发明公开了一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统，涉及半导体集成电路芯片制造的设备领域，包括送片机械手包括基座，基座顶端设有不少于一个的机械臂组件，机械臂组件端部连接有放置基板，放置基板与机械臂组件连接处设有两个相对设置的第一限位块...

本发明公开了一种晶圆送料装置，属于半导体传输技术领域，该送料装置包括基座，基座在水平方向顺次布设有机械手、转盘以及检测机构，转盘上设有至少两个对准件，对准件能承载晶圆，任一对准件能到达检测机构下方，对准件包括底座，底座上端设有凹槽，凹槽...

本发明公开了一种晶圆分选导片机，涉及晶圆分选技术领域，包括机架，机架配置有上料区、检测区、出料区和机械手，机械手用于将晶圆在上料区、检测区、出料区之间转移；机械手包括夹持件，夹持件配置有吸附组件，吸附组件包括第一基体，第一基体的中部配置...

本发明公开了一种校准装置及具有该校准装置的晶圆传输系统，属于半导体传输技术领域，该校准装置包括承载台，承载台上设有定位机构，定位机构包括底板，底板设有导轨，导轨上滑动连接有能够装载晶圆的定位架，定位架末端设有定位柱，定位架连接有电控推杆...

本发明公开了一种晶圆真空搬运机械手，具体涉及晶圆加工技术领域。本发明提供的一种晶圆真空搬运机械手包括第一基板，第一基板上设置有推移组件，当推移组件在第一电机的推动作用下使晶圆逐渐卡入限位环槽时，第一推板与推移基板之间设置的第一伸缩杆受晶...

本发明公开了一种晶圆预对准装置，属于晶圆检测技术领域，晶圆预对准装置包括基座，基座上方配置有校准组件和视觉检测组件，校准组件能够在视觉检测组件的下方往返移动；校准组件包括校准壳体，校准壳体的下方配置有输气管，输气管与校准壳体气路连通；校...

本发明提供了一种键合晶圆气泡检测装置及分选方法，具体涉及半导体制造技术领域。该键合晶圆气泡检测装置，包括，装载平台，装载平台包括至少两个承载台，由于设置有多个装载台，能够同时进行检测提高了检测效率，并且多个承载台共用同一个探头减少了探头...

本发明公开了一种晶圆传输系统，属于半导体传输及检测设备技术领域，该系统包括：支架，支架连接有驱动机构和抓放装置，抓放装置包括上下同轴设置的安装台和转板，安装台顶部设有驱动转板转动的电机，转板底端面圆形环绕设置有三个抓板，抓板底部环绕设有...

本发明公开了磁预载气浮轴承及具有该轴承的直线平台，属于精密仪器技术领域，磁预载气浮轴承包括气浮基体，气浮基体环绕设有多个预载组件，气浮基体一侧延伸凸出设有环形的气浮结构，气浮基体内设有分流组件，分流组件侧向与气浮结构内侧对应设置，气浮基...

本发明公开了一种可组合多轴结构及具有该结构的直线运动平台，涉及精密仪器技术领域，本可组合多轴结构包括第一气浮轨道和多个平行设置第二气浮轨道，第二气浮轨道配合设有气浮台，气浮台可沿第二气浮轨道长度方向移动，气浮台上布设多个安装孔，第一气浮...

本发明提供了一种晶圆检测用多自由度移动装置，具体涉及晶圆检测设备技术领域

本发明公开了一种大行程气浮式纳米定位平台，属于精密伺服驱动技术领域，该平台包括基台，基台上设有直线电机，直线电机连接有气浮台，气浮台下方设有承重台，基台嵌设有多个减震组件，减震组件间隔设置于承重台下方，减震组件包括底板，底板上端对称设有...

本发明公开了纳米精度光刻气浮运动台，属于精密加工技术领域，本发明的运动台包括气浮台与气浮导轨，气浮台能够沿气浮导轨直线往复移动，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承用于实现气浮台相对于气浮导轨处于悬浮状态；气浮台的上方配置有吸附组件，用于吸...

本发明公开了一种六自由度的气浮式移动设备，属于气浮直线平台技术领域，该设备包括基台，基台上方设有浮台，浮台上方设有微动台，基台设有X轴移动组件，浮台设有Y轴移动组件，X轴移动组件能够驱动浮台移动，Y轴移动组件能够驱动微动台移动，微动台底...

本发明提供一种晶圆检测用多自由度运动平台，涉及圆晶检测设备技术领域。该晶圆检测用多自由度运动平台，包括底架、控制器、X轴驱动装置、Y轴驱动装置以及两组光栅尺、读数头。本发明通过第一直线驱动器可带动承托块上升和下降，以方便放置圆晶，同时，...

本发明提出一种用于大尺寸晶圆的厚度检测平台，该平台通过对上表面的反射波和下表面的反射波进行裁剪并对裁剪后的反射波进行降噪处理，得到待分析波形，通过对反射波进行降噪处理，减小噪声，提升厚度计算的准确性。基于降噪后得到的待分析波形以及激光红...

本发明提供了一种基于视觉的晶圆预对准平台以及对准方法，属于领域晶圆检测领域。该预对准平台以及对准方法基于两组双目相机进行图像采集和处理，为保持晶圆外边缘轮廓，针对性地提出晶圆图像自适应图像去噪方法；本发明并依据晶圆形状特点，定义晶圆边缘...

本发明提供一种用于光栅尺刻写的高精度激光刻写运动平台，涉及光栅尺刻写设备技术领域。该用于光栅尺刻写的高精度激光刻写运动平台，包括基准台、控制器以及多组气浮装置。本发明，通过激光测距传感器检测到基准块之间的距离，当激光刻写头沿着Y轴导向轨...

本发明提供了一种用于大尺寸晶圆的厚度和弯曲度的检测系统和方法，属于晶圆检测领域，包括传输机构，具有传送带，用于传输晶圆；搬运机构，具有机械臂，机械臂末端具有真空吸盘，用于将待检测晶圆从传输机构搬运至检测机构；检测机构，具有承载结构和光学...

本实用新型属于晶圆检测技术领域，尤其是一种自动化晶圆检测设备，现提出如下方案，包括设备基座和导向三角板，所述设备基座的外壁固定连接有工作电机，所述工作电机的输出端安装有限位转盘，所述限位转盘的侧壁抵接有与设备基座外壁旋接的限位三角板，所...