【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体加工用点墨机台领域，特别涉及一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台。
技术介绍
1、晶圆经过切割后形成若干小的ic，晶圆上的集成电路区域与各ic相对应设置，在生产制造的过程中，晶圆上不可避免地会出现有线路问题的区域，通过点墨机台在晶圆上点墨以进行标记。
2、现有技术中，点墨机台的连接插头是联动ink笔（标记笔）进行作业的装置，ink笔通过联接线与点墨机台的插头座相连接，每批次产品在作业前均需作业人员执行拔出连接插头后再插上连接插头的动作。作业人员拔、插连接插头时整个上半身需跨越机台上方，对机台与机台内产品均产生一定风险；连接插头经常使用，长时间会造成插头磨损；其问题在于：1.连接插头位置太远，人员越过机台上方操作不合理；2.机台侧面部分区域电线裸露在外面，人员从旁边绕行可能会碰到电线；3.经常插、拔连接插头，插头易松动，易脱落；4.人员需要手动拿取标记笔在晶圆上进行点墨标记，不仅增加了人员的工作量，而且标记定位不够准确。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，通过在标记笔连接插座的联接线上加装管控开关，放置于人员操作区域，方便人员使用，避免对机台产生影响；并且可以精准定位在晶圆上点墨标记。
2、本技术的目的是这样实现的：一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，包括机台，所述机台上开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽内放置有晶圆，所述机台上分别设置有笔架和插座，笔架上放置有标记笔，所述标记笔和插座之间设置有联接
3、本技术工作时，控制开关上设置有开关按钮，人员通过开关按钮来控制标记笔的联接通断，原来人员使用标记笔时需越过整个机台上方将联接线插接到插座上，容易误碰到机台侧边电线，有一定的风险；现改装后，开关置于人员操作区域右手边，方便操作，避免对机台与产品产生影响。移动座驱动立式安装梁纵向移动，升降座驱动横向支臂升降，横移座驱动机械夹爪横向移动，各驱动电机均为伺服电机，晶圆在晶圆放置槽内扫描得出有问题的区域，通过机械夹爪将标记笔抓握住并移动到晶圆上方进行点墨标记。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：避免操作过程中有物品掉落进机台，影响到晶圆产品；避免操作过程中人员身体误碰到机台电线、按键或ink笔装置，对机台造成影响；可以精准定位在晶圆上点墨标记。
4、作为本技术的进一步改进，所述机台上对应晶圆放置槽设置有圆形盖板，盖板经铰链与机台上的支座相转动连接。盖板盖住晶圆放置槽，起到保护晶圆的作用。
5、作为本技术的进一步改进，所述移动座通过至少两对滑块一与两导轨一相活动连接，至少两对滑块一沿纵向间隔分布，所述纵向驱动机构包括两个纵向间隔的支撑座一，两个支撑座一上可转动地设置有丝杠一，丝杠一上套设有丝杠螺母一，丝杠螺母一与移动座相传动连接，丝杠一端部经联轴器与固定座上的驱动电机一相传动连接。驱动电机一驱动丝杠一转动，丝杠螺母一带动移动座纵向移动。
6、作为本技术的进一步改进，所述升降座通过至少两对滑块二与两导轨二相活动连接，至少两对滑块二沿导轨二长度方向间隔分布，所述升降驱动机构包括两个竖向间隔的支撑座二，两个支撑座二上可转动地设置有丝杠二，丝杠二上套设有丝杠螺母二，丝杠螺母二与升降座相传动连接，丝杠二端部经联轴器与安装梁上的驱动电机二相传动连接。驱动电机二驱动丝杠二转动，丝杠螺母二带动升降座上下移动。
7、作为本技术的进一步改进，所述横移座通过至少两对滑块三与两导轨三相活动连接，至少两对滑块三沿横向间隔分布，所述横移驱动机构包括两个横向间隔的支撑座三，两个支撑座三上可转动地设置有丝杠三，丝杠三上套设有丝杠螺母三，丝杠螺母三与横移座相传动连接，丝杠三端部经联轴器与支臂上的驱动电机三相传动连接。驱动电机三驱动丝杠三转动，丝杠螺母三带动横移座横向移动。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，包括机台，所述机台上开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽内放置有晶圆，所述机台上分别设置有笔架和插座，笔架上放置有标记笔，所述标记笔和插座之间设置有联接线，联接线的前后两端分别与标记笔和插座相连接，其特征在于，所述联接线上设置有控制开关，所述机台上对应晶圆放置槽设置有纵向固定座，固定座上设有两条平行的纵向导轨一，两导轨一上滑动连接有移动座，所述固定座上对应移动座设置有纵向驱动机构，所述移动座上设置有立式安装梁，安装梁上设置有两条平行的竖直导轨二，两导轨二上滑动连接有升降座，所述安装梁上对应升降座设置有升降驱动机构，所述升降座上设置有横向支臂，支臂上设置有两条平行的横向导轨三，两导轨三上滑动连接有横移座，所述支臂上对应横移座设置有横移驱动机构，横移座上设置有可抓住标记笔的机械夹爪。
2.根据权利要求1所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述机台上对应晶圆放置槽设置有圆形盖板，盖板经铰链与机台上的支座相转动连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述移
4.根据权利要求1或2所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述升降座通过至少两对滑块二与两导轨二相活动连接，至少两对滑块二沿导轨二长度方向间隔分布，所述升降驱动机构包括两个竖向间隔的支撑座二，两个支撑座二上可转动地设置有丝杠二，丝杠二上套设有丝杠螺母二，丝杠螺母二与升降座相传动连接，丝杠二端部经联轴器与安装梁上的驱动电机二相传动连接。
5.根据权利要求1或2所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述横移座通过至少两对滑块三与两导轨三相活动连接，至少两对滑块三沿横向间隔分布，所述横移驱动机构包括两个横向间隔的支撑座三，两个支撑座三上可转动地设置有丝杠三，丝杠三上套设有丝杠螺母三，丝杠螺母三与横移座相传动连接，丝杠三端部经联轴器与支臂上的驱动电机三相传动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，包括机台，所述机台上开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽内放置有晶圆，所述机台上分别设置有笔架和插座，笔架上放置有标记笔，所述标记笔和插座之间设置有联接线，联接线的前后两端分别与标记笔和插座相连接，其特征在于，所述联接线上设置有控制开关，所述机台上对应晶圆放置槽设置有纵向固定座，固定座上设有两条平行的纵向导轨一，两导轨一上滑动连接有移动座，所述固定座上对应移动座设置有纵向驱动机构，所述移动座上设置有立式安装梁，安装梁上设置有两条平行的竖直导轨二，两导轨二上滑动连接有升降座，所述安装梁上对应升降座设置有升降驱动机构，所述升降座上设置有横向支臂，支臂上设置有两条平行的横向导轨三，两导轨三上滑动连接有横移座，所述支臂上对应横移座设置有横移驱动机构，横移座上设置有可抓住标记笔的机械夹爪。
2.根据权利要求1所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述机台上对应晶圆放置槽设置有圆形盖板，盖板经铰链与机台上的支座相转动连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种具备连接插头快速控制开关的点墨机台，其特征在于，所述移...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨梅红，崔福娣，张鹏，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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