用于沉积OLED显示面板的掩膜制造技术

一种掩膜，其包括一支撑板及设置于该支撑板一表面上的多个掩膜单元，该支撑板上开设有多个通孔，每一个掩膜单元完全覆盖所述多个通孔中的一个，每一个掩膜单元上开设有贯穿其的多个开口，每一个开口与该掩膜单元覆盖的通孔相连通，每一个掩模单元被划分为一中心区域和一边缘区域，其中该边缘区域位于该中心区域的周边并围绕该中心区域；在每一个掩模单元中，沿着从该边缘区域指向该中心区域的方向，所述多个开口的尺寸逐渐变小。所述掩膜用于沉积OLED显示面板，可降低或避免Shadow Effect。

A mask for depositing a OLED display panel

A mask, which comprises a support plate and is arranged on the support plate on the surface of a mask unit, the support plate is provided with a plurality of through holes, a mask every unit completely covers the plurality of through holes, each unit is arranged on the mask through a plurality of openings of each opening is communicated with the mask unit covering the through hole, each mask unit is divided into a central region and a peripheral edge region, wherein the edge area is located in the central area and around the central region; in each mask unit, to the area from the center along the edge direction, the plurality of openings size becomes smaller. The mask for deposition of OLED display panel, can reduce or avoid Shadow Effect.

【技术实现步骤摘要】
用于沉积OLED显示面板的掩膜
本专利技术涉及用于沉积OLED显示面板的一种掩膜。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)显示面板的制备通常包括采用气相沉积的方式在衬底(如薄膜晶体管衬底)上形成有机发光材料层的步骤。而沉积有机发光材料层的步骤需要使用一掩膜，所述掩膜设置在衬底(如薄膜晶体管衬底)上，掩膜上开设有多个通孔，蒸发源蒸发的材料通过掩膜上的通孔沉积到衬底(如薄膜晶体管衬底)上。每一个通孔处沉积的材料对应形成OLED显示面板的一个子像素。通常每个通孔的尺寸设计成与每一个子像素的尺寸相当。然而，最终使用该掩膜沉积形成的子像素常常大于设定的子像素的尺寸。例如，当设定的子像素图案的宽度为x，长度为y，若设置掩膜上的通孔的尺寸与子像素图案的尺寸相同，由于使用掩膜和蒸镀工艺在衬底上形成的子像素图案的过程中形成掩膜与衬底之间存在间隙，使得实际制得的子像素图案的宽度会大于x，长度会大于y；此现象称之为shadoweffect。因此，掩膜对OLED显示面板的生产精度以及性能有重要影响。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种能够降低shadoweffect的掩膜及其制备方法。一种掩膜，其包括一支撑板及设置于该支撑板一表面上的多个掩膜单元，该支撑板上开设有多个通孔，每一个掩膜单元完全覆盖所述多个通孔中的一个，每一个掩膜单元上开设有贯穿其的多个开口，每一个开口与该掩膜单元覆盖的通孔相连通，每一个掩模单元被划分为一中心区域和一边缘区域，其中该边缘区域位于该中心区域的周边并围绕该中心区域，在每一个掩模单元中，沿着从该边缘区域指向该中心区域的方向，所述多个开口的尺寸逐渐变小。优选的，该支撑板的材质为金属或合金。优选的，该支撑板的材质为具有磁性的金属或合金。优选的，每一个掩膜单元的材质为塑料。优选的，所述多个掩膜单元呈矩阵排布。优选的，每一个掩膜单元的多个开口呈矩阵排布。一种掩膜，其包括一支撑板及设置于该支撑板一表面上的多个掩膜单元，该支撑板上开设有多个通孔，每一个掩膜单元完全覆盖所述多个通孔中的一个，每一个掩膜单元上开设有贯穿其的多个开口，每一个开口与该掩膜单元覆盖的通孔相连通，该掩膜被划分为一中心区域和一边缘区域，其中该边缘区域位于该中心区域的周边并围绕该中心区域，沿着从该边缘区域指向该中心区域的方向，该掩膜的多个开口的尺寸逐渐变小。优选的，该支撑板的材质为具有磁性的金属或合金。优选的，每一个掩膜单元的材质为塑料。优选的，所述多个掩膜单元呈矩阵排布；每一个掩膜单元的多个开口呈矩阵排布。所述掩膜通过对掩膜单元中开口的尺寸设计成具有的一定的规律，可有效降低或者避免造成ShadowEffect。附图说明图1是本专利技术第一实施方式的掩膜的平面示意图。图2是图1沿剖面线II-II剖开的剖面示意图。图3是图1中的掩膜单元的平面示意图。图4是本专利技术第一实施方式的掩膜的平面示意图。图5是图4沿剖面线V-V剖开的剖面示意图。主要元件符号说明掩膜10、20支撑板11、21掩膜单元13、23通孔111、211开口131、231中心区域133、213边缘区域135、215第一开口1311、2311第二开口1312、2312第三开口1313、2313第四开口2314第五开口2315如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式第一实施例请一并参阅图1至图2，本专利技术第一实施方式的掩膜10包括一支撑板11及设置于该支撑板11一表面上的多个掩膜单元13。该支撑板11用以承载所述多个掩膜单元13。所述多个掩膜单元13为相互间隔设置。该支撑板11上开设有多个通孔111，所述多个通孔111相互间隔设置，每一个通孔111对应一个掩膜单元13。每一个掩膜单元13的面积尺寸大于每一个通孔111的开口尺寸，使得每一个掩膜单元13能够完全覆盖与其对应的通孔111。进一步的，所述多个通孔111排列成一矩阵，因此，覆盖所述多个通孔111的所述多个掩膜单元13也呈矩阵排列。该支撑板11需具有一定的强度以起到支撑所述多个掩膜单元13的作用，因此该支撑板11的材质为金属或合金。较佳的，该支撑板11的材质为具有磁性的金属或合金。例如，该支撑板11由因瓦合金制成。沉积OLED显示面板的有机发光材料层时，掩膜与待沉积的衬底(如薄膜晶体管衬底)均放入一沉积设备(如蒸镀机，图未示)中，沉积设备中具有一磁板(图未示)，且沉积过程中，所述磁板、所述衬底、所述掩膜为依次层叠放置。如果掩膜10没有磁性，沉积过程中掩膜与衬底容易形成一间隙，进而造成ShadowEffect。当掩膜10的支撑板11具有磁性，沉积过程中掩膜10与磁板相互吸引，使掩膜10与衬底之间更紧密的结合，降低或避免造成ShadowEffect。每一个掩模单元13的材质为塑料，并且塑料可以是选自以下的一种：聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、乙烯(PE)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚酰胺(PA)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚苯硫醚(PPS)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚丙烯(PP)。在本实施例中，每一个掩模单元13基本上是矩形的。每一个掩模单元13上开设有多个开口131，所述多个开口131相互间隔设置。图1-3均呈现了所述多个开口131的数量。每一个开口131延伸贯穿其对应的掩模单元13。如图2所示，掩模单元13的每个开口131与该掩膜单元13覆盖的通孔111相连通。在本实施例中，每一个开口131基本上是矩形的。如图3所示，每一个掩模单元13根据区域的不同被划分为一中心区域133和一边缘区域135，其中该边缘区域135位于该中心区域133的周边并围绕该中心区域133。在每一个掩模单元13中，沿着从该边缘区域135指向该中心区域133的方向所述多个开口131的尺寸逐渐变小。本实施例中，该中心区域133大致呈矩形的，该边缘区域135大致呈矩形环状，且该中心区域133与该边缘区域135为相互间隔的。本实施例中，如图3所示，在每一个掩模单元13中，沿着从该边缘区域135指向该中心区域133的方向所述多个开口131包括三种类型的开口，分别为多个第一开口1311、多个第二开口1312和多个第三开口1313。其中，所述多个第一开口1311位于该中心区域133，所述多个第三开口1313位于该边缘区域135，所述多个第二开口1312位于该中心区域133与该边缘区域135之间，即所述多个第二开口1312位于所述多个第一开口1311和所述多个第二开口1312之间。每一个开口1311的尺寸小于每一个第二开口1312的尺寸，每一个第二开口1312的尺寸小于每一个第三开口1313的尺寸。即，位于该边缘区域135内的第三开口1313的尺寸最大，位于该中心区域133的第一开口1311的尺寸最小。其中，位于该边缘区域135内的第三开口1313的尺寸与待沉积的OLED显示的子像素的尺寸基本相当。即，在每一个掩模单元13中，最大的开口131的尺寸与待沉积的OLED显示的子像素的尺寸基本相当。可以理解的，每一个掩模单元13的所述多个开口131的类型不限于如图3所示，不限于三种类型，也可包括两种不同尺寸类型的开口或三种以上不同尺寸类型的开口，只要保证在每一个掩模单元13中，沿着从该边缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜，其包括一支撑板及设置于该支撑板一表面上的多个掩膜单元，该支撑板上开设有多个通孔，每一个掩膜单元完全覆盖所述多个通孔中的一个，每一个掩膜单元上开设有贯穿其的多个开口，每一个开口与该掩膜单元覆盖的通孔相连通，每一个掩模单元被划分为一中心区域和一边缘区域，其中该边缘区域位于该中心区域的周边并围绕该中心区域，其特征在于：在每一个掩模单元中，沿着从该边缘区域指向该中心区域的方向，所述多个开口的尺寸逐渐变小。

【技术特征摘要】
2016.08.04 US 62/3707291.一种掩膜，其包括一支撑板及设置于该支撑板一表面上的多个掩膜单元，该支撑板上开设有多个通孔，每一个掩膜单元完全覆盖所述多个通孔中的一个，每一个掩膜单元上开设有贯穿其的多个开口，每一个开口与该掩膜单元覆盖的通孔相连通，每一个掩模单元被划分为一中心区域和一边缘区域，其中该边缘区域位于该中心区域的周边并围绕该中心区域，其特征在于：在每一个掩模单元中，沿着从该边缘区域指向该中心区域的方向，所述多个开口的尺寸逐渐变小。2.如权利要求1所述的掩膜，其特征在于：该支撑板的材质为金属或合金。3.如权利要求2所述的掩膜，其特征在于：该支撑板的材质为具有磁性的金属或合金。4.如权利要求1所述的掩膜，其特征在于：每一个掩膜单元的材质为塑料。5.如权利要求1所述的掩膜，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈仁杰，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44