一种用于硅片清洗的机械手制造技术

本发明专利技术公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片清洗的机械手
本专利技术属于硅片清洗
，特别是涉及一种用于硅片清洗的机械手。
技术介绍
随着科技的发展，硅片的使用量越来越大，硅片的使用范围也越来越广，对硅片的质量要求也越来越高，硅片在生产过程需要进行清洗，在现有技术中，硅片清洗普遍是将硅片放置在硅片承载花篮内，然后再将硅片承载花篮放置在清洗槽内依靠清洗液的冲刷对硅片表面进行清洗。但是硅片承载花篮对硅片具有一定的遮挡作用，导致硅片的清洗效果不佳，并且因为硅片承载花篮的遮挡，导致硅片的清洗需要较长的时间，严重限制了硅片的生产效率和生产质量。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本专利技术的目的是提供一种用于硅片清洗的机械手，用于解决现有硅片清洗时清洗效果不佳和清洗效率低下的问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种用于硅片清洗的机械手，包括基座、夹具机头、升降驱动机构、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述基座侧移驱动机构设在基座的侧面，所述升降驱动机构的下端与基座连接，所述夹具机头设在升降驱动机构的顶部，所述夹具机头包括包括机座、第一驱动块、第二驱动块、第一连接杆、第二连接杆、机头驱动机构和复位机构，所述机座上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔，所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆和第二驱动杆，所述第一驱动杆和第二驱动杆的左端分别穿设于两个驱动杆穿设孔内，所述两个夹爪分别连接在第一驱动杆和第二驱动杆的右端，所述两个夹爪相对设置，所述第一驱动块和第二驱动块分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧，且第一驱动块与第一驱动杆的左端固定连接，所述第二驱动块与第二驱动杆的左端固定连接，所述第一连接杆和第二连接杆分别穿设于两个连接杆穿设孔内，所述第一连接杆和第二连接杆的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧，所述第一连接杆和第二连接杆的左端均逐渐缩小，所述第一连接杆和第二连接杆的右端均与机头驱动机构连接，所述第一驱动块和第二驱动块均与复位机构连接，所述第一驱动块上设有第一支撑件，所述第二驱动块上设有第二支撑件，所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆的左端，所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆的左端，且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆和第二连接杆的同一侧，所述机头驱动机构驱动第一连接杆和第二连接杆分别在两个连接杆穿设孔内滑动，所述第一支撑件到第一连接杆中心线的距离发生改变，所述第二支撑件到第二连接杆中心线的距离发生改变，所述复位机构驱动第一驱动块和第二驱动块旋转，且第一驱动块和第二驱动块的旋转方向相反，所述第一驱动块带动第一驱动杆旋转，所述第二驱动块带动第二驱动杆旋转，且所述第一驱动杆和第二驱动杆的旋转方向相反，从而带动两个夹爪对硅片进行夹持或松开。当第一连接杆和第二连接杆在滑动过程中，第一支撑件到第一连接杆中心线的距离和第二支撑件到第二连接杆中心线的距离同时减小或同时增大，第一驱动块和第二驱动块在复位机构的驱动下同时发生旋转，因为两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆和第二连接杆的同一侧，因此第一驱动块和第二驱动块的旋转方向相反。将第一连接杆和第二连接杆的水平方向的滑动，转化为第一支撑件到第一连接杆中心线距离的改变，以及转化为第二支撑件到第二连接杆中心线距离的改变，即将较大尺寸的位移转化为较小尺寸的距离改变，从而有利于对第一驱动杆和第二驱动杆旋转的准确控制，有利于对夹爪的旋转角度进行准确控制，从而有利于实现夹爪的对硅片的准确夹持。优选的，所述两个驱动杆穿设孔的中心线相平行，所述两个连接杆穿设孔的中心线相平行，且所述两个驱动杆穿设孔的中心线均与两个连接杆穿设孔的中心线相平行。优选的，所述机头驱动机构为驱动气缸，所述机座内设有气缸安装室，所述驱动气缸安装在气缸安装室内，所述第一连接杆的右端和第二连接杆的右端均通过第一连接板与驱动气缸连接。优选的，所述复位机构为复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别与第一驱动块和第二驱动块通过第二连接板连接。复位弹簧用于驱动第一支撑件压在第一连接杆上，以及驱动第二支撑件压在第二连接杆上。优选的，所述第一支撑件处于第一连接杆的上方，所述第二支撑件处于第二连接杆的上方，所述复位弹簧处于第一连接杆和第二连接杆的下方，且复位弹簧处于压缩状态。在使用时，第一驱动杆和第二驱动杆的右端下方均设有一个夹爪，且两个夹爪相对设置。当第一连接杆和第二连接杆向左滑动时，第一支撑件到第一连接杆的距离增大，第一驱动块和第一驱动杆向外旋转，第二支撑件到第二连接杆的距离增大，第二驱动块和第二驱动杆向外旋转，两个夹爪的下端相互靠近，对硅片进行夹持。