一种玻璃基板自动研磨装置制造方法及图纸

一种玻璃基板自动研磨装置，属于玻璃基板研磨技术设备领域，结构中包括带有X向直线驱动机构的机架底座、设置在X向直线驱动机构上的移载平台以及配套的研磨机构，所述研磨装置中还包括设置在X向直线驱动机构和移载平台之间的位置微调机构、设置在机架底座上并与位置微调机构配合的检测对位机构以及设置在机架底座上方并与移载平台配合的换向调整机构。通过在研磨装置中增设换向调整机构和位置微调机构，可实现对玻璃基板的高精度磨削要求，其具有结构简单、性能可靠的特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于玻璃基板研磨技术设备领域，具体涉及一种玻璃基板自动研磨装置。
技术介绍
随着玻璃基板产业的发展，其生产设备的自动化和环保要求越来越高，其中玻璃基板的边研磨是本产业要求自动化和环保的重要部分。它要求在物流线上实现上料、对位、研磨移载、研磨翻转、下料等动作的自动化，同时，对研磨产生的尘埃磨屑和清洗冷却用水进行封闭式清除，以保证环境的洁净度。目前，欧洲、日本和韩国等先进国家这方面的技术比较成熟，但整机结构复杂、价格昂贵。国内一些生产线的自动化程度较低，难以与国外相比，且清洁度也不能满足要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种玻璃基板自动研磨装置，通过在研磨装置中增设换向调整机构和位置微调机构，可实现对玻璃基板的高精度磨削要求，其具有结构简单、性能可靠的特点。本技术采用的技术方案是：一种玻璃基板自动研磨装置，结构中包括带有X向直线驱动机构的机架底座、设置在X向直线驱动机构上的移载平台以及配套的研磨机构，所述研磨装置中还包括设置在X向直线驱动机构和移载平台之间的位置微调机构、设置在机架底座上并与位置微调机构配合的检测对位机构以及设置在机架底座上方并与移载平台配合的换向调整机构。进一步：位置微调机构包括设置在X向直线驱动机构上的微调底板、以微调底板中心为旋转中心的呈环形阵列分布的一组微调机构，微调机构包括微调电机、受微调电机驱动的滚珠丝杠、与丝母安装座固连的滑座总成以及设置于滑座总成上的交叉滚柱轴环，移载平台固定于交叉滚柱轴环的外圈上，移载平台借助微调电机对滑座总成的驱动具有水平面内的X轴向、Y轴向及旋转自由度。滑座总成包括滑动底座、中间滑座及滑动上座，滑动底座与中间滑座之间装有一组第一交叉滚柱导轨，中间滑座与滑动上座之间装有一组第二交叉滚柱导轨，第一交叉滚柱导轨与第二交叉滚柱导轨呈垂直设置，中间滑座与丝母安装座固连，滑动上座上设置有交叉滚柱轴环，所述交叉滚柱轴环结构中的内圈借助交叉滚柱轴环压盖定位于滑动上座上，移载平台借助交叉滚柱轴环下座与外圈固定。移载平台包括设置在交叉滚柱轴环的外圈上的移载底板、设置在移载底板上结构相同的X向夹持机构和Y向夹持机构以及借助支撑板设置在移载底板上方的吸附平台，所述X向夹持机构包括设置在移载底板上的X向导向滑轨、设置在X向导向滑轨上的X向夹持定位杆以及配套的X向驱动机构。吸附平台包括借助支撑板设置在移载底板上方的吸附板以及设置在吸附板上的真空吸附盘组，所述吸附板上设有与X向夹持定位杆和Y向夹持定位杆配合的导向槽。换向调整机构包括设置在机架底座上并由支撑柱和横梁组成的换向机架以及配套的换向机构，所述换向机构包括借助Y向位移机构和升降机构设置在横梁上的承载板、借助旋转驱动机构和旋转轴设置在承载板下方的旋转框架以及配套设置在旋转框架上的真空吸盘，所述Y向位移机构包括设置在横梁上的安装板、对称设置在安装板上的Y向滑轨以及借助Y向直线驱动机构在Y向滑轨上具有位移自由度的移动框架，所述移动框架由上、下支撑板以及设置在上、下支撑板之间的支撑杆构成，上支撑板设置在Y向滑轨上，在安装板上设置有与支撑杆配合的长条状通孔，所述升降机构包括设置在下支撑板上的竖直导向杆和升降气缸，所述承载板与升降气缸的活塞杆和竖直导向杆的下端连接、具有升降自由度。