本实用新型专利技术涉及硅片切割技术领域，且公开了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有安装台，所述安装台的顶部固定连接有放置板，所述底板顶部的后侧固定连接有L形板，所述L形板的底部固定安装有控制箱，所述控制箱的底部固定安装有切割装置，所述切割装置位于放置板的上侧。该硅片线切割机用冷却液添加装置，通过打在斜板表面的冷却液滑落至流道内，通过排液槽内的滤网对冷却液进行滤除作用，使过滤掉切屑的冷却液流入盒体，通过泵体对盒体内的冷却液进行抽取，并将冷却液输入至储液箱中，从而对硅片切割冷却液进行回收，回收量大且回收效果较好，进而减少了冷却液的添加次数。减少了冷却液的添加次数。减少了冷却液的添加次数。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片线切割机用冷却液添加装置
[0001]本技术涉及硅片切割
，具体为一种硅片线切割机用冷却液添加装置。
技术介绍
[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在硅片切割过程中所使用的切割液可以起到冷却作用，使切割机产生的热量散发，降低切割应力，然而硅片切割液切割时会有激浪产生，使得切割液流失过多，并且一些切割液与切屑粘在一起，无法直接回收使用，因而需要大量的切割液，且要求操作者频繁对切割冷却液进行添加，不便于硅片线切割机的使用。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，具备可回收、回收效果好、减少添加次数和自动添加等优点，解决了硅片切割液切割时会有激浪产生，使得切割液流失过多，并且一些切割液与切屑粘在一起，无法直接回收使用，因而需要大量的切割液，且要求操作者频繁对切割冷却液进行添加，不便于硅片线切割机使用的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有安装台，所述安装台的顶部固定连接有放置板，所述底板顶部的后侧固定连接有L形板，所述L形板的底部固定安装有控制箱，所述控制箱的底部固定安装有切割装置，所述切割装置位于放置板的上侧，所述控制箱的左侧固定安装有储液箱，所述储液箱的右侧固定连接有输液管，所述切割装置的内部开设有通槽，所述输液管的右端与通槽的内部固定连通，所述安装台顶部的左右两侧均固定连接有斜板，所述安装台的顶部开设有流道，所述流道位于两个斜板底部的相对一侧，所述底板的底部开设有排液槽，所述排液槽的内部固定安装有滤网，所述流道与排液槽的内部连通，所述底板的底部固定安装有盒体，所述排液槽与盒体的内部连通，所述底板底部的左侧固定安装有泵体，所述盒体的左侧与泵体的输入端连通，所述泵体的输出端与储液箱的内部连通。
[0007]优选的，所述控制箱左侧的顶部固定安装有添加箱，所述储液箱顶部的右侧固定连接有外壳体，所述外壳体的顶部与添加箱的底部活动连接。
[0008]优选的，所述添加箱的底部固定连接有内壳体，所述内壳体的底部与外壳体的顶部固定插接。
[0009]优选的，所述内壳体的内部开设有竖槽，所述竖槽的内顶壁活动连接有移动块，所述移动块的底部固定连接有连接杆，所述连接杆的侧表面固定套接有密封板，所述密封板顶部的左右两侧分别与内壳体底部的两个输出端活动插接。
[0010]优选的，所述连接杆的底端固定连接有浮块，所述浮块与储液箱的内部活动连接。
[0011]优选的，所述切割装置的底部转动连接有切割刀具，所述切割装置底部开设有出液孔，所述通槽的底端与出液孔的内部连通，所述出液孔位于切割刀具顶部的左侧。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，具备以下有益效果：
[0013]1、该硅片线切割机用冷却液添加装置，通过设置斜板、流道、滤网、盒体和泵体，两侧的斜板可对切割时产生的冷却液激浪进行收集，使打在斜板表面的冷却液滑落至流道内，通过排液槽内的滤网对冷却液进行滤除作用，使过滤掉切屑的冷却液流入盒体，通过泵体对盒体内的冷却液进行抽取，并将冷却液输入至储液箱中，从而对硅片切割冷却液进行回收，回收量大且回收效果较好，进而减少了冷却液的添加次数。
[0014]2、该硅片线切割机用冷却液添加装置，通过设置内壳体、密封板和浮块，当储液箱内的冷却液液面降低时，使浮块向下移动，带动连接杆向下移动，使连接杆侧表面固定套接的密封板向下移动，使打开内壳体底部的两个输出端口，从而对储液箱进行冷却液添加操作，替代了手动添加的方式，进而便于硅片线切割机的使用。
附图说明
[0015]图1为本技术结构剖视图；
[0016]图2为本技术图1中A处结构放大图；
[0017]图3为本技术安装台顶部结构示意图。
[0018]其中：1、底板；2、安装台；3、放置板；4、L形板；5、控制箱；6、切割装置；7、储液箱；8、输液管；9、通槽；10、斜板；11、流道；12、排液槽；13、滤网；14、盒体；15、泵体；16、添加箱；17、外壳体；18、内壳体；19、竖槽；20、移动块；21、连接杆；22、密封板；23、浮块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板1，底板1的顶部固定连接有安装台2，安装台2的顶部固定连接有放置板3，底板1顶部的后侧固定连接有L形板4，L形板4的底部固定安装有控制箱5，控制箱5的底部固定安装有切割装置6，切割装置6位于放置板3的上侧，控制箱5的左侧固定安装有储液箱7，储液箱7的右侧固定连接有输液管8，切割装置6的内部开设有通槽9，输液管8的右端与通槽9的内部固定连通，切割装置6的底部转动连接有切割刀具，切割装置6底部开设有出液孔，通槽9的底端与出液孔的内部连通，出液孔位于切割刀具顶部的左侧，控制箱5左侧的顶部固定安装有添加箱16，储液箱7顶部的右侧固定连接有外壳体17，外壳体17的顶部与添加箱16的底部活动连接，添加箱16的底部固定连接有内壳体18，内壳体18的底部与外壳体17的顶部固定插接，内壳体18的内部开设有竖槽19，竖槽19的内顶壁活动连接有移动块20，移动块20的底部固定连接有连接杆21，连接杆21的侧表面固定套接有密封板22，密封板22顶部的左右两侧分别与内壳体18底部的
两个输出端活动插接，连接杆21的底端固定连接有浮块23，浮块23与储液箱7的内部活动连接，设置内壳体18、密封板22和浮块23，当储液箱7内的冷却液液面降低时，使浮块23向下移动，带动连接杆21向下移动，使连接杆21侧表面固定套接的密封板22向下移动，使打开内壳体18底部的两个输出端口，从而对储液箱7进行冷却液添加操作，替代了手动添加的方式，进而便于硅片线切割机的使用，安装台2顶部的左右两侧均固定连接有斜板10，安装台2的顶部开设有流道11，流道11位于两个斜板10底部的相对一侧，底板1的底部开设有排液槽12，排液槽12的内部固定安装有滤网13，流道11与排液槽12的内部连通，底板1的底部固定安装有盒体14，排液槽12与盒体14的内部连通，底板1底部的左侧固定安装有泵体15，盒体14的左侧与泵体15的输入端连通，泵体15的输出端与储液箱7的内部连通，设置斜板10、流道11、滤网13、盒体14和泵体15，两侧的斜板10对切割时产生的冷却液激浪进行收集，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有安装台(2)，所述安装台(2)的顶部固定连接有放置板(3)，所述底板(1)顶部的后侧固定连接有L形板(4)，所述L形板(4)的底部固定安装有控制箱(5)，所述控制箱(5)的底部固定安装有切割装置(6)，所述切割装置(6)位于放置板(3)的上侧，所述控制箱(5)的左侧固定安装有储液箱(7)，所述储液箱(7)的右侧固定连接有输液管(8)，所述切割装置(6)的内部开设有通槽(9)，所述输液管(8)的右端与通槽(9)的内部固定连通，所述安装台(2)顶部的左右两侧均固定连接有斜板(10)，所述安装台(2)的顶部开设有流道(11)，所述流道(11)位于两个斜板(10)底部的相对一侧，所述底板(1)的底部开设有排液槽(12)，所述排液槽(12)的内部固定安装有滤网(13)，所述流道(11)与排液槽(12)的内部连通，所述底板(1)的底部固定安装有盒体(14)，所述排液槽(12)与盒体(14)的内部连通，所述底板(1)底部的左侧固定安装有泵体(15)，所述盒体(14)的左侧与泵体(15)的输入端连通，所述泵体(15)的输出端与储液箱(7)的内部连通。2.根据权利要求1所述的一种硅片线切割机用冷却液添加装...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，陆勇，刘太盛，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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