【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体提篮治具领域,特别涉及一种提篮反向装置。
技术介绍
半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。提篮是放wafer的篮子,用于半导体制程的划片、粘片工序中硅片、框架的周转、存储。划片或粘片时铁环会被切割,为防止二次切割会将铁环旋转180°,然后需要将铁环再次转回原角度,需要操作人员手动转向;其不足之处在于:费时费力,作业繁琐,操作人员需要将铁环一片一片地放置转向,容易刮伤产品。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种提篮反向装置,使其能方便地将铁环旋转180°,避免刮伤产品。本技术的目的是这样实现的:一种提篮反向装置,包括矩形底板,底板上设有用于定位提篮的定位块,所述定位块共设置有四个,所述底板的每侧设置有两个定位块,底板两侧的定位块互相对称分布,所述底板的下侧设有导杆座,导杆座上滑动连接有若干互相平行的导杆,所述导杆延伸出底板的一端经过渡板连接有竖直推板,所述底板上对应推板设有矩形缺口,所述导杆的另一端固定连接有推进把手,所述底板上还设有与提篮相贴合的竖直定位板。本技术使用时,先将装有wafer的提篮放置在靠近定位板的两定位块之间,再将空提篮放置在远离定位板的两定位块之间,空提篮紧贴装有wafer的提篮,空提篮和装有wafer的提篮反向放置,推动推进把手,推板将wafer推至空提篮中,然后再将装有wafer的提篮提起,然后将推进把手拉回至原位,再将空 ...
【技术保护点】
一种提篮反向装置,其特征在于:包括矩形底板,底板上设有用于定位提篮的定位块,所述定位块共设置有四个,所述底板的每侧设置有两个定位块,底板两侧的定位块互相对称分布,所述底板的下侧设有导杆座,导杆座上滑动连接有若干互相平行的导杆,所述导杆延伸出底板的一端经过渡板连接有竖直推板,所述底板上对应推板设有矩形缺口,所述导杆的另一端固定连接有推进把手,所述底板上还设有与提篮相贴合的竖直定位板。
【技术特征摘要】
1.一种提篮反向装置,其特征在于:包括矩形底板,底板上设有用于定位提篮的定位块,所述定位块共设置有四个,所述底板的每侧设置有两个定位块,底板两侧的定位块互相对称分布,所述底板的下侧设有导杆座,导杆座上滑动连接有若干互相平行的导杆,所述导杆延伸出底板的一端经过渡板连接有竖直推板,所述底板上对应推板设有矩形缺口,所述导杆的另一...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈志远,聂伟,姜红涛,高美山,
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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