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本实用新型提供一种硅片抛光机用清理装置，涉及半导体领域。该硅片抛光机用清理装置，包括收集斗，所述收集斗的顶部固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有把手，所述横梁的左端固定连接有转轴，所述转轴的表面套接有转轮，所述转轮的上表面固定连接有拨杆...
该专利属于浙江众晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江众晶电子有限公司授权不得商用。

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