The utility model discloses a high-efficiency polysilicon reducing furnace heat recovery system, including reduction furnace, reduction furnace is connected with the tail cooling jacket, the tail cold jacket are respectively connected with the jacket water entrance, jacket water outlet and advanced heat exchanger, the advanced heat exchanger respectively with the jacket entrance, water jacket water outlet is connected with the reduction furnace, and is connected with a SV mixer, the SV mixer is connected with the mixed vaporizer, and connected with the side road through the reduction furnace, the heat exchanger is provided with a reduction of advanced exhaust port, the mixed vaporizer connected with three silicon and hydrogen chloride import imports. The high temperature furnace tube reduction furnace and the mixed water vaporizer connected; effectively solves the high temperature water temperature can only flash 2barg low grade steam and exhaust gas can not effectively used.
【技术实现步骤摘要】
一种高效多晶硅还原炉热量回收系统
本技术涉及热量回收利用
,尤其涉及一种高效多晶硅还原炉热量回收系统及还原生产工艺。
技术介绍
目前,国内外生产多晶硅的主要工艺技术是改良西门子法:经过提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后,在一定的温度和压力下通入多晶硅还原炉内,在通电高温硅芯上进行沉积反应生成多晶硅,反应温度控制在1080-1100摄氏度左右,最终生成棒状多晶硅产品。而在现有常规的工艺生产过程中,尾气通过夹套水冷却,然后用高温水尾气换热器回收一部分热量,闪蒸低压2barg蒸汽,进料用蒸汽/高温水汽化三氯氢硅,再与氢气混合进入还原炉,这样未回收利用还原炉产生的热能,产的低压蒸汽无法用于多晶硅生产。在技术专利申请公开说明书CN201110254699.0“多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统”中公开的文件,其对还原尾气的热能利用主要用于余热锅炉的加热,一次换热后形成高温蒸汽;二次换热为高温热水,再通过炉筒水闪蒸槽进一步产生蒸汽,实现梯级换热,最终均成为可工业使用的蒸汽,使得尾气热能得利用。在技术专利申请公开说明书CN201210202006.8也公开一种“多晶硅还原工艺中热能的回收利用方法、系统及利用该方法和系统的多晶硅还原工艺”,其中尾气依次经过混合气尾气换热管、出入气换热管和列管式鼓泡汽化器三层热交换,然后进入最后回收。该工艺用外部热源把三氯氢硅和氢气在列管式鼓泡汽化器中汽化,,对于鼓泡式汽化器,温度和压力稍有波动,组分就发生变化,导致流量计检测也不准确,存在流量控制不准确、氢气与三氯氢硅摩尔比控制不灵敏的弊端。对进料流量也缺少有效控制,进而导致对 ...
【技术保护点】
一种高效多晶硅还原炉热量回收系统,其特征在于,所述高效多晶硅还原炉热量回收系统包括还原炉,还原炉上连接有尾冷夹套,所述尾冷夹套上分别连接有夹套水入口、夹套水出口和先进换热器,所述先进换热器分别与夹套水入口、夹套水出口和还原炉相连,并连接有SV混合器,所述SV混合器与混合汽化器相连,同时通过一旁路与还原炉相连,所述先进换热器上设有还原尾气出口,所述混合汽化器连接有三氯化硅进口和氢气进口,还原炉的高温炉筒回水与所述混合汽化器相连。
【技术特征摘要】
1.一种高效多晶硅还原炉热量回收系统,其特征在于,所述高效多晶硅还原炉热量回收系统包括还原炉,还原炉上连接有尾冷夹套,所述尾冷夹套上分别连接有夹套水入口、夹套水出口和先进换热器,所述先进换热器分别与夹套水入口、夹套水出口和还原炉相连,并连接有SV混合器,所述SV混合器与混合汽化器相连,同时通过一旁路与还原炉相连,所述先进换热器上设有还原尾气出口,所述混合汽化器连接有三氯化硅进口和氢气进口,还原炉的高温炉筒回水与所述混合汽化器相连。2.根据权利要求1所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统,其特征在于,所述先进换热器包括混合进料与高温尾气换热器...
【专利技术属性】
技术研发人员:程佳彪,张华芹,
申请(专利权)人:上海韵申新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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