【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶硅片烘干，具体为一种单晶硅片的清洗烘干装置。
技术介绍
1、单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，单晶硅片在生产加工过程中，需要进行清洗，并利用清洗烘干装置对单晶硅片进行烘干。
2、例如公开号为cn217423867u的专利文件公开了一种单晶硅片烘干装置，包括机体，所述机体的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿延伸至机体的内部固定连接有转轴，所述机体的内部转动连接有转杆，所述转杆和转轴之间设置有传动机构，所述转杆的外部套设有两个转盘，其中一个所述转盘与转杆为固定连接，另外一个所述转盘的表面上安装有锁紧螺栓。本技术中，在进行对单晶硅片清洗后烘干时，利用鼓风机工作进行吹风，通过喷嘴可对单晶硅片的表面进行烘干，相比与采用加热管进行烘干时，避免在对烘干后的单晶硅片拿取时对操作人员造成烫伤，安全性得到了保障，实用性更强；
3、再例如公开号为cn218545105u的专利文件公开了一种单晶硅片清洗后烘干机，包括：框架、插板、单晶硅片、外壳、电机座、伺服电机、主动齿轮、传动齿轮、齿条、灯座、烤灯、反射板、定位环、转轴、检修盖、第一把手；所述框架为矩形板状机构，且插板通过滑轨插接安装在框架的顶端；所述单晶硅片插接安装在插板的顶端；所述外壳安装在框架的上部，且外壳与框架焊接连接；所述电机座通过螺栓固定
4、但是，上述两件专利文件在实际应用过程中还存在以下不足：
5、烘干过程中，不可一定程度的减小烘干死角，导致单晶硅片在烘干过程中，容易因夹具的遮挡而造成单晶硅片的烘干不彻底，烘干效率低，因为单晶硅片在烘干过程中，需要利用夹具来对单晶硅片进行定位，而夹具与单晶硅片的接触端则会被遮盖，并且，不可对单晶硅片起到一个持续转动效果，所以导致单晶硅片容易出现烘干死角，进而影响整体的烘干效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种单晶硅片的清洗烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种单晶硅片的清洗烘干装置，包括工作台，所述工作台上端设置有用于对单晶硅片进行限位的限位机构，所述限位机构包括放置块，所述放置块中部通过销轴转动连接有滚轮，所述工作台上还设置有用于在烘干过程中对单晶硅片进行转动的圆周推动机构；
4、所述圆周推动机构包括l型杆，所述l型杆右端固定连接有矩形板，所述矩形板前后两端分别通过凸块杆和销轴转动连接有第一连杆，所述第一连杆上端通过销轴转动连接有矩形块，所述矩形块前后两侧均滑动连接有滑杆，所述滑杆下端固定连接有推动块。
5、优选的，所述工作台上端面四角均固定连接有支撑杆，所述支撑杆上端固定连接有固定环，所述固定环内侧转动连接有齿圈，所述固定环下端面固定连接有多个连接块，所述连接块两端均通过销轴转动连接有第三连杆，任意一端所述第三连杆与连接块的连接处通过销轴固定连接有齿轮，所述齿轮与齿圈相互啮合，所述第三连杆远离连接块的一端通过销轴转动连接有第二连杆，所述第二连杆远离第三连杆的一端通过销轴与放置块转动相连。
6、优选的，所述齿圈前端中部固定连接有滑槽杆，所述滑槽杆嵌入有第二导向柱并与其滑动相连，所述第二导向柱下端固定连接有螺纹块，所述螺纹块下端滑动连接于工作台，所述螺纹块螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆左右两端均转动连接于工作台。
7、优选的，所述放置块中部滑动连接有压紧块，所述压紧块螺纹连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆上下两端均转动连接于放置块。
8、优选的，前侧所述滑杆下端套设有弹簧，所述弹簧上端与矩形块固定相连，所述弹簧下端与推动块固定相连。
9、优选的，所述工作台上端面左侧中部固定连接有支撑板，所述支撑板右端面上侧固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有凹槽筒，所述凹槽筒与凸块杆插接并滑动相连。
10、优选的，所述电机左侧输出端通过销轴固定连接有曲柄，所述曲柄上端固定连接有第一导向柱，所述第一导向柱嵌入有连接板并与其滑动相连，所述连接板下端通过凹槽滑动连接有滑槽板，所述滑槽板下端固定连接于工作台。
11、优选的，所述连接板右端面下侧固定连接有长管，所述长管下端设置有多个出风口，所述长管右端连通有软管，所述软管下端连通有热风机，所述热风机下端固定连接于工作台。
12、优选的，所述第二螺纹杆上端固定连接有拧手。
13、优选的，所述工作台下端面四角均固定连接有支腿。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
15、1.本专利技术中，通过根据单晶硅片的尺寸，手动转动第一螺纹杆带动螺纹块左右横移，在第二导向柱的作用下使齿圈转动，即可使多个齿轮同时转动，即可使第三连杆和第二连杆转动，两者之间的夹角发生变化，即可使多个放置块同时沿径向相互靠近，使滚轮与单晶硅片贴合，然后手动转动第二螺纹杆带动压紧块下降，使压紧块与单晶硅片贴合，避免出现单晶硅片晃动的情况，即可完成对单晶硅片的限位工作，从而可对不同尺寸的单晶硅片起到一个限位效果，进而保证了单晶硅片在烘干过程中的稳定性，不易偏移滑落。
16、2.本专利技术中，通过启动电机和热风机，电机右侧输出端带动凹槽筒和凸块杆转动，即可使前后两侧的第一连杆同时同步转动，即可使矩形块做圆周运动，使推动块做圆周运动，当推动块下降并与单晶硅片接触时，即可与单晶硅片抵紧，然后推动块继续移动，使矩形块在滑杆上滑动并使弹簧压缩，即可使推动块带动单晶硅片移动一定角度，然后推动块再次上升，回到初始位置，循环多次，即可使单晶硅片缓慢转动，避免单晶硅片某处始终被放置块和压紧块贴合的情况，然后在热风机的作用下，使热气经软管到达长管并从出风口排出，然后在第一导向柱的作用下使连接板在滑槽板内侧前后滑动，使长管得以横向往复移动，使热风可均匀的吹向单晶硅片，扩大了烘干范围，从而可对单晶硅片起到一个均匀烘干效果，同时，在烘干过程中，可使单晶硅片间歇做圆周运动，避免夹具对单晶硅片造成遮盖影响其烘干效率的情况，提高了整体的烘干效率。
17、本专利技术实现了可对不同尺寸的单晶硅片起到一个限位效果，保证了单晶硅片在烘干过程中的稳定性，不易偏移滑落；可对单晶硅片起到一个均匀烘干效果，同时，在烘干过程中，可使单晶硅片间歇做圆周运动，避免夹具对单晶硅片造成遮盖影响其烘干效率的情况，提高了整体的烘干效率。
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1.一种单晶硅片的清洗烘干装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上端设置有用于对单晶硅片进行限位的限位机构，所述限位机构包括放置块(12)，所述放置块(12)中部通过销轴转动连接有滚轮(19)，所述工作台(1)上还设置有用于在烘干过程中对单晶硅片进行转动的圆周推动机构；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述工作台(1)上端面四角均固定连接有支撑杆(27)，所述支撑杆(27)上端固定连接有固定环(32)，所述固定环(32)内侧转动连接有齿圈(33)，所述固定环(32)下端面固定连接有多个连接块(35)，所述连接块(35)两端均通过销轴转动连接有第三连杆(37)，任意一端所述第三连杆(37)与连接块(35)的连接处通过销轴固定连接有齿轮(34)，所述齿轮(34)与齿圈(33)相互啮合，所述第三连杆(37)远离连接块(35)的一端通过销轴转动连接有第二连杆(36)，所述第二连杆(36)远离第三连杆(37)的一端通过销轴与放置块(12)转动相连。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述齿圈
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述放置块(12)中部滑动连接有压紧块(24)，所述压紧块(24)螺纹连接有第二螺纹杆(26)，所述第二螺纹杆(26)上下两端均转动连接于放置块(12)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：前侧所述滑杆(15)下端套设有弹簧(16)，所述弹簧(16)上端与矩形块(17)固定相连，所述弹簧(16)下端与推动块(18)固定相连。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述工作台(1)上端面左侧中部固定连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)右端面上侧固定连接有电机(9)，所述电机(9)输出端固定连接有凹槽筒(10)，所述凹槽筒(10)与凸块杆(11)插接并滑动相连。
7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述电机(9)左侧输出端通过销轴固定连接有曲柄(6)，所述曲柄(6)上端固定连接有第一导向柱(7)，所述第一导向柱(7)嵌入有连接板(5)并与其滑动相连，所述连接板(5)下端通过凹槽滑动连接有滑槽板(20)，所述滑槽板(20)下端固定连接于工作台(1)。
8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述连接板(5)右端面下侧固定连接有长管(4)，所述长管(4)下端设置有多个出风口(28)，所述长管(4)右端连通有软管(3)，所述软管(3)下端连通有热风机(2)，所述热风机(2)下端固定连接于工作台(1)。
9.根据权利要求4所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述第二螺纹杆(26)上端固定连接有拧手(30)。
10.根据权利要求4所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述工作台(1)下端面四角均固定连接有支腿(31)。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片的清洗烘干装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上端设置有用于对单晶硅片进行限位的限位机构，所述限位机构包括放置块(12)，所述放置块(12)中部通过销轴转动连接有滚轮(19)，所述工作台(1)上还设置有用于在烘干过程中对单晶硅片进行转动的圆周推动机构；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述工作台(1)上端面四角均固定连接有支撑杆(27)，所述支撑杆(27)上端固定连接有固定环(32)，所述固定环(32)内侧转动连接有齿圈(33)，所述固定环(32)下端面固定连接有多个连接块(35)，所述连接块(35)两端均通过销轴转动连接有第三连杆(37)，任意一端所述第三连杆(37)与连接块(35)的连接处通过销轴固定连接有齿轮(34)，所述齿轮(34)与齿圈(33)相互啮合，所述第三连杆(37)远离连接块(35)的一端通过销轴转动连接有第二连杆(36)，所述第二连杆(36)远离第三连杆(37)的一端通过销轴与放置块(12)转动相连。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述齿圈(33)前端中部固定连接有滑槽杆(25)，所述滑槽杆(25)嵌入有第二导向柱(21)并与其滑动相连，所述第二导向柱(21)下端固定连接有螺纹块(22)，所述螺纹块(22)下端滑动连接于工作台(1)，所述螺纹块(22)螺纹连接有第一螺纹杆(23)，所述第一螺纹杆(23)左右两端均转动连接于工作台(1)。
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的清洗烘干装置，其特征在于：所述放置块(12)中部滑动连接有压紧块(24)，所述压紧块(24)螺纹连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，汪征，傅兴群，陆勇，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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