The invention provides a method to achieve continuous production of crystal growth furnace, including the horizontal moving mechanism, a furnace body, a vertical lifting mechanism, the crucible assembly, a crucible assembly through a horizontal moving mechanism and a vertical lifting mechanism in order to move into the furnace body, to achieve continuous production line. The invention adopts the continuous production of VGF single crystal growth method, enhances the synthesis efficiency, reduce the process, but also other III V compound single crystal growth.
【技术实现步骤摘要】
可实现连续生产的晶体生长炉
本专利技术涉及半导体材料制备
,具体涉及一种可实现连续生产的晶体生长炉。
技术介绍
InP是较早被研制出来的Ⅲ-Ⅴ族化合物,随着光纤通信、高速电子器件、高效太阳能电池以及激光二极管的迅猛发展。InP晶体系列的一系列优越特性得以发挥,越来越引起人们的重视和关住。目前InP的生长方法应用较多的是VGF法。垂直梯度凝固(VGF)方法是生长低位错、高质量化合物单晶的主要工艺技术之一。VGF方法生长化合物单晶,采用多段加热结构的加热器,可精确建立垂直方向的温度梯度,使化合物定向凝固生长。该方法生长化合物单晶时,热场温度梯度小,从而晶体应力小,位错密度低,电学参数均匀。但还存在一些问题,如:晶体合成时间长,要靠人工方式将坩埚放入或移出晶体炉,增加了人工成本,降低了晶体的生产的效率。
技术实现思路
本专利技术提供了一种可实现连续生长InP的晶体生长炉,采用VGF生长法连续生产单晶,提高了合成效率,减少了工艺环节,也可进行其他Ⅲ-Ⅴ族化合物单晶的生长。本专利技术所述的一种可实现连续生长的晶体生长炉,包括水平移动机构、炉体、垂直提升机构、坩埚组件,多个坩埚组件经过水平移动机构和垂直提升机构依次移动到炉体内,实现在线连续生产。优选地,多个坩埚组件,等间隔安放在水平移动机构上,通过垂直提升机构将其中一个坩埚组件提升到炉体内生长,生长结束后自动下降到水平移动机构上,同时下一个坩埚组件前行到垂直提升机构下方,通过坩埚组件连续不断的自动进行晶体生产。优选地,所述水平移动机构由水平移动机构支架和水平输送带组成,水平移动机构支架固定于地面上,水平输送带安装在 ...
【技术保护点】
一种可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,包括水平移动机构、炉体、垂直提升机构、坩埚组件,多个坩埚组件经过水平移动机构和垂直提升机构依次移动到炉体内,实现在线连续生产。
【技术特征摘要】
1.一种可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,包括水平移动机构、炉体、垂直提升机构、坩埚组件,多个坩埚组件经过水平移动机构和垂直提升机构依次移动到炉体内,实现在线连续生产。2.根据权利要求1所述的可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,多个坩埚组件,等间隔安放在水平移动机构上,通过垂直提升机构将其中一个坩埚组件提升到炉体内生长,生长结束后自动下降到水平移动机构上,同时下一个坩埚组件前行到垂直提升机构下方,通过坩埚组件连续不断的自动进行晶体生产。3.根据权利要求1或2所述的可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,所述水平移动机构由水平移动机构支架和水平输送带组成,水平移动机构支架固定于地面上,水平输送带安装在水平移动机构支架1顶部,控制坩埚组件在水平方向上的位置。4.根据权利要求1或2所述的可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,所述炉体的锁紧法兰将所述坩埚组件中的密封法兰衬板锁紧,密封法兰衬板为多边凸起形状,而锁紧法兰形成与之契合的形状,形成炉体密封空间。5.根据权利要求3所述的可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,所述水平输送带往一个固定的方向运动,可扩展延长长度,形成流水线。6.根据权利要求4所述的可实现连续生长的晶体生长炉,其特征在于,生产单晶时,通过炉体底部锁紧法兰可以将坩埚组件固定于炉体内,形成密封环境;晶体生长结束后,松开炉体锁紧法兰,通过垂直升降机构将坩埚组件降下到水平移动机构上运走,开...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨翠柏,方聪,杨光辉,陈丙振,
申请(专利权)人:珠海鼎泰芯源晶体有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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