一种载板组合及加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种载板组合及加热装置，其中所述载板组合包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。本发明专利技术使得载板易于拆卸，方便维护保养，同时并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种载板组合及加热装置
本专利技术涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种载板组合及加热装置。
技术介绍
现有的载板通常在一整块金属板或非金属版上开槽或孔制成大载板，然后再在槽或孔中放置产品，最后将载板连同产品一同放置在加热板上进行加热。其中，异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，相对传统单/多晶硅电池，有更高的发电效率，更好的稳定性和更低的成本。其PN结制备工序是采用板式PECVD制成。PN结制备工序是异质结太阳能电池制备过程一道重要的工序，一般是在板式PECVD制成，如图1所示的载板，为板式PECVD制成PN结常用工具，其是在一整块金属板或非金属版上开槽或孔制成大载板，然后在槽或孔中放置硅片，最后将PECVD载板放置在如图2所示的加热板上，由于载板较大，容易变形，使得载板和加热板之间产生间隙，导致放置载板上的硅片温差较大，且使得等离子体变得不均匀，容易产生电弧放电，严重影响PN结的制备质量。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供了一种载板组合及加热装置，其解决了加热时产品受到载板变形的影响，易于拆卸，方便维护保养，提高了生产效率。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种载板组合，其包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。进一步的，所述开孔的内边设有台阶形支撑部，需承载的物体放置在开孔内并卡设在开孔内边的台阶形支撑部上。进一步的，所述M×N个载板相互独立不相连。进一步的，所述载板框架由多块基板首尾相连构成。进一步的，所述支撑结构为多条金属丝，所述金属丝的至少一端通过弹簧张紧机构可调节式的张紧在载板框架内。进一步的，所述弹簧张紧机构包括弹簧、弹簧支撑块、弹簧支撑块压板，所述弹簧顶在弹簧支撑块上，所述金属丝被弹簧支撑块压紧固定。进一步的，所述基板为金属板或非金属板或金属板和非金属板的组合。一种加热装置，其包括载板组合和加热板，所述载板组合放置于加热板上。进一步的，所述加热板上设有与金属丝对应的收容部。本专利技术采用以上设计方案，具有如下的有益效果：1、通过在载板框架上设置支撑结构，将M×N个载板可拆卸式的放置在支撑结构上，并且M×N个载板相互独立不相连，使得载板易于拆卸，方便维护保养，并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响；同时开孔结构可实现快速加热。2、通过采用弹簧张紧机构，随着制备工艺过程中加热装置温度的提高，金属丝的长度由设于载板框架一侧的弹簧张紧机构进行调节，从而使得金属丝不受温度的影响而保持其张紧状态，因此使放置到载板上的产品不会因载板的变形而受到影响；3、同时本专利技术还简化了载板的保养工序，相对传统的大载板的反应腔内等离子清洁保养，本专利技术可以在反应腔外对载板进行保养，因而减少NF3的用量，提高了生产效率，降低了生产成本。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为现有技术中的载板示意图；图2为现有技术中的载板工作腔室结构示意；图3为本专利技术载板框架的结构示意图；图4为本专利技术载板框架安装支撑结构后的结构示意图；图5为本专利技术载板组合实施例1的结构示意图；图6为本专利技术中图5的立体图；图7为本专利技术载板的局部结构示意图；图8为本专利技术加热装置剖视结构示意图；图9为本专利技术载板组合实施例2的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术公开了一种载板组合及加热装置，其中所述载板组合包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。实施例1：如图3-7所示，本专利技术公开了一种载板组合，其包括载板框架，优选的，所述载板框架由四块金属板1构成、其中四块金属板1首尾相连构成载板框架10，支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；在具体实施例中，采用金属丝2、弹簧张紧机构3(金属丝和弹簧张紧机构构成支撑结构)，所述金属丝2的至少一端通过弹簧张紧机构可调节式的张紧在载板框架内。优选的，金属丝2的一端固定在载板框架10上，另一端通过弹簧张紧机构3可调节式的张紧在载板框架10内，用于放置M×N个载板，其中M＞1，N＞1，本专利技术不限于实施例中的3×3个载板4，其中M×N个载板相互独立不相连。所述载板4上开设有n×m个开孔41，其中n＞1，m＞1，本专利技术不限于实施例中的2×2个开孔41，所述开孔41形成载板组合的承载区域。所述开孔41的内边设有台阶形支撑部411，需承载的物体如硅片5放置在开孔41内并卡设在开孔内边的台阶形支撑部411上。所述载板4可拆卸放置于在金属丝2上，所述弹簧张紧机构3包括弹簧30、弹簧支撑块31、弹簧支撑块压板32，所述弹簧30顶在弹簧支撑块31上，所述金属丝2被弹簧支撑块31压紧固定。如上所述金属丝2被弹簧支撑块压板32压紧，从而将金属丝2固定，然后在金属丝2上放置载板4，由于金属丝2被弹簧30张紧，使金属丝2不受温度的影响而保持其张紧的状态，并且随着温度的变化，金属丝2的长度可以通过弹簧张紧机构3进行调节，再将需承载的物体如硅片5放在载板4上，载板4由载板框架10上的金属丝2托起，载板框架10放置到加热板上。由于弹簧张紧机构使得金属丝不受温度的影响而保持其张紧状态，从而减小放置到载板4上的产品因载板的变形而受到的影响，并且放置在金属丝上的载板4尺寸相对较小，变形也很小，所以放置到载板4上的需承载的物体如硅片5就不会因载板的变形而受到影响，更好的稳定等离子体，提高异质结太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率。如图8所示，本专利技术还公开了一种加热装置，其包括上述的载板组合，载板组合放置在加热板20上，加热板20上设有与载板组合的金属丝2对应的收容部，金属丝2沉入到对应加热板20的收容部中(金属丝2沉入位置即为收容部，图中未特别标出)。实施例2：如图9所示，与实施例1不同的是，本实施例中包括9×9个一体成型的载板4，其中每个载板41上开设一个开孔411。载板框架10是由四块非金属板首尾相连构成。在实际应用中，也可以设计金属丝的两端都通过弹簧张紧机构可调节式的张紧在载板框架，即金属丝可以通过两端调整张紧度，载板框架可以由金属板和非金属板的混合相连形成。本专利技术可适用于太阳能电池制造中所有涉及载板加热的薄膜沉积，如PECVD非晶硅、氮化硅和氧化硅、热CVD沉积和PVD沉积工艺，本专利技术通过在载板框架上设置支撑结构，将M×N个载板可拆卸式的放置在支撑结构上，并且M×N个载板相互独立不相连，使得载板易于拆卸，方便维护保养，并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响；通过采用弹簧张紧机构，随着本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载板组合，其特征在于：包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。

【技术特征摘要】
1.一种载板组合，其特征在于：包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。2.根据权利要求1所述的载板组合，其特征在于：所述开孔的内边设有台阶形支撑部，需承载的物体放置在开孔内并卡设在开孔内边的台阶形支撑部上。3.根据权利要求1所述的载板组合，其特征在于：所述M×N个载板相互独立不相连。4.根据权利要求1所述的载板组合，其特征在于：所述载板框架由多块基板首尾相连构成。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪鹏玉，王树林，杨与胜，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35