The application relates to the technical field of monocrystalline silicon production equipment, in particular a balance - regulating type winding device. The balance adjustment type winding device includes a base seat, an electric motor, a winding mechanism and a balancing mechanism. The winding mechanism includes ball spline, winding wheel and fixed nut. The winding wheel of the winding mechanism is rotating around the line, and the winding wheel moves along the ball spline under the action of the fixed nut. The balancing mechanism consists of a silk rod, a guide rod and a balance block, which is connected to a ball spline through a synchronous belt. The balancing mechanism can drive the balance block to move in the opposite direction with the coiling wheel during the movement of the coiling wheel along the axis, so that the center of gravity of the winding device remains unchanged, so as to ensure the operation stability of the winding device.
【技术实现步骤摘要】
一种平衡调节型绕线装置
本申请涉及单晶硅生产设备
,尤其涉及一种平衡调节型绕线装置。
技术介绍
单晶硅主要用于制作半导体元件,包括大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等,是集成电路产业和太阳能光伏产业的重要功能材料。制备单晶硅的方法有很多,其中,直拉法是生产单晶硅最常用的方法之一。图1为一种通过直拉法制备单晶硅的单晶炉结构示意图。该单晶炉主要包括:密封腔体01、加热装置02、坩埚03、籽晶轴线04和籽晶提升机构05。在使用该单晶炉制备单晶硅的过程中,首先将多晶硅加入坩埚03中,使用加热装置02加热坩埚03,使多晶硅熔化为硅熔融体。其次,采用籽晶提升机构05使籽晶轴线04下端的籽晶慢慢下降进入硅熔融体中。最后,使用籽晶提升机构05将籽晶按照一定速度向上提升。在提升的过程中,籽晶与硅熔体的固液界面之间的硅熔融体冷却成固态的硅单晶。籽晶提升机构05主要包括电机和绕线轮。在提升籽晶的过程中,绕线轮不仅在电机的作用下按照一定的速率转动将籽晶提升,而且沿绕线轮的轴线左右运动,以减小绕线过程中籽晶轴线04位置的偏移。但是,该提升机构的绕线轮在左右运动的过程中,提升机构的重心不断地发生变化,无法始终保持提升机构的重心与籽晶轴线04重合。因此,在提升籽晶的过程中,籽晶提升机构可能会由于重心不稳而导致籽晶轴线04晃动,降低籽晶头运行的稳定性,导致固液之间的氧化物进入到晶体内部,降低了晶体品质以及单晶棒一次性生长的成功率和单晶的转化效率。
技术实现思路
本申请提供了一种平衡调节型绕线装置,以解决现有绕线装置在绕线的过程中重心不断地变化,导致绕线机构运行稳定性低的问题。一种 ...
【技术保护点】
一种平衡调节型绕线装置,其特征在于,包括:基座(1)、设置于所述基座(1)上的绕线机构(2)、平衡机构(3)和电机(4),其中,所述绕线机构(2)包括滚珠花键(21)、绕线轮(22)和固定螺母(23);所述滚珠花键(21)的花键轴(211)与所述电机(4)连接,所述滚珠花键(21)的花键外筒(212)上设有所述绕线轮(22)和第一螺纹(24),所述第一螺纹(24)与所述固定螺母(23)相配合,所述固定螺母(23)设置于所述基座(1)上;所述平衡机构(3)包括丝杆(31)、导向杆(32)和平衡块(33);所述平衡块(33)上设有第一通孔(331)和第二通孔(332),所述第一通孔(331)内设有第二螺纹(333)和与所述第二螺纹(333)相配合的所述丝杆(31),所述第二通孔(332)内设有所述导向杆(32);所述滚珠花键(21)和所述丝杆(31)通过同步带(5)连接,所述绕线轮(22)和所述平衡块(33)的运动方向相反。
【技术特征摘要】
1.一种平衡调节型绕线装置,其特征在于,包括:基座(1)、设置于所述基座(1)上的绕线机构(2)、平衡机构(3)和电机(4),其中,所述绕线机构(2)包括滚珠花键(21)、绕线轮(22)和固定螺母(23);所述滚珠花键(21)的花键轴(211)与所述电机(4)连接,所述滚珠花键(21)的花键外筒(212)上设有所述绕线轮(22)和第一螺纹(24),所述第一螺纹(24)与所述固定螺母(23)相配合,所述固定螺母(23)设置于所述基座(1)上;所述平衡机构(3)包括丝杆(31)、导向杆(32)和平衡块(33);所述平衡块(33)上设有第一通孔(331)和第二通孔(332),所述第一通孔(331)内设有第二螺纹(333)和与所述第二螺纹(333)相配合的所述丝杆(31),所述第二通孔(332)内设有所述导向杆(32);所述滚珠花键(21)和所述丝杆(31)通过同步带(5)连接,所述绕线轮(22)和所述平衡块(33)的运动方向相反。2.根据权利要求1所述的平衡调节型绕线装置,其特征在于,所述基座(1)上设有密封壳体(6),所述绕线机构(2)设置于所述密封壳体(6)的内部;所述电机(4)和所述平衡...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐永亮,张国华,施海斌,
申请(专利权)人:浙江昀丰新材料科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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