或数个排线，这些排线以一预设间距排列。根据本专利技术的上述目的，再提出一种极化设备。此极化设备包含至少一导电传送机构、至少一介电质屏蔽放电电浆源、至少一电网、至少一介电质屏蔽放电电源供应器、以及至少一直流电源供应器。导电传送机构配置以朝一方向载送连续式工件，其中此连续式工件包含压电材料薄膜，且导电传送机构接地。介电质屏蔽放电电浆源设于导电传送机构的一预设区段的上方，且配置以朝通过预设区段的压电材料薄膜施加电浆。电网设于导电传送机构的预设区段与介电质屏蔽放电电浆源之间。每个介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：/n一导电载台，具有一承载面配置以承载一工件，其中该工件包含一压电材料薄膜，且该导电载台接地；/n一介电质屏蔽放电电浆源，设于该承载面的上方，且配置以朝该压电材料薄膜施加电浆；/n一电网，设于该承载面与该介电质屏蔽放电电浆源之间；/n一介电质屏蔽放电电源供应器，包含一第一极与一第二极，其中该第一极电性连接该介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及/n一直流电源供应器，包含一第三极与一第四极，其中该第三极电性连接该电网，该第四极接地。/n

【技术特征摘要】
20191125 TW 1081427861.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：
一导电载台，具有一承载面配置以承载一工件，其中该工件包含一压电材料薄膜，且该导电载台接地；
一介电质屏蔽放电电浆源，设于该承载面的上方，且配置以朝该压电材料薄膜施加电浆；
一电网，设于该承载面与该介电质屏蔽放电电浆源之间；
一介电质屏蔽放电电源供应器，包含一第一极与一第二极，其中该第一极电性连接该介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及
一直流电源供应器，包含一第三极与一第四极，其中该第三极电性连接该电网，该第四极接地。


2.根据权利要求1所述的极化设备，其特征在于，该介电质屏蔽放电电浆源包含：
一电极，与该第一极电性连接；以及
一介电层，接合在该电极的一底面。


3.根据权利要求1所述的极化设备，其特征在于，该电网包含一网格状结构或多个排线，该些排线以一预设间距排列。


4.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：
一导电载台，具有一承载面配置以承载一工件，其中该工件包含一压电材料薄膜；
一介电质屏蔽放电电浆源，设于该承载面的上方，且配置以朝该压电材料薄膜施加电浆；
一介电质屏蔽放电电源供应器，包含一第一极与一第二极，其中该第一极电性连接该介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及
一直流电偏压电源供应器，包含一第五极与一第六极，其中该第五极电性连接该导电载台，该第六极接地，以提供该导电载台一偏压。


5.根据权利要求4所述的极化设备，其特征在于，该极化设备还包含：
一电网，设于该承载面与该介电质屏蔽放电电浆源之间；以及
一直流电源供应器，包含一第三极与一第四极，其中该第三极电性连接该电网，该第四极接地。


6.根据权利要求5所述的极化设备，其特征在于，该电网包含一网格状结构或多个排线，该些排线以一预设间距排列。


7.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：
一腔体，具有一腔室；
多个导电载台，设于该腔室内，其中每一该些导电载台具有一承载面配置以承载一工件，每一该些工件包含一压电材料薄膜，且该些导电载台接地；
多个介电质屏蔽放电电浆源，设于该腔室内，且分别对应设于该些承载面的上方，其中该些介电质屏蔽放电电浆源配置以朝对应的该些承载面上的该些压电材料薄膜施加电浆；
多个电网，分别设于该些承载面与对应的该些介电质屏蔽放电电浆源之间；
至少一介电质屏蔽放电电源供应器，其中每一该至少一介电质屏蔽放电电源供应器包含一第一极与一第二极，该第一极电性连接该些介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及
至少一直流电源供应器，其中每一该至少一直流电源供应器包含一第三极与一第四极，该第三极电性连接该些电网，该第四极接地。


8.根据权利要求7所述的极化设备，其特征在于，每一该些电网包含一网格状结构或多个排线，该些排线以一预设间距排列。


9.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：
一腔体，具有一腔室；
多个导电载台，设于该腔室内，其中每一该些导电载台具有一承载面配置以承载一工件，每一该些工件包含一压电材料薄膜；
多个介电质屏蔽放电电浆源，设于该腔室内，且分别对应设于该些承载面的上方，其中该些介电质屏蔽放电电浆源配置以朝对应的该些承载面上的该些压电材料薄膜施加电浆；
至少一介电质屏蔽放电电源供应器，其中每一该至少一介电质屏蔽放电电源供应器包含一第一极与一第二极，该第一极电性连接该些介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及
至少一直流电偏压电源供应器，其中每一该至少一直流电偏压电源供应器包含一第五极与一第六极，该第五极电性连接该些导电载台，该第六极接地，以提供每一该些导电载台一偏压。


10.根据权利要求9所述的极化设备，其特征在于，该极化设备还包含：
多个电网，设于该承载面与该介电质屏蔽放电电浆源之间；以及
至少一直流电源供应器，其中每一该至少一直流电源供应器包含一第三极与一第四极，其中该第三极电性连接该些电网，该第四极接地。


11.根据权利要求10所述的极化设备，其特征在于，每一该些电网包含一网格状结构或多个排线，该些排线以一预设间距排列。


12.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：
至少一导电传送机构，配置以朝一方向载送一连续式工件，其中该连续式工件包含一压电材料薄膜，且该至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志勇，陈安禄，
申请(专利权)人：馗鼎奈米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71