一种太阳能电池扩散用瓶源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池扩散用瓶源，属于太阳能电池加工领域，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。本实用新型专利技术的有益效果是：采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池扩散用瓶源
本技术涉及太阳能电池片加工领域，尤其涉及一种太阳能电池扩散用瓶源。
技术介绍
太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。在生产过程中，随着液态源(三氯氧磷)逐渐减少，由于采用单根进气管通氮气的方式，则进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，产生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)变少，因此带入高温扩散炉管内的蒸汽逐渐变少。通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。如公开号为CN102628190A的专利技术专利申请公开了一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶，外瓶顶部设置有贯通其内外的进气口和出气口，所述位于外瓶内的进气口末端设置有玻璃导管，所述外瓶内设置有隔层，玻璃导管串通隔层底部；所述隔层至少有三个；所述进气口和出气口上端呈凹槽形；所述隔层上设置有气孔；所述气孔直径为8mm。该瓶源虽然在一定程度上提高了三氯氧磷的利用率，但是每瓶瓶源的浪费量仍然在10％以上。
技术实现思路
为克服现有技术中太阳能电池扩散用瓶源使用过程中三氯氧磷的利用率低的问题，本技术提供了一种太阳能电池扩散用瓶源，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。进一步，所述补液口通过补液管与所述副瓶源连通，所述补液口位于所述主瓶源液面以下，所述补液管与所述副瓶源连通一端位于所述副瓶源液面以下。进一步，所述补液管与所述副瓶源连接一端位于所述副瓶源底部，所述补液管与所述副瓶源连接处设有控制阀门。进一步，所述补液管上设有一个出液口和多个进液口，所述出液口与主瓶源相连，每个所述进液口与所述副瓶源相连。进一步，所述副瓶源上设有一个第二出气口，所述第二出气口与所述第一出气口连通。进一步，每个所述副瓶源外侧均设有用于保护副瓶源的保护器，所述保护器固定安装在恒温槽内。进一步，所述保护器为圆柱体框架结构，包括上护栏、中护栏、底座和竖支架，所述上护栏、所述中护栏和所述底座分别从上到下固定安装在所述竖支架上形成保护器框架结构。进一步，所述竖支架有四根，均匀分布在所述保护器侧面四周，所述上护栏、所述中护栏和所述底座分别焊接在竖支架上、中、下位置。采用竖支架、护栏和底座组成的圆柱体框架结构，护栏与护栏之间、护栏与底座之间有较大的空间距离，方便操作，同时保证恒温水域与盛源石英源瓶充分接触，实现稳定控温的目的。进一步，所述保护器周围设有用于安装在恒温槽内的手柄，所述手柄与恒温槽之间通过铆钉固定连接。进一步，所述保护器内侧与所述副瓶源中间设有缓冲材料。进一步，所述缓冲材料由海绵与包覆在海绵外的防水耐腐蚀塑料组成，所述海绵为高回弹海绵或者海藻海绵。进一步，所述保护器为不锈钢材。进一步，所述底座上设有一用于补液管通过的开口。在副瓶源外侧设置保护器，将副瓶源固定在所述恒温槽内，并且在保护器与副瓶源中间设缓冲材料，避免在操作过程中副瓶源的位移与周围产生硬碰撞，形成良好的保护效果。与现有技术相比，本技术的有益效果是：(1)采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费；(2)采用竖支架、护栏和底座组成的圆柱体框架结构，护栏与护栏之间、护栏与底座之间有较大的空间距离，方便操作，同时保证恒温水域与盛源石英源瓶充分接触，实现稳定控温的目的；(3)在副瓶源外侧设置保护器，将副瓶源固定在所述恒温槽内，并且在保护器与副瓶源中间设缓冲材料，避免在操作过程中副瓶源的位移与周围产生硬碰撞，形成良好的保护效果。附图说明图1为本技术较佳之太阳能电池扩散用瓶源示意图；图2为本技术较佳之太阳能电池保护器结构图。具体实施方式以下结合实施例和附图，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1所示为太阳能电池扩散用瓶源示意图，包括一个主瓶源1和两个以上的副瓶源2，所述主瓶源1上设有一个第一进气口11、一个第一出气口12和一个补液口13，所述第一进气口11在所述主瓶源1内部一端位于所述主瓶源1液面以下，所述第一出气口12一端与所述主瓶源1顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口13与所述副瓶源2连通。采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。作为一种优选的实施方式，所述补液口13通过补液管3与所述副瓶源2连通，所述补液口13位于所述主瓶源1液面以下，所述补液管3与所述副瓶源2连通一端位于所述副瓶源2液面以下。作为一种优选的实施方式，所述补液管3与所述副瓶源2连接一端位于所述副瓶源2底部，所述补液管3与所述副瓶源2连接处设有控制阀门31。作为一种优选的实施方式，所述补液管上3设有一个出液口32和多个进液口33，所述出液口32与主瓶源1相连，每个所述进液口33与所述副瓶源2相连。作为一种优选的实施方式，所述副瓶源2上设有一个第二出气口21，所述第二出气口21与所述第一出气口11连通。所述第二出气口21与所述第一出气口连接处设有出气阀门22。作为一种优选的实施方式，每个所述副瓶源2外侧均设有用于保护副瓶源2的保护器4，所述保护器4固定安装在恒温槽内。如图2所示，作为一种优选的实施方式，所述保护器4为圆柱体框架结构，包括上护栏41、中护栏42、底座43和竖支架44，所述上护栏41、所述中护栏42和所述底座43分别从上到下固定安装在所述竖支架44上形成保护器4框架结构。作为一种优选的实施方式，所述竖支架44有四根，均匀分布在所述保护器4侧面四周，所述上护栏41、所述中护栏42和所述底座43分别焊接在竖支架44上、中、下位置。采用竖支架、护栏和底座组成的圆柱体框架结构，护栏与护栏之间、护栏与底座之间有较大的空间距离，方便操作，同时保证恒温水域与盛源石英源瓶充分接触，实现稳定控温的目的。作为一种优选的实施方式，所述保护器4周围设有用于安装在恒温槽内的手柄，所述手柄与恒温槽之间通过铆钉固定连接。作为一种优选的实施方式，所述保护器4内侧与所述副瓶源2中间设有缓冲材料。作为一种优选的实施方式，所述缓冲材料由海绵与包覆在海绵外的防水耐腐蚀塑料组成，所述海绵为高回弹海绵或者海藻海绵。作为一种优选的实施方式，所述保护器为不锈钢材。作为一种优选的实施方式，所述底座43上设有一用于补液管3通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液口通过补液管与所述副瓶源连通，所述补液口位于所述主瓶源液面以下，所述补液管与所述副瓶源连通一端位于所述副瓶源液面以下。3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液管与所述副瓶源连接一端位于所述副瓶源底部，所述补液管与所述副瓶源连接处设有控制阀门。4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，所述补液管上设有一个出液口和多个进液口，所述出液口与主瓶源相连，每个所述进液口与所述副瓶源相连。5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永生，
申请(专利权)人：冠翔太阳能科技海安有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32