检测对位机构包括设置在机架底座上的支架、对称设置在支架上的X向直线驱动机械手、设置在X向直线驱动机械手上的Y向精密滑台、设置在Y向精密滑台上的Z向精密滑台以及设置在Z向精密滑台上的检测相机。研磨机构设置在研磨机架上、并分为结构相同的粗研磨机构和精研磨机构，所述粗研磨机构包括设置在研磨机架上的Y轴向粗研磨导轨、设置在Y轴向粗研磨导轨上的Z轴向粗研磨导轨、设置在Z轴向粗研磨导轨上的粗研磨安装板以及设置在粗研磨安装板上的粗研磨机，粗研磨机借助Y轴向粗研磨驱动机构和Z轴向粗研磨驱动机构在研磨机架上具有Y轴向、Z轴向位移自由度。采用本技术产生的有益效果：1）本技术具有结构简单、自动化程度高、操作维护方便的特点；2）本技术的换向调整机构保证能同时实现对玻璃基板四个边的粗磨与抛光功能，一机多用，减少了投资成本；3）本技术的检测对位机与位置微调机构在进行调整时的有力配合，保证了玻璃基板四个边的垂直度和平行度要求，进而保证了玻璃基板的高精度磨削要求；4）机架底座上设置的高精度的X向直线驱动机构，保证了玻璃基板四个边的磨削直线度要求。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1中B的放大示意图；图3是位置微调机构的结构示意图；图4是图3中C的放大示意图；图5是移载平台的结构示意图；图6是吸附板的结构示意图；图7是换向调整机构的结构示意图；图8是图7中D的放大示意图；图9是图7的正视示意图；图10是图9中E的放大示意图；图11是检测对位机构的结构示意图；图12是图11中F的放大示意图；图13是图1中A的放大示意图；图14是粗研磨机构的结构示意图；附图中：1是机架底座，1-1是X向直线驱动机构，2是位置微调机构，2-1是微调底板，2-2是微调机构，2-2-1是微调电机，2-2-2是滚珠丝杠，2-2-3是丝母安装座，2-2-4是交叉滚柱轴环，2-2-5是滑动底座，2-2-6是中间滑座，2-2-7是滑动上座，2-2-8是第一交叉滚柱导轨，2-2-9是第二交叉滚柱导轨，2-2-10是交叉滚柱轴环压盖，2-2-11是交叉滚柱轴环下座，3是移载平台，3-1是移载底板，3-2是X向夹持机构，3-2-1是X向导向滑轨，3-2-2是X向夹持定位杆，3-2-3是X向驱动机构，3-3是Y向夹持机构，3-3-1是Y向导向滑轨，3-3-2是Y向夹持定位杆，3-3-3是Y向驱动机构，3-4是支撑板，3-5是吸附平台，3-5-1是吸附板，3-5-2是真空吸附盘，3-5-3是导向槽，4是换向调整机构，4-1是换向机架，4-1-1是支撑柱，4-1-2是横梁，4-2是承载板，4-3是旋转驱动机构，4-4是旋转轴，4-5是旋转框架，4-6是真空吸盘，4-7是安装板，4-8是Y向滑轨，4-9是Y向直线驱动机构，4-10是移动框架，4-10-1是上支撑板，4-10-2是下支撑板，4-10-3是支撑杆，4-11是竖直导向杆，4-12是升降气缸，5是检测对位机构，5-1是支架，5-2是X向直线驱动机械手，5-3是Y向精密滑台，5-4是Z向精密滑台，5-5是检测相机，6是研磨机构，6-1是研磨机架，6-2是粗研磨机构，6-2-1是Y轴向粗研磨导轨，6-2-2是Z轴向粗研磨导轨，6-2-3是粗研磨安装板，6-2-4是粗研磨机，6-2-5是Y轴向粗研磨驱动机构，6-2-6是Z轴向粗研磨驱动机构，6-3是精研磨机构，6-3-1是Y轴向精研磨导轨，6-3-2是Z轴向精研磨导轨，6-3-3是精研磨安装板，6-3-4是精研磨机，6-3-5是Y轴向精研磨驱动机构，6-3-6是Z轴向精研磨驱动机构。具体实施方式参看附图1-14为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板自动研磨装置，结构中包括带有X向直线驱动机构（1‑1）的机架底座（1）、设置在X向直线驱动机构（1‑1）上的移载平台（3）以及配套的研磨机构（6），其特征在于：所述研磨装置中还包括设置在X向直线驱动机构（1‑1）和移载平台（3）之间的位置微调机构（2）、设置在机架底座（1）上并与位置微调机构（2）配合的检测对位机构（5）以及设置在机架底座（1）上方并与移载平台（3）配合的换向调整机构（4）。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板自动研磨装置，结构中包括带有X向直线驱动机构（1-1）的机架底座（1）、设置在X向直线驱动机构（1-1）上的移载平台（3）以及配套的研磨机构（6），其特征在于：所述研磨装置中还包括设置在X向直线驱动机构（1-1）和移载平台（3）之间的位置微调机构（2）、设置在机架底座（1）上并与位置微调机构（2）配合的检测对位机构（5）以及设置在机架底座（1）上方并与移载平台（3）配合的换向调整机构（4）。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板自动研磨装置，其特征在于：所述位置微调机构（2）包括设置在X向直线驱动机构（1-1）上的微调底板（2-1）、以微调底板（2-1）中心为旋转中心的呈环形阵列分布的一组微调机构（2-2），微调机构（2-2）包括微调电机（2-2-1）、受微调电机（2-2-1）驱动的滚珠丝杠（2-2-2）、与丝母安装座（2-2-3）固连的滑座总成以及设置于滑座总成上的交叉滚柱轴环（2-2-4），移载平台（3）固定于交叉滚柱轴环（2-2-4）的外圈上，移载平台（3）借助微调电机（2-2-1）对滑座总成的驱动具有水平面内的X轴向、Y轴向及旋转自由度。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板自动研磨装置，其特征在于：所述滑座总成包括滑动底座（2-2-5）、中间滑座（2-2-6）及滑动上座（2-2-7），滑动底座（2-2-5）与中间滑座（2-2-6）之间装有一组第一交叉滚柱导轨（2-2-8），中间滑座（2-2-6）与滑动上座（2-2-7）之间装有一组第二交叉滚柱导轨（2-2-9），第一交叉滚柱导轨（2-2-8）与第二交叉滚柱导轨（2-2-9）呈垂直设置，中间滑座（2-2-6）与丝母安装座（2-2-3）固连，滑动上座（2-2-7）上设置有交叉滚柱轴环（2-2-4），所述交叉滚柱轴环（2-2-4）结构中的内圈借助交叉滚柱轴环压盖（2-2-10）定位于滑动上座（2-2-7）上，移载平台（3）借助交叉滚柱轴环下座（2-2-11）与外圈固定。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板自动研磨装置，其特征在于：所述移载平台（3）包括设置在交叉滚柱轴环（2-2-4）的外圈上的移载底板（3-1）、设置在移载底板（3-1）上结构相同的X向夹持机构（3-2）和Y向夹持机构（3-3）以及借助支撑板（3-4）设置在移载底板（3-1）上方的吸附平台（3-5），所述X向夹持机构（3-2）包括设置在移载底板（3-1）上的X向导向滑轨（3-2-1）、设置在X向导向滑轨（3-2-1）上的X向夹持定位杆（3-2-2）以及配套的X向驱动机构（3-2-3）。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板自动研磨装置，其特征在于：所述吸附平台（3-5）包括借助支撑板（3-4）设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖民安，王立鹏，胡恒广，付元涛，张旭，
申请(专利权)人：东旭科技集团有限公司，东旭集团有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11