一种用于OLED检测设备的运动平台制造技术

本实用新型专利技术涉及运动平台技术领域，尤其是一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座，所述Y1永磁直线电机与Y2永磁直线电机一侧均设置有Y向机械缓冲器，所述X永磁直线电机一侧设置有X向机械缓冲器，其中Z向微调台包括Z向永磁直线电机、Z向机构、Z向平衡弹簧与Z向载物台，所述Z向载物台一侧设置有楔形块，所述Z向微调台安装有柔性弹片，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。本发能够明保证载物台面在XY的整个运动行程内的垂向准确性，其在检测行程范围内载物台的平面度误差要小于1um，且具有紧凑、精密、高响应的特点。

A moving platform for OLED inspection equipment

The utility model relates to the technical field of motion platform, especially the sport platform for OLED testing equipment, the platform comprises a vacuum suction mechanism from top to bottom, to fine tune Z XY direction mobile station, Taiwan, the marble base, Y1 permanent magnet linear motor and Y2 permanent magnet linear motor is provided with a Y to the mechanical buffer, the X permanent magnet linear motor is arranged at one side of the X to the mechanical buffer to the Z platform including Z to fine tune the permanent magnet linear motor, Z mechanism, Z to balance spring and Z stage, the Z is set to the side of the stage with a wedge block, the installation of Z to a fine flexible shrapnel, simplifies the design of vertical mechanism, reduce the straightness error of Z axis in the process of movement. To ensure the loading table in the whole Ming movement within the XY vertical accuracy of the stage in the detection of stroke within the scope of the flatness error is less than 1um, and has the characteristics of compact structure, high precision, response.

【技术实现步骤摘要】
一种用于OLED检测设备的运动平台
本技术涉及运动平台
，尤其涉及一种用于OLED检测设备的运动平台。
技术介绍
检测设备运动平台属于大行程、高精密平台，该系列平台是集精密机械、高精密测量、运动控制等多项技术于一体的复杂系统，运动平台可将一个大面积的待检测物分解为多个视场累加检测，通过控制运动台对OLED面板完成大面积的检测，平台的定位精度、平面度误差以及运行的匀速性决定了设备的检测精度，步进及运行速度决定设备的产率。现有技术采用的是一种XY方向均采用机械导轨加永磁直线电机的驱动方式，Y向两套驱动装置安装于大理石基座两侧，X向平台安装于Y向的Y1与Y2运动机构上。现有平台全行程内的平面度误差一般都只能做到5-10um，并且需要高精度的机械加工件，以及繁琐的安装来保证。因此，有必要设计一款安装简单且平台有效行程范围内平面度达到1um左右的高精度运动平台。现有技术的Z向调整台采用在龙门横梁上垂直XY平面安装伺服电机加滚珠丝杆平台来实现微调。该驱动形式体积较大，调整精度低，动态响应慢、特性较差。因此，有必要设计一款满足设备需求的紧凑、精密、高响应特点的Z向调整台。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在动态响应慢、特性较差的缺点，而提出的一种用于OLED检测设备的运动平台。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：设计一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机、Y2永磁直线电机和X永磁直线电机，所述Y1永磁直线电机与Y2永磁直线电机一侧均设置有Y向机械缓冲器，所述X永磁直线电机一侧设置有X向机械缓冲器，其中Z向微调台包括Z向永磁直线电机、Z向机构、Z向平衡弹簧与Z向载物台，所述Z向载物台一侧设置有楔形块，所述Z向微调台安装有柔性弹片，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。优选的，所述Z向机构安装有两组机械导轨单元，所述机械导轨单元包括Z1向机械导轨与Z2向机械导轨，其中Z1向机械导轨用于楔形块与底板连接，另外一组Z2向机械导轨用于楔形块与Z向载物台连接。优选的，所述Z向载物台通过柔性弹片与Z向机构的底板连接。优选的，Z向机构的所述底板上安装有Z向永磁直线电机定子，且Z向永磁直线电机定子设置在Z向永磁直线电机上，楔形块上安装有Z向永磁直线电机动子。优选的，所述Z向载物台下端面与Z向机构的底板之间安装有Z向平衡弹簧，此Z向平衡弹簧可补偿Z向载物台与所述真空吸盘的重量。优选的，所述Z向机构内设置有光栅尺，所述Z向机构中的光栅尺安装于Z向机构的楔形块上，所述底板上还设置有读数头。优选的，Y向的导向机构为两套高精密的滚柱导轨，且滚柱导轨分别安装于大理石基座Y向的两侧。优选的，所述XY方向运动台的两侧为Y向运动方向，其中Y1永磁直线电机的定子安装于大理石基座上，Y1永磁直线电机的动子与该侧Y1机械导轨上的Y1永磁直线电机动子连接件连接，其中Y2永磁直线电机的定子安装于大理石基座上，Y2永磁直线电机的动子与该侧Y2机械导轨上的Y2永磁直线电机动子连接件连接，Y1，Y2向中的读数头分别固定在Y1永磁直线电机动子连接件与Y2永磁直线电机动子连接件上。优选的，所述Y1机械导轨与Y2机械导轨上还包括Y向反馈光栅尺，且Y向反馈光栅尺安装于大理石基座上。优选的，Y1机械导轨、Y2机械导轨之间为X向气浮导轨，所述X向气浮导轨中间安装有Z永磁直线电机定子，以及X向反馈光栅尺。优选的，X向气浮导轨左右两侧与X向气浮滑块下气浮底板为气浮板，上盖板固定连接在两侧气浮板的上端，且上盖板用于承载真空吸盘，形成一个“口”字型的气浮滑块。优选的，所述气浮滑块部分的X向气浮滑块下气浮底板与所述大理石基座上表面形成10um左右的气膜，所述X向气浮滑块下气浮底板四角为气浮区域。优选的，所述X向永磁直线电机的动子与气浮滑块的上盖板连接。优选的，所述X向气浮导轨上端面的两侧安装有磁预载用的钢条，所述气浮滑块的上盖板内部安装有永磁体，组成X向气浮滑块的磁预载，与X向气浮滑块下气浮底板气浮组合使用达到X向气浮滑块的高刚度性能。本技术提出的一种用于OLED检测设备的运动平台，有益效果在于：该用于OLED检测设备运动平台需要做高精度的XY平面运动以及在Z方向具有高速、高精度的微调功能，并且气浮滑台采用磁预载的方式，来保证载物台面在XY的整个运动行程内的垂向准确性，其在检测行程范围内载物台的平面度误差要小于1um，且设备具有紧凑、精密、高响应的特点。附图说明图1为本技术提出的一种用于OLED检测设备的运动平台的结构示意图；图2为本技术提出的一种用于OLED检测设备的运动平台的Z向微调台主视结构示意图；图3为本技术提出的一种用于OLED检测设备的运动平台的Z向微调台侧视结构示意图；图4为本技术提出的一种用于OLED检测设备的运动平台的结构示意图。图中：1大理石基座，2Y1机械导轨，3Y1永磁直线电机，4Y2机械导轨，5X向气浮导轨，6X永磁直线电机，7钢条，8Y向机械缓冲器，9X向机械缓冲器，10Y2永磁直线电机，101Y2永磁直线电机动子连接件，11Y向反馈光栅尺，12X向反馈光栅尺，13读数头，14X向气浮滑块下气浮底板，15气浮板，16气浮滑块，17Z向微调台，18真空吸盘，19永磁体，20Z向载物台，21Z向平衡弹簧，22光栅尺，23楔形块，24Z向永磁直线电机，25底板，26柔性弹片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-4，一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘18、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座1，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机3、Y2永磁直线电机10和X永磁直线电机6，XY方向运动台的两侧为Y向运动方向，其中Y1永磁直线电机3的定子安装于大理石基座1上，Y1永磁直线电机3的动子与该侧Y1机械导轨2上的Y1永磁直线电机动子连接件连接，其中Y2永磁直线电机10的定子安装于大理石基座1上，Y2永磁直线电机10的动子与该侧Y2机械导轨4上的Y2永磁直线电机动子连接件101连接，Y1，Y2向中的读数头13分别固定在Y1永磁直线电机动子连接件与Y2永磁直线电机动子连接件101上。Y1永磁直线电机3与Y2永磁直线电机10一侧均设置有Y向机械缓冲器8，Y向的导向机构为两套高精密的滚柱导轨，且滚柱导轨分别安装于大理石基座1Y向的两侧。X永磁直线电机6一侧设置有X向机械缓冲器9，其中Z向微调台17包括Z向永磁直线电机24、Z向机构、Z向平衡弹簧21与Z向载物台20，Z向载物台20一侧设置有楔形块23，Z向微调台17安装有柔性弹片26，Z向载物台20通过柔性弹片26与Z向机构的底板25连接，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差，Z向机构的底板25上安装有Z向永磁直线电机定子，且Z向永磁直线电机定子设置在Z向永磁直线电机24上，楔形块23上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘(18)、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座(1)，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机(3)、Y2永磁直线电机(10)和X永磁直线电机(6)，所述Y1永磁直线电机(3)与Y2永磁直线电机(10)一侧均设置有Y向机械缓冲器(8)，所述X永磁直线电机(6)一侧设置有X向机械缓冲器(9)，其特征在于，其中Z向微调台(17)包括Z向永磁直线电机(24)、Z向机构、Z向平衡弹簧(21)与Z向载物台(20)，所述Z向载物台(20)一侧设置有楔形块(23)，所述Z向微调台(17)安装有柔性弹片(26)，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。

【技术特征摘要】
1.一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘(18)、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座(1)，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机(3)、Y2永磁直线电机(10)和X永磁直线电机(6)，所述Y1永磁直线电机(3)与Y2永磁直线电机(10)一侧均设置有Y向机械缓冲器(8)，所述X永磁直线电机(6)一侧设置有X向机械缓冲器(9)，其特征在于，其中Z向微调台(17)包括Z向永磁直线电机(24)、Z向机构、Z向平衡弹簧(21)与Z向载物台(20)，所述Z向载物台(20)一侧设置有楔形块(23)，所述Z向微调台(17)安装有柔性弹片(26)，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。2.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向机构安装有两组机械导轨单元，所述机械导轨单元包括Z1向机械导轨与Z2向机械导轨，其中Z1向机械导轨用于楔形块与底板(25)连接，另外一组Z2向机械导轨用于楔形块(23)与Z向载物台(20)连接。3.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向载物台(20)通过柔性弹片(26)与Z向机构的底板(25)连接。4.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，Z向机构的所述底板(25)上安装有Z向永磁直线电机定子，且Z向永磁直线电机定子设置在Z向永磁直线电机(24)上，楔形块(23)上安装有Z向永磁直线电机动子。5.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向载物台(20)下端面与Z向机构的底板(25)之间安装有Z向平衡弹簧(21)，此Z向平衡弹簧(21)可补偿Z向载物台(20)与所述真空吸盘(18)的重量。6.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向机构内设置有光栅尺(22)，所述Z向机构中的光栅尺(22)安装于Z向机构的楔形块(23)上，所述底板(25)上还设置有读数头(13)。7.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，Y向的导向机构为两套高精密的滚柱导轨，且滚柱导轨分别安装于大理石基座(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏杰，
申请(专利权)人：无锡星微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32