一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法技术

一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法，其涉及功能性薄膜制备技术领域。该二氧化钒纳米团簇的制备方法通过利用气相团簇束流沉积系统进行二氧化钒纳米团簇的制备，其先后经过了金属钒纳米团簇沉积和后退火处理两个步骤，其不但表现出了工艺简单、纳米团簇颗粒制备效率高且尺寸可控的优点，而且所制备出的二氧化钒纳米团簇具有尺寸小、颗粒均匀、物相单一的特点。因此，上述的二氧化钒纳米团簇及其制备方法在气敏材料、光电探测材料领域将具有重要的应用价值。

A two vanadium oxide nanocluster and its preparation method

A two vanadium nanocluster and its preparation method relate to the field of functional thin film preparation technology. The preparation method of the two vanadium oxide nanoclusters is prepared by using the gas cluster cluster flow deposition system for the preparation of two vanadium oxide nanoclusters. It has been followed by two steps of metal vanadium nanocluster deposition and post annealing treatment. It not only shows the advantages of simple process, high efficiency and controllable size of nano cluster particles. Moreover, the two vanadium oxide nanoclusters are characterized by small size, uniform particle size and single phase. Therefore, the above two vanadium nanoclusters and their preparation methods will have important application value in the field of gas sensing materials and photoelectric detection materials.

【技术实现步骤摘要】
一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法
本专利技术涉及功能性薄膜制备
，具体而言，涉及一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法。
技术介绍
二氧化钒(VO2)是一种典型的金属绝缘相变材料。在临界温度(68℃)附近电阻发生3-5个数量级的可逆变化，同时伴随着光学、磁学性质(反铁磁到顺磁)的转变，这些特点使得VO2在智能窗、节能材料、非制冷红外探测器、记忆存储材料等领域有着广阔的应用前景。VO2的应用与其尺度、维度等因素紧密相关。如零维VO2纳米颗粒可以旋涂于玻璃等基底作为建筑节能材料，一维纳米线主要应用于应力传感，二维薄膜材料则可应用于智能窗、记忆存储器件和非制冷红外探测器等。根据其尺度、维度的不同，目前VO2的制备方法主要有水热合成(零维纳米颗粒)、气相沉积(一维纳米线、纳米带)、外延薄膜生长(二维薄膜材料)。相比于一维纳米线/带和二维薄膜材料，小尺度的零维VO2纳米颗粒往往存在较多的高活性悬键，这些悬键比较容易与气体分子复合、反应，引起VO2本身电阻的变化，通过探测VO2电阻的变化，可以实现对不同气体分子的有效探测。小尺度VO2纳米颗粒制备过程中目前主要存在的问题有两点：一是存在较多的杂相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，其包括：金属钒纳米团簇沉积：采用气体磁控溅射的方式将金属钒靶材溅射沉积到沉积室的衬底上；后退火处理：对沉积在所述衬底上的所述金属钒纳米团簇进行加热，并在所述沉积室中引入氧气，完成对所述金属钒纳米团簇的退火处理。

【技术特征摘要】
1.一种二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，其包括：金属钒纳米团簇沉积：采用气体磁控溅射的方式将金属钒靶材溅射沉积到沉积室的衬底上；后退火处理：对沉积在所述衬底上的所述金属钒纳米团簇进行加热，并在所述沉积室中引入氧气，完成对所述金属钒纳米团簇的退火处理。2.根据权利要求1所述的二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，所述金属钒靶材的纯度为99.9％，所述金属钒靶材的直径为50mm，厚度为3mm。3.根据权利要求1所述的二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，在进行气体磁控溅射过程中，溅射、缓冲气体采用纯度为99.99％的氩气。4.根据权利要求1所述的二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，所述衬底采用厚度为500μm的单晶氧化铝或TEM铜网。5.根据权利要求1-4任意一项所述的二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，所述金属钒靶材溅射沉积过程中依次进行了管道清洗和团簇沉积，其中，团簇沉积过...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊乐乐，王峰，陈星，张勤芳，朱雷，孟强强，
申请(专利权)人：盐城工学院，
类型：发明
国别省市：江苏,32