【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光机用清理装置
[0001]本技术涉及半导体
,具体为一种硅片抛光机用清理装置。
技术介绍
[0002]硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样,那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题,计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题,计算机也能很快告诉你答案,硅片在加工过程中需要使用抛光机进行表面处理,现有的硅片抛光机在使用后,对于其表面碎屑清理时十分不便,由此需要推出一种硅片抛光机用清理装置进行碎屑清理。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种硅片抛光机用清理装置,解决了现有的硅片抛光机在使用后,对于其表面碎屑清理时十分不便的问题。
[0004]技术方案
[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种硅片抛光机用清理装置,包括收集斗,所述收集斗的顶部固定连接有横梁,所述横梁的右端固定连接有把手,所述横梁的左端固定连接有转轴,所述转轴的表面套接有转轮,所述转轮的上表面固定连接有拨杆,所述转轮的下表面固定连接有毛刷。
[0006]进一步的,所述毛刷的右侧固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧的右端与收集斗的左侧固定连接。
[0007]进一步的,所述毛刷的左侧固定连接有支架,所述支架的底端固定连接有固定轴,所述固定轴的表面套接有胶 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光机用清理装置,包括收集斗(1),其特征在于:所述收集斗(1)的顶部固定连接有横梁(2),所述横梁(2)的右端固定连接有把手(3),所述横梁(2)的左端固定连接有转轴(5),所述转轴(5)的表面套接有转轮(6),所述转轮(6)的上表面固定连接有拨杆(4),所述转轮(6)的下表面固定连接有毛刷(8)。2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用清理装置,其特征在于:所述毛刷(8)的右侧固定连接有第一弹簧(7),所述第一弹簧(7)的右端与收集斗(1)的左侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用清理装置,其特征在于:所述毛刷(8)的左侧固定连接有支架(9),所述支架(9)的底端固定连接有固定轴(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈锋,沈国君,陆勇,刘太盛,
申请(专利权)人:浙江众晶电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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