压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人制造方法及图纸

本申请提供了一种压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人，能够实现兼顾稳定的驱动和省电化。压电驱动装置具有：支承部；第一移动部，能够相对于支承部沿第一方向移动；第二移动部，能够相对于第一移动部沿第二方向移动；第一驱动部，通过第一压电致动器的驱动而使第一移动部相对于支承部移动，并通过第一压电致动器的停止而使第一移动部保持于支承部；以及第二驱动部，通过第二压电致动器的驱动而使第二移动部相对于第一移动部移动，通过第二压电致动器的停止而使第二移动部保持于第一移动部，将第一移动部保持于支承部的第一保持力与将第二移动部保持于第一移动部的第二保持力互不相同。

Piezoelectric Driver, Electronic Component Conveyor and Robot

The application provides a piezoelectric driving device, an electronic component conveying device and a robot, which can realize both stable driving and power saving. The piezoelectric driving device has: a supporting part; a first moving part, which can move in the first direction relative to the supporting part; a second moving part, which can move in the second direction relative to the first moving part; a first driving part, which moves the first moving part relative to the supporting part by driving the first piezoelectric actuator, and maintains the first moving part in the second direction relative to the first moving part by stopping the first piezoelectric actuator. The supporting part and the second driving part move the second moving part relative to the first moving part through the drive of the second piezoelectric actuator, keep the second moving part at the first moving part through the stop of the second piezoelectric actuator, and maintain the first holding force of the first moving part at the supporting part is different from the second holding force of the second moving part at the first moving part.

