【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅加工，具体为一种带过滤结构的抛光液回收罐。
技术介绍
1、单晶硅的表面质量直接影响了器件的性能和可靠性，因此需要对单晶硅进行抛光处理，以去除表面的缺陷和污染物，提高表面的平整度和光洁度，抛光液是单晶硅抛光过程中的关键材料，为了节约成本和减少污染，抛光液一般采用循环使用的方式，然而抛光液的性能和质量直接影响了单晶硅的抛光效果和成本，因此需要对抛光液进行有效的管理和控制，以保证其稳定性和可重复性，因此，需要对抛光液进行回收的同时需要对抛光液进行过滤。
2、公开号为cn219822424u的一种抛光液储存装置，包括储存罐，储存罐包括罐体和密封盖，罐体上设有驱动气缸，驱动气缸与密封盖之间设有活塞杆，防护组件与罐体之间设有电加热盘管，密封盖上设有进水管，进水管的上设有过滤管，过滤管包括第一弧形板和第二弧形板，第一弧形板和第二弧形板上设有卡接槽，卡接槽上设有卡接环，卡接环上设有过滤网，通过设置驱动气缸、活塞杆和密封盖，对储存罐进行密封和打开，通过设置进水管和过滤管，便于对回收的抛光液进行过滤，通过设置第一弧形板和第二弧形...
【技术保护点】
1.一种带过滤结构的抛光液回收罐，包括用于对抛光液进行回收存储的罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)的内部且靠近顶端设有空心筒(2)，所述空心筒(2)的中心处转动连接有辊轴(3)，所述辊轴(3)的外壁设有隔板(31)，所述空心筒(2)底部的中间位置嵌设有滤网板(22)，所述空心筒(2)的侧壁设有呈倾斜状的导料框(21)，所述导料框(21)远离空心筒(2)的一端延伸至与罐体(1)外壁相持平，所述罐体(1)的侧壁且与导料框(21)对应处设有高度可调的密封板(4)，所述空心筒(2)的下方设有对抛光液进行搅拌的混合组件。
2.如权利要求1所述的带过滤结构的抛光液...
【技术特征摘要】
1.一种带过滤结构的抛光液回收罐，包括用于对抛光液进行回收存储的罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)的内部且靠近顶端设有空心筒(2)，所述空心筒(2)的中心处转动连接有辊轴(3)，所述辊轴(3)的外壁设有隔板(31)，所述空心筒(2)底部的中间位置嵌设有滤网板(22)，所述空心筒(2)的侧壁设有呈倾斜状的导料框(21)，所述导料框(21)远离空心筒(2)的一端延伸至与罐体(1)外壁相持平，所述罐体(1)的侧壁且与导料框(21)对应处设有高度可调的密封板(4)，所述空心筒(2)的下方设有对抛光液进行搅拌的混合组件。
2.如权利要求1所述的带过滤结构的抛光液回收罐，其特征在于：所述隔板(31)设有多个且呈环形阵列排布在辊轴(3)的外壁，所述隔板(31)远离辊轴(3)的一端与空心筒(2)的内壁相接触。
3.如权利要求1所述的带过滤结构的抛光液回收罐，其特征在于：所述罐体(1)的外壁且与辊轴(3)对应处安装有第一驱动电机(13)，所述辊轴(3)的一端依次穿过空心筒(2)和罐体(1)的内壁并与第一驱动电机(13)的输出轴同轴连接。
4.如权利要求1所述的带过滤结构的抛光液回收罐，其特征在于：所述密封板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，汪征，傅兴群，陆勇，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。