当第一连接杆和第二连接杆向右滑动时，第一支撑件到第一连接杆的距离减小，第一驱动块和第一驱动杆向内旋转，第二支撑件到第二连接杆的距离减小，第二驱动块和第二驱动杆向内旋转，两个夹爪的下端相互分离，解除对硅片的夹持。优选的，所述第一支撑件为第一滚轮，所述第一滚轮与第一驱动块通过第一滚轮轴连接，所述第一滚轮轴的中心线垂直于第一连接杆的中心线，所述第二支撑件为第二滚轮，所述第二滚轮与第二驱动块通过第二滚轮轴连接，所述第二滚轮轴的中心线垂直于第二连接杆的中心线。第一滚轮在第一连接杆上滚动，减少了第一滚轮和第一连接杆之间的摩擦，第二滚轮在第二连接杆上滚动，减少了第二滚轮和第二连接杆之间的摩擦，从而有利于第一连接杆和第二连接杆的滑动的灵活性。优选的，所述机座的左端设有两个第一光电感应器，所述第一驱动块和第二驱动块上分别设有一个第一挡片，所述两个第一挡片与两个第一光电感应器相匹配分别用于感应第一驱动块和第二驱动块的位置，所述机座的右端设有第二光电感应器，所述连接杆的右端设有第二挡片，所述第二挡片与第二光电感应器相配合用于感应第一连接杆的位置。优选的，当两个第一光电感应器均感应到第一挡片，同时第二光电感应器均感应到第二挡片时，则表示第一驱动杆和第二驱动杆运动到位，与第一光电感应器和第二光电感应器连接的控制器才会控制应用该夹具机头的装置进行下一步动作，否则控制器控制该装置停止继续动作，操作人员须对该装置进行调整。优选的，所述第一连接板上设有用于安装第二光电感应器的感应器安装架，所述第二光电传感器安装在感应器安装架上。优选的，所述两个连接杆穿设孔的两端均设有第一轴承，所述第一连接杆和第二连接杆分别与机座通过第一轴承连接，所述两个驱动杆穿设孔的两端均设有第二轴承，所述第一驱动杆和第二驱动杆分别与机座通过第二轴承连接。所述第一连接杆和第二连接杆分别与机座通过第一轴承连接，降低了第一连接杆和第二连接杆在进行左右滑动过程中所受到的阻力，所述第一驱动杆和第二驱动杆分别与机座通过第二轴承连接，降低了第一驱动杆和第二驱动杆在旋转过程中所受到的阻力。优选的，所述第一驱动块与第一驱动杆通过螺栓连接，所述第二驱动块与第二驱动杆通过螺栓连接。所述第一驱动块与第一驱动杆通过螺栓连接，便于第一驱动块和第一驱动杆之间进行组装和拆卸，所述第二驱动块与第二驱动杆通过螺栓连接，便于第二驱动块和第二驱动杆之间进行组装和拆卸，便于对该机头进行组装和拆卸。优选的，所述机座上设有减重孔。机座上设有减重孔，一方面减轻了该夹具机头的重量，另一方面节约了制造该夹具机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，该机械手包括基座(1)、夹具机头、升降驱动机构、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述基座侧移驱动机构设在基座(1)的侧面，所述升降驱动机构的下端与基座(1)连接，所述夹具机头设在升降驱动机构的顶部，所述夹具机头包括机座(21)、第一驱动块(22)、第二驱动块(23)、第一连接杆(24)、第二连接杆(25)、机头驱动机构和复位机构，所述机座(21)上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔，所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)，所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的左端分别穿设于两个驱动杆穿设孔内，所述两个夹爪分别连接在第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的右端，所述两个夹爪相对设置，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧，且第一驱动块(22)与第一驱动杆(26)的左端固定连接，所述第二驱动块(23)与第二驱动杆(27)的左端固定连接，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别穿设于两个连接杆穿设孔内，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均逐渐缩小，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的右端均与机头驱动机构连接，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)均与复位机构连接，所述第一驱动块(22)上设有第一支撑件，所述第二驱动块(23)上设有第二支撑件，所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆(24)的左端，所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆(25)的左端，且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的同一侧，所述机头驱动机构驱动第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别在两个连接杆穿设孔内滑动，所述第一支撑件到第一连接杆(24)中心线的距离发生改变，所述第二支撑件到第二连接杆(25)中心线的距离发生改变，所述复位机构驱动第一驱动块(22)和第二驱动块(23)旋转，且第一驱动块(22)和第二驱动块(23)的旋转方向相反，所述第一驱动块(22)带动第一驱动杆(26)旋转，所述第二驱动块(23)带动第二驱动杆(27)旋转，且所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的旋转方向相反，从而带动两个夹爪对硅片进行夹持或松开。...

