The invention discloses a pressure sensor preparation method includes: providing a semiconductor substrate, interconnect structure and bottom contact electrodes formed in the semiconductor substrate; forming a sacrificial layer, the sacrificial layer covering the bottom contact electrode; forming a pressure sensitive layer, the upper metal layer of the pressure sensitive layer covered the sacrificial layer, the interconnect structure and the semiconductor substrate surface residual, the pressure sensitive layer comprises a top wall, a bottom wall and a side wall, the top wall is located on the sacrificial layer, the side wall around the sacrificial layer around the bottom wall in the upper layer of the metal interconnection the structure of the laser annealing; on the upper metal layer of the interconnect structure, so as to solve the pressure between the sensing layer and the upper metal layer resistance of the uneven problem in the existing technology, improve the pressure sensor Performance.
【技术实现步骤摘要】
压力传感器的制备方法
本专利技术涉及微机电系统
,特别是涉及一种压力传感器的制备方法。
技术介绍
微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems,简称MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,是一种采用半导体工艺制造微型机电器件的技术。与传统机电器件相比,MEMS器件在耐高温、小体积、低功耗方面具有十分明显的优势。经过几十年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一,它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。压力传感器是一种将压力信号转换为电信号的微机电系统。根据工作原理的不同其可分为压阻式压力传感器和电容式压力传感器。电容式压力传感器的原理为通过压力改变压力感应层和底部接触电极之间的电容,以此来测量压力。然而,现有技术的压力传感器中,压力感应层的接触不好,导致压力传感器的导电性较差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种压力传感器的制备方法,解决现有技术中压力感应层接触不好的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种压力传感器的制备方法,包括:提供一半导体基板,所述半导体基板中形成有互连结构和底部接触电极;形成牺牲层,所述牺牲层覆盖所述底部接触电极;形成压力感应层,所述压力感应层覆盖所述牺牲层、互连结构的上层金属层及剩余的半导体基板表面,所述压力感应层包括顶壁、底壁和侧壁,所述顶壁位于所述牺牲层上,所述侧壁围绕在所述牺牲层的周围,所述底壁位于所述互连结构的上层金属层上;对所述互连结构的上层金属层进行激光退火。优选的,所述激光退火的激光的波长是290nm ...
【技术保护点】
一种压力传感器的制备方法,其特征在于,包括:提供一半导体基板,所述半导体基板中形成有互连结构和底部接触电极;形成牺牲层,所述牺牲层覆盖所述底部接触电极;形成压力感应层,所述压力感应层覆盖所述牺牲层、互连结构的上层金属层及剩余的半导体基板表面,所述压力感应层包括顶壁、底壁和侧壁,所述顶壁位于所述牺牲层上,所述侧壁围绕在所述牺牲层的周围,所述底壁位于所述互连结构的上层金属层上;对所述互连结构的上层金属层进行激光退火。
【技术特征摘要】
1.一种压力传感器的制备方法,其特征在于,包括:提供一半导体基板,所述半导体基板中形成有互连结构和底部接触电极;形成牺牲层,所述牺牲层覆盖所述底部接触电极;形成压力感应层,所述压力感应层覆盖所述牺牲层、互连结构的上层金属层及剩余的半导体基板表面,所述压力感应层包括顶壁、底壁和侧壁,所述顶壁位于所述牺牲层上,所述侧壁围绕在所述牺牲层的周围,所述底壁位于所述互连结构的上层金属层上;对所述互连结构的上层金属层进行激光退火。2.如权利要求1所述的压力传感器的制备方法,其特征在于,所述激光退火的激光的波长是290nm-320nm,脉冲持续时间是100ns-200ns,其能量范围是0.3J/Cm2-0.8J/Cm2。3...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘孟彬,毛剑宏,
申请(专利权)人:上海丽恒光微电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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