一种石英晶体谐振器真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术旨在公开并提供一种性能稳定可靠、加工产品质量高、便于维修维护的石英晶体谐振器真空镀膜装置。本实用新型专利技术包括机架，所述机架设置有承载台，所述承载台上部设置有真空镀膜室和控制装置，所述承载台下方设置有分子扩散泵、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室分别与所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室内的气体；所述承载台下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室、所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置电性连接。本实用新型专利技术适用于石英晶体谐振器镀膜加工装置和技术领域。

A vacuum coating device for quartz crystal resonator

The utility model aims at disclosing and providing a quartz crystal resonator vacuum coating device with stable and reliable performance, high product quality and easy maintenance. The utility model comprises a frame with a bearing table, a vacuum coating chamber and a control device on the upper part of the bearing platform, and a molecular diffusion pump, a turbo vacuum pump and a front stage vacuum pump below the bearing table, and the vacuum coating chamber is connected with the molecular diffuser pump and the turbo vacuum pump respectively. A molecular diffusion pump, the turbo vacuum pump, and the front stage vacuum pump are connected through a pipe to remove the gas from the vacuum coating room, and a distribution device is arranged below the bearing table, and the distribution devices are all with the vacuum coating chamber, the molecular diffusion pump, and the turbine vacuum. The pump, the former vacuum pump and the control device are electrically connected. The utility model is suitable for quartz crystal resonator coating processing device and technical field.

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶体谐振器真空镀膜装置
本技术涉及一种石英晶体谐振器真空镀膜装置。
技术介绍
在石英晶体谐振器的制造过程中，需要对石英晶体谐振器的电极等部件进行银层镀膜，以防止石英晶体谐振器及其零部件氧化，导致石英晶体谐振器使用寿命缩减。现有的石英晶体谐振器镀膜技术主要通过真空镀膜设备进行镀膜加工，传统的真空镀膜设备中有部分型号的设备使用的是液压扩散泵来对真空镀膜室进行抽真空，但是采用液压扩散泵存在以下缺点：1、液压扩散泵是通过电动机驱动带来泵腔容积的变化，从而压缩流体使流体具有压力能，在抽真空的过程中，液压油箱中或管道中的油分子有几率通过机械设备之间的间隙进入到真空镀膜室，会对待加工或加工中的石英晶体谐振器造成品质上的缺陷；2、液压泵对液压油的清洁度比较高，使用成本高，并且在日常维护（如更换液压油）以及检修过程耗时长，对企业的生产进度与产能造成一定的影响；由此可见，开发一种有利于提高产品品质、便于维护、性能稳定可靠的石英晶体谐振器真空镀膜设备显得很有必要。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种性能稳定可靠、加工产品质量高、便于维修维护的石英晶体谐振器真空镀膜装置。本技术所采用的技术方案是：本技术包括机架，所述机架设置有承载台，所述承载台上部设置有真空镀膜室和控制装置，所述承载台下方设置有分子扩散泵、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室分别与所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室内的气体；所述承载台下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室、所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置电性连接。进一步的，所述真空镀膜室的外侧还设置有真空度检测仪和温度检测仪，所述真空度用于检测所述真空镀膜室内的真空度，所述温度检测仪用于检测真空镀膜室内的温度，所述真空度检测仪和所述温度监测仪均与所述控制装置电性连接。进一步的，所述分子扩散泵通过连接气管与所述真空镀膜室相连接，所述涡轮真空泵通过连接气管分别与所述真空镀膜室以及所述前级真空泵相连通。进一步的，所述控制装置分别与所述真空镀膜室、所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述配电装置电性连接。本技术的有益效果是：在本技术中，应用了分子扩散泵，分子扩散泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此本技术中还配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵，分子扩散泵利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动，对真空镀膜室内的气体进行抽离，与传统的液压扩散泵相比较，本技术中应用的，分子扩散泵启动速度快，无气体存储和解吸效应，没有油蒸气污染，能获得清洁的超高真空，不会对真空镀膜室以及内中的产品造成品质上的影响，并且分子扩散泵性能比液压扩散泵更加稳定可靠，在正常操作运转的情况下，分子扩散泵比液压扩散泵的使用周期更长，并且省去了液压扩散泵液压油更换、保养等过程，对产品生产进度与生产效率有进一步的保障。附图说明图1是本技术实施例一的结构示意图。具体实施方式如图1所示，本实施例包括机架1，所述机架1设置有承载台2，所述承载台2上部设置有真空镀膜室3和控制装置4，所述承载台2下方设置有分子扩散泵5、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室3分别与所述分子扩散泵5、所述涡轮真空泵通过管道相连接，所述分子扩散泵5、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过连接管相连接，用于抽离所述真空镀膜室3内的气体；所述承载台2下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室3、所述分子扩散泵5、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置4电性连接。如图1所示，在本实施例中的真空镀膜室3的外侧还设置有真空度检测仪和温度检测仪，所述真空度用于检测所述真空镀膜室3内的真空度，所述温度检测仪用于检测真空镀膜室3内的温度，所述真空度检测仪和所述温度监测仪均通过信号调理电路与所述控制装置4电性连接。如图1所示，本实施例的分子扩散泵5通过连接气管与所述真空镀膜室3相连接，所述涡轮真空泵通过连接气管分别与所述真空镀膜室3以及所述前级真空泵相连通。如图1所示，本实施例的控制装置4分别与所述真空镀膜室3、所述分子扩散泵5、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述配电装置电性连接。在本实施例中，在进行镀膜加工前，将待加工的石英晶体谐振器连同镀膜夹具放入真空镀膜室3内并将其装配、固定住，再将真空镀膜室3的舱门关闭、锁紧，启动分子扩散泵5的加热电源和冷却系统，启动前级真空泵，使真空系统进入运行准备阶段，与此同时，启动涡轮真空泵，使其可立即投入预抽真空状态，再对真空镀膜室3内的镀膜夹具进行加热，使镀膜夹具在真空状态下快速清除附着在镀膜夹具以及产品上的残留水汽，并且使镀膜料呈融化状态，当真空镀膜室3内的真空度达到预设镀膜控制要求后，即可开始镀膜。真空镀膜室3内的真空度达到预设镀膜控制要求后，在热状态下加大电压与电流达到最佳设定值，以升华状态瞬间镀膜，适时切断镀膜电源，至此，在真空镀膜室3内的石英晶体谐振器的部件表面将形成紧密附着的金属镀层。本技术适用于石英晶体谐振器镀膜加工装置和
本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述石英晶体谐振器真空镀膜装置包括机架（1），所述机架（1）设置有承载台（2），所述承载台（2）上部设置有真空镀膜室（3）和控制装置（4），所述承载台（2）下方设置有分子扩散泵（5）、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室（3）分别与所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室（3）内的气体，所述承载台（2）下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室（3）、所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置（4）电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述石英晶体谐振器真空镀膜装置包括机架（1），所述机架（1）设置有承载台（2），所述承载台（2）上部设置有真空镀膜室（3）和控制装置（4），所述承载台（2）下方设置有分子扩散泵（5）、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室（3）分别与所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室（3）内的气体，所述承载台（2）下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室（3）、所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置（4）电性连接。2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢尚平，毛毅，吴延剑，
申请(专利权)人：珠海东精大电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44