The utility model relates to an exhaust gas treatment equipment, which comprises a centrifugal part, including an air inlet, for feeding the tail gas to be treated into the tail gas treatment equipment and centrifugal rotation of the tail gas to cause solid impurities entrained in the tail gas to fall off; and a processing part, which is connected with the centrifugal part, is used for treating the tail gas after falling solid impurities after centrifugal rotation. The tail gas treatment equipment in the utility model has a centrifugal part, which includes an air inlet. When the gas is fed into the tail gas treatment equipment, the centrifugal part will centrifugally rotate the gas to be fed, so that the solid impurities with larger mass fall off, so as to complete the treatment of the solid impurities in the gas and reduce the waste water replacement treatment in the collection part. Number of times to reduce the cost of tail gas treatment.
【技术实现步骤摘要】
尾气处理设备
本技术涉及尾气处理领域,具体涉及一种尾气处理设备。
技术介绍
尾气处理设备是减少半导体工艺中排放尾气的有害成分的一种设备,能够减少半导体工艺中排放的尾气对环境的危害,能够达到保护环境和净化空气的效果。在现有技术中,对尾气进行处理时,由于尾气中通常夹带有固形物杂质,而尾气处理设备对尾气中的固形物杂质的处理效率不高,固形物杂质会直接影响尾气处理设备的使用时长,影响使用尾气处理设备进行尾气处理时所需的物力成本和人力成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种尾气处理设备,具有较好的固形物杂质处理效果,且能够减小尾气处理所需的物力成本和人力成本。为了解决上述技术问题,本技术中提供了一种尾气处理设备,包括:离心部,包括进气口,用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气,并使通入的尾气发生离心旋转,从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落;处理部,与所述离心部连接,用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。可选的,所述离心部包括一锥形腔体,所述锥形腔体沿竖直方向倒置。可选的,所述进气口设置于所述锥形腔体的上半部的侧壁上,且所述进气口内设置有导流板,所述导流板与所述锥形腔体的腔体壁相切,用于导流,使从所述进气口进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体的腔体壁相切,且尾气的流动方向朝向所述锥形腔体的尖端。可选的,所述锥形腔体内设置有管道结构,所述管道结构一端连通至所述锥形腔体下半部,另一端连通至所述处理部。可选的,所述锥形腔体下方设置有收集袋,与所述锥形腔体连通,用于收集所述锥形腔体的尾气中的固形物杂质。可选的,所述处理部包括第一处理单元,连通至所述离心部,包括燃烧腔或吸附腔中的至少 ...
【技术保护点】
1.一种尾气处理设备,其特征在于,包括:离心部,包括进气口,用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气,并使通入的尾气发生离心旋转,从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落;处理部,与所述离心部连接,用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。
【技术特征摘要】
1.一种尾气处理设备,其特征在于,包括:离心部,包括进气口,用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气,并使通入的尾气发生离心旋转,从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落;处理部,与所述离心部连接,用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。2.根据权利要求1所述的尾气处理设备,其特征在于,所述离心部包括一锥形腔体,所述锥形腔体沿竖直方向倒置。3.根据权利要求2所述的尾气处理设备,其特征在于,所述进气口设置于所述锥形腔体的上半部的侧壁上,且所述进气口内设置有导流板,所述导流板与所述锥形腔体的腔体壁相切,用于导流,使从所述进气口进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体的腔体壁相切,且尾气的流动方向朝向所述锥形腔体的尖端。4.根据权利要求2所述的尾气处理设备,其特征在于,所述锥形腔体内设置有管道结构,所述管道结构一端连通至所述锥形腔体下半部,另一端连通至所述处理部。5.根据权利要求2所述的尾气处理设备,其特征在于,所述锥形腔体下方设置有收集袋,与所述锥形腔体连通...
【专利技术属性】
技术研发人员:金鑫,徐科,阚保国,刘家桦,叶日铨,
申请(专利权)人:德淮半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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