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，该机械手包括基座(1)、夹具机头、升降驱动机构、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述基座侧移驱动机构设在基座(1)的侧面，所述升降驱动机构的下端与基座(1)连接，所述夹具机头设在升降驱动机构的顶部，所述夹具机头包括机座(21)、第一驱动块(22)、第二驱动块(23)、第一连接杆(24)、第二连接杆(25)、机头驱动机构和复位机构，所述机座(21)上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔，所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)，所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的左端分别穿设于两个驱动杆穿设孔内，所述两个夹爪分别连接在第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的右端，所述两个夹爪相对设置，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧，且第一驱动块(22)与第一驱动杆(26)的左端固定连接，所述第二驱动块(23)与第二驱动杆(27)的左端固定连接，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别穿设于两个连接杆穿设孔内，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均逐渐缩小，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的右端均与机头驱动机构连接，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)均与复位机构连接，所述第一驱动块(22)上设有第一支撑件，所述第二驱动块(23)上设有第二支撑件，所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆(24)的左端，所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆(25)的左端，且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的同一侧，所述机头驱动机构驱动第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别在两个连接杆穿设孔内滑动，所述第一支撑件到第一连接杆(24)中心线的距离发生改变，所述第二支撑件到第二连接杆(25)中心线的距离发生改变，所述复位机构驱动第一驱动块(22)和第二驱动块(23)旋转，且第一驱动块(22)和第二驱动块(23)的旋转方向相反，所述第一驱动块(22)带动第一驱动杆(26)旋转，所述第二驱动块(23)带动第二驱动杆(27)旋转，且所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的旋转方向相反，从而带动两个夹爪对硅片进行夹持或松开。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，所述机头驱动机构为驱动气缸(28)，所述机座(21)内设有气缸安装室，所述驱动气缸(28)安装在气缸安装室内，所述第一连接杆(24)的右端和第二连接杆(25)的右端均通过第一连接板(29)与驱动气缸(28)连接。3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，所述复位机构为复位弹簧(210)，所述复位弹簧(210)的两端分别与第一驱动块(22)和第二驱动块(23)通过第二连接板(211)连接。4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，所述升降驱动机构包括行程丝轨(313)、螺母(314)、升降杆(315)、两个竖向滑轨(7)、两个以上第一滑块、连接块、限位固定块和第一驱动电机(2)，所述两个竖向滑轨(7)安装在基座(1)上，所述连接块包括升降杆穿设筒(31)，所述升降杆穿设筒(31)的两侧分别设有第一延伸板(32)和第二延伸板(33)，所述升降杆穿设筒(31)的侧面设有升降杆固定孔(34)和第一线缆穿设孔(35)，所述升降杆穿设筒(31)的底部设有螺母固定孔(36)，所述第一延伸板(32)和第二延伸板(33)上均设有第一滑块安装孔(37)，所述第一延伸板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛林新，葛林五，陈景韶，李杰，丁高生，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31