【技术实现步骤摘要】
压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人
本专利技术涉及压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人。
技术介绍
例如，在专利文献1中记载有如下台，该台具有：支承台；第一移动体，配置于支承台上；第二移动体，配置于第一移动体上；第一压电致动器，相对于支承台使第一移动体沿X轴方向移动；以及第二压电致动器，相对于第一移动体使第二移动体沿Y轴方向移动。专利文献1：日本特开2008-122381号公报在这样的台中，由于在第一移动体上配置有第二移动体，因此使第一移动体相对于支承台沿X轴方向移动所需的驱动力以及使第一移动体相对于支承台保持为不动所需的保持力大于使第二移动体相对于第一移动体沿Y轴方向移动所需的驱动力以及使第二移动体相对于第一移动体保持为不动所需的保持力。然而，在专利文献1中，虽未说明，但是根据附图等推测，认为使用了相同的压电致动器作为第一压电致动器以及第二压电致动器。因此，例若以用于使第一移动体相对于支承台移动的驱动力以及用于使第一移动体保持于支承台的保持力为基准来选择第一压电致动器、第二压电致动器，则会导致第二压电致动器的驱动力以及保持力过大。这样，有可能会浪费驱动电力。反之，若以用于使第二移动体相对于第一移动体移动的驱动力以及用于使第二移动体保持于第一移动体的保持力为基准来选择第一压电致动器、第二压电致动器，则会导致第一压电致动器的驱动力以及保持力不足。这样，有可能无法进行台的稳定的驱动。这样，在专利文献1所记载的台中，有可能会产生难以兼顾台的稳定的驱动和省电化这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人。上述目的通过下述本专利技术来实现。本专利技术的压电驱动装置的特征在于，所述压电驱动装置具有：支承部；第一移动部，被所述支承部支承，能够相对于所述支承部沿第一方向移动；第二移动部，被所述第一移动部支承，能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第一移动部相对于所述支承部沿所述第一方向移动，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第一移动部保持于所述支承部；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第二移动部相对于所述第一移动部沿所述第二方向移动，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第二移动部保持于所述第一移动部，将所述第一移动部保持于所述支承部的第一保持力与将所述第二移动部保持于所述第一移动部的第二保持力互不相同。由此，由于能够独立且恰当地设定第一保持力以及第二保持力，因此能够抑制第一保持力以及第二保持力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置。在本专利技术的压电驱动装置中，优选的是，使所述第一移动部相对于所述支承部移动的第一驱动力和使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动的第二驱动力互不相同。由此，由于能够独立且恰当地设定第一驱动力以及第二驱动力，因此能够抑制第一驱动力以及第二驱动力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置。在本专利技术的压电驱动装置中，优选的是，所述第一压电致动器以及所述第二压电致动器为彼此相同的结构，所述第一驱动部所具备的所述第一压电致动器的数量与所述第二驱动部所具备的所述第二压电致动器的数量互不相同。由此，仅通过适宜地设定压电致动器的数量就能够简单且适当地设定第一保持力、第二保持力以及第一驱动力、第二驱动力。在本专利技术的压电驱动装置中，优选的是，所述第一驱动部具有层叠有多个所述第一压电致动器的压电模块，所述第二驱动部具有层叠有多个所述第二压电致动器的压电模块。由此，与分别配置多个压电致动器的情况相比，能够实现第一驱动部以及第二驱动部的省空间化。因此，能够实现压电驱动装置的小型化以及轻型化。在本专利技术的压电驱动装置中，优选的是，所述支承部能够沿所述第二方向移动，所述第二保持力比所述第一保持力大。由此，能够确保承受支承部沿第二方向移动而产生的加速度所需的足够大小的第二保持力。在本专利技术的压电驱动装置中，优选的是，所述压电驱动装置具有：第三移动部，被所述第二移动部支承，能够相对于所述第二移动部绕沿与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向的轴转动；以及第三驱动部，具备第三压电致动器，通过所述第三压电致动器的驱动而使所述第三移动部相对于所述第二移动部转动，并通过所述第三压电致动器的停止而使所述第三移动部保持于所述第二移动部。这样，除了第一移动部以及第二移动部以外，通过进一步追加第三移动部而将可动轴形成为三个轴，压电驱动装置的便利性进一步提高。本专利技术的电子元件输送装置的特征在于，具备本专利技术的压电驱动装置。由此，能够享受压电驱动装置的效果，并成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的电子元件输送装置。本专利技术的机器人的特征在于，所述机器人具有：第一部件；第二部件，被所述第一部件支承，能够相对于所述第一部件位移；第三部件，被所述第二部件支承，能够相对于所述第二部件位移；第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第二部件相对于所述第一部件位移，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第二部件保持于所述第一部件；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第三部件相对于所述第二部件位移，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第三部件保持于所述第二部件，将所述第二部件保持于所述第一部件的第一保持力与将所述第三部件保持于所述第二部件的第二保持力互不相同。由此，由于能够独立且恰当地设定第一保持力以及第二保持力，因此能够抑制第一保持力以及第二保持力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的机器人。在本专利技术的机器人中，优选的是，使所述第二部件相对于所述第一部件移动的第一驱动力与使所述第三部件相对于所述第二部件移动的第二驱动力互不相同。由此，由于能够独立且恰当地设定第一驱动力以及第二驱动力，因此能够抑制第一驱动力以及第二驱动力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的机器人。在本专利技术的机器人中，优选的是，所述第一压电致动器以及所述第二压电致动器为彼此相同的结构，所述第一驱动部所具备的所述第一压电致动器的数量与所述第二驱动部所具备的所述第二压电致动器的数量互不相同。由此，仅适宜地设定压电致动器的数量，就能够简单且适当地设定第一保持力、第二保持力以及第一驱动力、第二驱动力。附图说明图1是示出本专利技术的第一实施方式所涉及的电子元件输送装置的立体图。图2是示出图1所示的电子元件输送装置所具有的电子元件保持装置的立体图。图3是示出图2所示的电子元件保持装置所具有的X移动部的俯视图。图4是图3中的A-A线剖视图。图5是示出图2所示的电子元件保持装置所具有的Y移动部的俯视图。图6是图5中的B-B线剖视图。图7是示出图2所示的电子元件保持装置所具有的θ移动部以及保持部的剖视图。图8是示出图2所示的电子元件保持装置所具有的θ移动部的俯视图。图9是图8中的C-C线剖视图。图10是示出压电致动器的俯视图。图11是示出施加于压电致动器的电压的图。图12是示出施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电驱动装置，其特征在于，具有：支承部；第一移动部，被所述支承部支承，能够相对于所述支承部沿第一方向移动；第二移动部，被所述第一移动部支承，能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第一移动部相对于所述支承部沿所述第一方向移动，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第一移动部保持于所述支承部；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第二移动部相对于所述第一移动部沿所述第二方向移动，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第二移动部保持于所述第一移动部，将所述第一移动部保持于所述支承部的第一保持力与将所述第二移动部保持于所述第一移动部的第二保持力互不相同。

【技术特征摘要】
2017.11.14 JP 2017-2194251.一种压电驱动装置，其特征在于，具有：支承部；第一移动部，被所述支承部支承，能够相对于所述支承部沿第一方向移动；第二移动部，被所述第一移动部支承，能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第一移动部相对于所述支承部沿所述第一方向移动，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第一移动部保持于所述支承部；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第二移动部相对于所述第一移动部沿所述第二方向移动，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第二移动部保持于所述第一移动部，将所述第一移动部保持于所述支承部的第一保持力与将所述第二移动部保持于所述第一移动部的第二保持力互不相同。2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，使所述第一移动部相对于所述支承部移动的第一驱动力和使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动的第二驱动力互不相同。3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，所述第一压电致动器以及所述第二压电致动器为彼此相同的结构，所述第一驱动部所具备的所述第一压电致动器的数量与所述第二驱动部所具备的所述第二压电致动器的数量互不相同。4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述第一驱动部具有层叠有多个所述第一压电致动器的压电模块，所述第二驱动部具有层叠有多个所述第二压电致动器的压电模块。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述支承部能够沿所述第二方向移动，所述第二保...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒川豊，岩崎友寿，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP