The utility model provides a single crystal furnace lifting rotating mechanism, including triangular bracket, electric lift, guide rod, fixed bearing, sliding bearings, sliding key, pulling lock plate, bearing, pulling open the guide rod, a rotating shaft, open open open, pushing the slider, rotating cylinder, one end of the triangular bracket the set has two sliding bearing, the sliding bearing is arranged on the guide pillar, the pillar of the upper and lower ends are respectively provided with a fixed support, the fixed support is arranged in the ball bearing, the sliding bearing is arranged in the sliding sleeve, the sliding key is arranged on the sliding support. At the end of the guide column is equipped with electric hoist, the electric hoist drives the triangle bracket by sliding bearings along the guide pillar in the fixed support between the upper and lower linear motion. The monocrystalline furnace using the furnace chamber lifting mechanism has reserved space for magnetic field. It can be retrofitted without additional modification, avoiding the problem of uneven rise and fall of the main chamber caused by the single fulcrum bending when the cylinder is lifted.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉室提升旋转机构
本技术涉及一种单晶炉炉室提升机构,具体地涉及一种单晶炉炉室提升旋转机构。
技术介绍
硅晶体生长目前正朝着高纯度,高完整性,高均匀性和大直径方向发展,集成电路特别是极大规模集成电路(60-95nm)对晶体质量有严格的要求。材料中的有害杂质及其不均匀性以及掺杂剂分布的不均匀性是制约单晶质量的主要因素之一,它们会引起材料的光学、电学性能的不均匀性,最终损害半导体器件的光、电学性能。这就要求减少单晶材料的缺陷、杂质含量,提高氧、碳等杂质以及掺杂剂在晶体中分布的均匀性。在现有的技术文献中,例如专利号为:“201020250519.2”的专利提供了,一种勾型磁场单晶炉用炉室抓取提升旋转装置,包括竖直设立的油缸,油缸的活塞杆上安装有支臂,支臂能够转动到主炉室的上方,支臂包括对称的多根悬臂构成,每个悬臂的外端头设置有一个气缸和抓取摇臂,抓取摇臂的中部铰接在悬臂中,气缸与抓取摇臂的一端连接,抓取摇臂的另一端为勾爪。此种方式在使用时油缸升降存在单支点弯曲下垂的缺点,造成主炉室升降不水平,使用多个气缸和抓取摇臂存在抓紧力调整时不统一,不易调整。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的主要目的是提供一种单晶炉炉室提升旋转机构。本技术采用的技术方案是:一种单晶炉室提升旋转机构,包括三角支架、电动升降机、导柱、固定支座、滑动支座、滑动键、提拉锁板、提拉支座、张开导杆、开旋转轴、张开推块、张开滑块、旋转气缸,所述三角支架的一端设置有上下两个滑动支座,所述滑动支座上设置有导柱,所述导柱的上下两端分别设置有固定支座,所述固定支座内设置有滚珠轴承,所述滑动支座内设置有滑动轴套,所 ...
【技术保护点】
一种单晶炉室提升旋转机构,其特征在于,包括三角支架(1)、电动升降机(2)、导柱(3)、固定支座(4)、滑动支座(5)、滑动键(6)、提拉锁板(7)、提拉支座(8)、张开导杆(9)、张开旋转轴(10)、张开推块(11)、张开滑块(12)、旋转气缸(13),所述三角支架(1)的一端设置有上下两个滑动支座(5),所述滑动支座(5)上设置有导柱(3),所述导柱(3)的上下两端分别设置有固定支座(4),所述固定支座(4)内设置有滚珠轴承,所述滑动支座(5)内设置有滑动轴套,所述滑动键(6)设置在滑动支座(5)内,所述导柱(3)的顶端处还设置有电动升降机(2),所述电动升降机(2)带动滑动支座(5)沿导柱(3)在固定支座(4)间上下直线运动;所述提拉锁板(7)通过提拉支座(8)安装在三角支架(1)的三个角上,所述提拉锁板(7)连接张开导杆(9)的一端,所述张开导杆(9)的另一端与张开滑块(12)连接,张开推块(11)设置在张开旋转轴(10)和张开滑块(12)之间,张开旋转轴(10)另一端设置有旋转气缸(13)。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉室提升旋转机构,其特征在于,包括三角支架(1)、电动升降机(2)、导柱(3)、固定支座(4)、滑动支座(5)、滑动键(6)、提拉锁板(7)、提拉支座(8)、张开导杆(9)、张开旋转轴(10)、张开推块(11)、张开滑块(12)、旋转气缸(13),所述三角支架(1)的一端设置有上下两个滑动支座(5),所述滑动支座(5)上设置有导柱(3),所述导柱(3)的上下两端分别设置有固定支座(4),所述固定支座(4)内设置有滚珠轴承,所述滑动支座(5)内设置有滑动轴套,所述滑动键(6)设置在滑动支座(5)内,所述导柱(3)的顶端处还设置有电动升降机(2),所述电动升降...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘统青,时刚,武海军,
申请(专利权)人:西安创联新能源设备有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西,61
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