The invention provides a quartz tube, including the furnace tube body, wherein the furnace tube body is provided with a first end face of the mouth, second end surface of the furnace tube body is set to the furnace tail, the body cavity of the furnace tube; the furnace chamber near the end of the tail is provided with a gas stove room, the tail of the furnace is provided with at least one air inlet and at least one outlet connected to the at least one air inlet and the air chamber, the air is communicated with the furnace chamber; the top plate of the gas chamber is provided with at least one pipe extends to the mouth the direction of the at least one branch pipe and the gas chamber, the wall of the branch pipe and the at least one branch pipe is provided with a plurality of vent holes. The invention solves the problem of process gas from the furnace tail directly to the mouth flow which leads to the problem of uneven flow distribution, the process gas from around the wafer and the wafer into uniform, uniform contact, to ensure consistency within the parameters of the wafer piece.
【技术实现步骤摘要】
一种石英炉管
本专利技术属于炉管制造
,涉及一种石英炉管。
技术介绍
石英炉管是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以建立不同的电特性区域。三氯氧磷预淀积是半导体晶圆片制造过程中的重要工序,其工艺过程在石英炉管中实现。目前生产线上普遍使用的石英炉管只有炉尾进气口,生产作业时携带液态三氯氧磷源的氮气直接从炉尾的进气口进入炉管反应,但由于石英炉管恒温区距离进气口有一段距离,使得晶圆片片间的气流分布不均匀,造成晶圆片片内参数不一致。
技术实现思路
鉴于此,本专利技术提供了一种石英炉管,以提高晶圆片片间气流分布的均匀性,提升晶圆片片内参数的一致性。为实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:本专利技术实施例提供一种石英炉管,包括炉管本体,所述炉管本体的第一端面开设有炉口,所述炉管本体的第二端面设置为炉尾,所述炉管本体内设有炉腔;所述炉腔内靠近所述炉尾的一端设置有气室,所述炉尾上开设有至少一个进气口和至少一个出气口,所述至少一个进气口与所述气室相连通,所述出气口与所述炉腔相连通;所述气室的顶板上设置有向所述炉口方向延伸的至少一根支管,所述至少一根支管与所述气室相通,所述至少一根支管的支管壁上开有多个支管透气孔。进一步地,所述多个支管透气孔的相邻孔孔距向所述炉口延伸方向依次减小。进一步地,所述多个支管透气孔的孔径向所述炉口沿延伸方向依次增大。进一步地,所述多个支管透气孔包括多个第一支管透气孔、多个第二支管透气孔和多个第三支管透气孔;所述多个第一支管透 ...
【技术保护点】
一种石英炉管,其特征在于,包括炉管本体,所述炉管本体的第一端面开设有炉口,所述炉管本体的第二端面设置为炉尾,所述炉管本体内设有炉腔;所述炉腔内靠近所述炉尾的一端设置有气室,所述炉尾上开设有至少一个进气口和至少一个出气口,所述至少一个进气口与所述气室相连通,所述出气口与所述炉腔相连通;所述气室的顶板上设置有向所述炉口方向延伸的至少一根支管,所述至少一根支管与所述气室相通,所述至少一根支管的支管壁上开有多个支管透气孔。
【技术特征摘要】
1.一种石英炉管,其特征在于,包括炉管本体,所述炉管本体的第一端面开设有炉口,所述炉管本体的第二端面设置为炉尾,所述炉管本体内设有炉腔;所述炉腔内靠近所述炉尾的一端设置有气室,所述炉尾上开设有至少一个进气口和至少一个出气口,所述至少一个进气口与所述气室相连通,所述出气口与所述炉腔相连通;所述气室的顶板上设置有向所述炉口方向延伸的至少一根支管,所述至少一根支管与所述气室相通,所述至少一根支管的支管壁上开有多个支管透气孔。2.根据权利要求1所述的石英炉管,其特征在于,所述多个支管透气孔的相邻孔孔距向所述炉口延伸方向依次减小。3.根据权利要求2所述的石英炉管,其特征在于,所述多个支管透气孔的孔径向所述炉口沿延伸方向依次增大。4.根据权利要求1所述的石英炉管,其特征在于,所述多个支管透气孔包括多个第一支管透气孔、多个第二支管透气孔和多个第三支管透气孔;所述多个第一支管透气孔、多个第二支管透气孔和多个第三支管透气孔向所述炉口延伸方向依次分布;所述多个第一支管透气孔等间距分布,所述多个第二支管透气孔等间距分布,...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔严匀,王训辉,
申请(专利权)人:无锡华润华晶微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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