感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件制造技术

提供进行了金属覆盖的基板上的厚感光膜(例如，5μm以上)的显影性特别优异、并且分辨率也优异、显影后的图案形状良好的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板及半导体元件。一种感光性树脂组合物、使用其的干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件
本专利技术涉及感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件。
技术介绍
作为在碱性水溶液中能显影的感光性树脂组合物，使用将聚苯并恶唑(以下，也称为“PBO”)前体和重氮萘醌化合物等光产酸剂配混而成的组合物。将这种组合物热固化而得到的聚苯并恶唑固化物的耐热性及电绝缘性优异，因此在电气材料的表面保护膜、层间绝缘膜、例如半导体元件的涂膜、柔性印刷电路板材料、耐热绝缘性层间材料等电子部件中的应用正在进展。关于使用了聚苯并恶唑的感光性树脂组合物，例如，专利文献1中，出于阻碍铜覆盖晶圆上的显影后的残留物(以下，也称为“浮渣”)的形成的目的，公开了在聚苯并恶唑前体聚合物中配混包含S原子的嘧啶骨架化合物而成的感光性树脂组合物。另外，专利文献2中，以提供高灵敏度、图案的形状、未曝光部的残膜率也良好的正型的感光性聚合物组合物为目的，公开了含有如下物质的技术：选自规定的聚酰胺酸酯、以具有酚羟基的二胺和四羧酸、其酐或其衍生物为原料而得到的聚酰亚胺、以二羧酸和二羟基二胺为原料而得到的聚苯并恶唑前体中的碱性水溶液可溶性的聚合物；二叠氮基邻醌(o-quinonediazide)化合物；以及选自鎓盐、二芳基化合物、及四烷基铵盐中的溶解阻碍剂。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4759613号公报专利文献2：日本专利第3509612号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，根据专利文献1中公开的技术，虽然可得到对将正型感光性树脂组合物涂布于铜覆盖晶圆上并焙烧而得到的涂膜进行曝光/显影时的、显影后的浮渣的形成的阻碍效果，但由于还可得到溶解促进效果，因此有时未曝光部的溶解过快，从而显影后的图案的截面形状变圆且细，残膜率也低，对接下来的铜布线形成工序产生不良影响。另外，根据专利文献2中公开的技术，虽然在对将正型感光性树脂组合物涂布于硅基板上并进行干燥而得到的涂膜进行曝光/显影时的、显影后的残膜率能够提高，但由于有上述所得涂膜的金属基板上的溶解的阻碍效果，因此曝光部的涂膜的去除不充分、会在金属基板上残留大量浮渣。进而，虽然还已知有通过添加增塑剂、交联剂等来控制硅基板上的图案形状的技术，但在金属基板上得不到良好的效果。因此，本专利技术的目的在于，提供在进行了金属覆盖的基板上的厚的感光膜(例如，5μm以上)的显影性特别优异、并且分辨率也优异、显影后的图案形状良好的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板及半导体元件。用于解决问题的方案本专利技术人等进行了深入研究，结果发现，通过对PBO前体配混硫醇化合物且配混尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种，可解决上述问题，从而完成了本专利技术。即，本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于，含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。本专利技术的干膜的特征在于，具有将前述感光性树脂组合物涂布于薄膜并进行干燥而得到的树脂层。本专利技术的固化物的特征在于，由前述感光性树脂组合物或前述干膜的树脂层形成。本专利技术的印刷电路板及半导体元件的特征在于，具有前述固化物。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供进行了金属覆盖的基板上的厚感光膜(例如，5μm以上)的显影性特别优异、并且分辨率也优异、显影后的图案形状良好的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板及半导体元件。附图说明图1为实施例中的图案形状的评价方法的说明图。图2为实施例4的利用触针式表面形状测定装置Dektak(Bruker公司制、触针式仿形系统、以下，也称为“Dektak”)得到的截面轮廓数据。图3为比较例1的利用Dektak得到的截面轮廓数据。图4为比较例2的利用Dektak得到的截面轮廓数据。具体实施方式以下，详细地对本专利技术的实施方式进行说明。本专利技术的感光性树脂组合物含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。通过对感光性PBO前体组合添加因具有孤立电子对而容易与金属相互作用的(C)硫醇化合物和具有溶解阻碍效果的(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种，从而抑制浮渣的产生，能够得到分辨率优异、特别是进行了金属覆盖的基板上的厚感光膜(例如，5μm以上)的显影性良好的感光性树脂组合物。利用本专利技术的感光性树脂组合物，在显影后的线条图案的截面形状不会变的细且圆，能够维持截面形状为锥形状(梯形状或四边形状)的良好的图案形状。首先，对本专利技术的感光性树脂组合物含有的各成分进行详细叙述。[(A)聚苯并恶唑前体]本专利技术的感光性树脂组合物含有(A)聚苯并恶唑前体。合成(A)聚苯并恶唑前体的方法没有特别限定，通过公知的方法合成即可。例如，可以使作为胺成分的二羟基二胺类与作为酸成分的二羧二酰氯等二羧酸的二酰卤反应而得到。(A)聚苯并恶唑前体优选为具有下述式(1)所示的重复结构的聚羟基酰胺酸。(式中，X表示4价的有机基团，Y表示2价的有机基团。n为1以上的整数，优选为10～50、更优选为20～40。)通过上述的合成方法合成(A)聚苯并恶唑前体的情况下，前述通式(1)中，X为前述二羟基二胺类的残基，Y为前述二羧酸的残基。作为前述二羟基二胺类，可列举出3,3’-二氨基-4,4’-二羟基联苯、4,4’-二氨基-3,3’-二羟基联苯、双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、双(4-氨基-3-羟基苯基)丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、双(4-氨基-3-羟基苯基)砜、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、2,2-双(4-氨基-3-羟基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷等。其中，优选2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷。作为前述二羧酸，可列举出间苯二甲酸、对苯二甲酸、5-叔丁基间苯二甲酸、5-溴间苯二甲酸、5-氟间苯二甲酸、5-氯间苯二甲酸、2,6-萘二羧酸、4,4’-二羧基联苯、4,4’-二羧基二苯基醚、4,4’-二羧基四苯基硅烷、双(4-羧基苯基)砜、2,2-双(对羧基苯基)丙烷、2,2-双(4-羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷等具有芳香环的二羧酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、1,2-环丁烷二羧酸、1,4-环己烷二羧酸、1,3-环戊烷二羧酸等脂肪族系二羧酸。其中，优选4,4’-二羧基二苯基醚。前述通式(1)中，X表示的4价的有机基团可以为脂肪族基团，也可以为芳香族基团，优选为芳香族基团，更优选2个羟基与2个氨基以邻位的方式位于芳香环上。前述4价的芳香族基团的碳原子数优选为6～30、更优选为6～24。作为前述4价的芳香族基团的具体例，可列举出下述基团，但不限定于这些，根据用途选择聚苯并恶唑前体中可包含的公知的芳香族基团即可。对于前述4价的芳香族基团，前述芳香族基团中优选为下述基团。前述通式(1)中，Y表示的2价的有机基团可以为脂肪族基团，也可以为芳香族基团，优选为芳香族基团，更优选在芳香环上与前述通式(1)中的羰基键合。前述2价的芳香族基团的碳原子数优选为6～30、更优选为6～24。作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、以及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。

【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-1486111.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、以及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。2.一种干膜，其特征在于，具有将...

【专利技术属性】
技术研发人员：许成强，秋元真步，
申请(专利权)人：太阳控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP