一种太阳能电池扩散用瓶源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池扩散用瓶源，属于太阳能电池加工领域，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。本实用新型专利技术的有益效果是：采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池扩散用瓶源
本技术涉及太阳能电池片加工领域，尤其涉及一种太阳能电池扩散用瓶源。
技术介绍
太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。在生产过程中，随着液态源(三氯氧磷)逐渐减少，由于采用单根进气管通氮气的方式，则进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，产生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)变少，因此带入高温扩散炉管内的蒸汽逐渐变少。通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。如公开号为CN102628190A的专利技术专利申请公开了一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶，外瓶顶部设置有贯通其内外的进气口和出气口，所述位于外瓶内的进气口末端设置有玻璃导管，所述外瓶内设置有隔层，玻璃导管串通隔层底部；所述隔层至少有三个；所述进气口和出气口上端呈凹槽形；所述隔层上设置有气孔；所述气孔直径本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液口通过补液管与所述副瓶源连通，所述补液口位于所述主瓶源液面以下，所述补液管与所述副瓶源连通一端位于所述副瓶源液面以下。3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液管与所述副瓶源连接一端位于所述副瓶源底部，所述补液管与所述副瓶源连接处设有控制阀门。4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液管上设有一个出液口和多个进液口，所述出液口与主瓶源相连，每个所述进液口与所述副瓶源相连。5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永生，
申请(专利权)人：冠翔太阳能科技海安有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32