A multi PECVD device for automatic loading and unloading system, including cart frame, Shi Mozhou, Shi Mozhou, cache loading mechanism, for us, a horizontal guide rail, horizontal guide rail and the vertical guide rail, a vertical guide rail is arranged on the horizontal guide rail is arranged on the vertical guide rail, boat, graphite boat loading mechanism and pusher connection plane us push us direction and guiding mechanism of vertical frame at the bottom of the cart and the cache are reserved access port. Material: graphite boat is pushed to the set position, the graphite boat loading mechanism to push to take off below, Shi Mozhou Shi Mozhou will hold up the loading mechanism and separation trolley, graphite boat loading mechanism rises to the height and the reaction chamber, the graphite boat loading mechanism to send Shi Mozhou into the reaction cavity; material: Graphite the boat will be removed from the loading mechanism of Shi Mozhou reaction chamber; Shi Mozhou will push the boat loading mechanism pushed to take the mouth above the graphite boat loading mechanism decreased after taking and discharging port, the graphite boat fell to the cache shelf or trolley.
【技术实现步骤摘要】
用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法
本专利技术涉及硅太阳能电池制造技术,尤其涉及一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法。
技术介绍
在硅太阳能电池的制造工艺过程中,通常需要采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜以减少反射,提高太阳能电池效率。镀膜的方法有很多,等离子体增强化学气相沉积(PECVD,全称为PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)应用较为广泛,该方法是对硅片进行氮化硅真空镀膜,其原理是利用低温等离子体能量源,将样品置于低气压辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或者另外配置发热体)使样品升温到预设温度,然后通入适量的反应气体,气体经过一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。采用等离子体增强化学气相沉积工艺对硅片表面进行镀膜的一个循环工艺过程,依次包括S1、装片,S2、进舟,S3抽空,S4、恒温,S5、淀积,S6、抽空,S7、清洗,S8、充氮,S9、退舟,S10、卸片。在制作过程中,首先要将没有镀膜的原料硅片插入石墨舟中,然后将装载有原料硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备(以下简称PECVD设备,多管PECVD设备以功能主要划分为:净化装卸区、废气排放区、反应炉体区、辅助系统区、控制系统区及配电系统区等,在结构上分别对应净化台、废气室、炉体柜和气源柜)的反应腔体体中,采用合适的PECVD工艺对原料硅片进行镀膜,镀膜结束后,将石墨舟从PECVD设备的反应腔体体中取出,最后将镀膜完成的硅片从石墨舟中取出。传统的PECVD石墨舟上下料都是由人工完成,随着晶片尺寸的增大和工艺改进,单舟装载 ...
【技术保护点】
一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统,包括推车(1)、缓存架(2)、石墨舟(3)、石墨舟装载机构(4)及推舟(5),其特征在于:还包括推舟导向机构(6),所述推舟导向机构(6)包括上水平导轨(61)、下水平导轨(62)及垂直导轨(63),所述垂直导轨(63)上下两端分别滑设于所述上水平导轨(61)和下水平导轨(62)上,所述推舟(5)滑设于所述垂直导轨(63)上,所述石墨舟装载机构(4)与所述推舟(5)连接,所述推舟(5)的推送方向与所述推舟导向机构(6)所在的平面垂直,所述推车(1)和所述缓存架(2)的底部均预留供所述石墨舟装载机构(4)通过的取放口(7)。
【技术特征摘要】
1.一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统,包括推车(1)、缓存架(2)、石墨舟(3)、石墨舟装载机构(4)及推舟(5),其特征在于:还包括推舟导向机构(6),所述推舟导向机构(6)包括上水平导轨(61)、下水平导轨(62)及垂直导轨(63),所述垂直导轨(63)上下两端分别滑设于所述上水平导轨(61)和下水平导轨(62)上,所述推舟(5)滑设于所述垂直导轨(63)上,所述石墨舟装载机构(4)与所述推舟(5)连接,所述推舟(5)的推送方向与所述推舟导向机构(6)所在的平面垂直,所述推车(1)和所述缓存架(2)的底部均预留供所述石墨舟装载机构(4)通过的取放口(7)。2.根据权利要求1所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统,其特征在于:所述推舟(5)包括第一悬臂板(51)、第二悬臂板(52)、第一驱动机构(53)及滑设于所述垂直导轨(63)上的安装座(59),所述第一悬臂板(51)与所述安装座(59)固定连接并于下侧固设沿推送方向布置的第一滑动导轨(511),所述第二悬臂板(52)上侧固设有第一滑块(521),所述第一滑块(521)滑设于所述第一滑动导轨(511)上,所述第一驱动机构(53)包括第一驱动电机(531)、一对第一皮带轮(532)及绕设于一对第一皮带轮(532)上的第一传动皮带(533),一对所述第一皮带轮(532)安装于所述第一悬臂板(51)上并沿所述第一滑动导轨(511)的长度方向布置,所述第一驱动电机(531)与其中一个第一皮带轮(532)连接,所述第二悬臂板(52)与所述第一传动皮带(533)固定连接。3.根据权利要求2所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统,其特征在于:所述第二悬臂板(52)的侧壁上固设有第一L形连接板(522),所述第一L形连接板(522)配设有第一夹板(523),所述第一传动皮带(533)夹设于所述第一L形连接板(522)与第一夹板(523)之间,所述第一L形连接板(522)与第一夹板(523)通过紧固件连接。4.根据权利要求2所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统,其特征在于:所述推舟(5)还包括第三悬臂板(54)及第二驱动机构(55),所述第二悬臂板(52)下侧固设有与所述第一滑动导轨(511)平行的第二滑动导轨(524),所述第三悬臂板(54)上侧固设有第二滑块(541),所述第二滑块(541)滑设于所述第二滑动导轨(524)上,所述第二驱动机构(55)包括第二驱动电机(551)、一对第二皮带轮(552)及绕设于一对第二皮带轮(552)上的第二传动皮带(553),一对所述第二皮带轮(552)安装于所述第二悬臂板(52)上并沿所述第二滑动导轨(524)的长度方向布置,所述第二驱动电机(551)与其中一个第二皮带轮(552)连接,所述第三悬臂板(54)与所述第二传动皮带(553)固定连接,所述石墨舟装载机构(4)与所述第三悬臂板(54)固定连接。5.根据权利要求4所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统,其特征在于:所述第三悬臂板(54)的侧壁上固设有第二L形连接板(542),所述第二L形连接板(542)配设有第二夹板(543),所述第二传动皮带(553)夹设于所述第二L形连接板(542)与第二夹板(543)之间,所述第二L形连接板(542)与第二夹板(543)通过紧固件连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于多管PECVD设备的自动上下料系统,其特征在于:所述上水平导轨(61)和所述下水平导轨(62)之间设有同步机构(8),所述同步机构(8)包括同步电机(81)、一对同步轴(82)、一对上皮带轮(83)、一对下皮带轮(84)、绕设于一对上皮带轮(83)上的上传动皮带(85)以及绕设于一对下皮带轮(84)上的下传动皮带(86),一对所述同步轴(82)分设于所述垂直导轨(63)两侧,同步轴(82)上下两端分别装设于所述上水平导轨(61)和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:张宇,朱辉,瞿鸿海,谢振勇,
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。