一种IC拾取承接装置制造方法及图纸

技术编号:40800882 阅读:2 留言:0更新日期:2024-03-28 19:26
本技术公开了捡晶机械手领域内的一种IC拾取承接装置,包括拾取IC的机械手,所述机械手包括升降座,升降座侧面设有横向手臂,手臂端部可转动地设置有纵向旋转轴,旋转轴端部设有真空吸嘴,升降座底部设有承接盒,所述承接盒包括L形底板,底板前侧竖直设置有前挡板,底板的左右两侧分别竖直设有左挡板和右挡板,底板的后侧竖直设有后挡板,前挡板与左挡板之间留有缺口,升降座对应卡入嵌入槽设置,底板与升降座底部贴合且通过若干紧固件与升降座相固定,升降座后侧面位于板体一后方,所述手臂连接在升降座左侧。本技术可以避免拾取IC的机械手在作业过程中产生的异物颗粒落在晶圆上,保护IC产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于捡晶机械手领域,特别涉及一种ic拾取承接装置。


技术介绍

1、cof常称卷带式覆晶薄膜,cof是chip on film的简称,cof是将集成电路(ic)固定在柔性线路板上的晶粒软膜构装技术,运用软质附加电路板作为封装芯片载体将芯片与软性基板电路结合,或者单指未封装芯片的软质附加电路板。

2、现有技术中,内引脚接合机可以将ic芯片与料带电联接固定,内引脚接合机的捡晶机械手将晶圆上的多个ic晶粒拾取到接合机构上进行ic与料带的接合作业,捡晶机械手可以在机台上进行前后、左右和升降运动,捡晶机械手还可以旋转,但是其不足之处在于:机台作业期间,拾取ic的捡晶机械手机构来回运动摩擦,捡晶机械手上连接有多根电线、信号线,线路摩擦产生的异物颗粒直接掉落在作业的晶圆上,造成ic产品报废。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种ic拾取承接装置,可以避免拾取ic的机械手在作业过程中产生的异物颗粒落在晶圆上,保护ic产品品质。

2、本技术的目的是这样实现的:一种ic拾取承接装置,包括拾取ic的机械手,所述机械手包括升降座,升降座侧面设有横向手臂,手臂端部可转动地设置有纵向旋转轴,旋转轴端部设有真空吸嘴,所述升降座底部设有承接盒,所述承接盒包括l形底板,底板前侧竖直设置有前挡板,底板的左右两侧分别竖直设有左挡板和右挡板,底板的后侧竖直设有后挡板,所述后挡板包括板体一、板体二和板体三,板体二与右挡板左右相对设置,板体一、板体三均与前挡板前后对应设置,板体一与左挡板垂直且相邻设置,板体三与右挡板垂直且相邻设置,所述前挡板与左挡板之间留有缺口,旋转轴穿过缺口向前延伸,所述板体一上开设有嵌入槽,所述升降座对应卡入嵌入槽设置,底板与升降座底部贴合且通过若干紧固件与升降座相固定,升降座后侧面位于板体一后方,所述手臂连接在升降座左侧。

3、本技术用于内引脚接合机台上,机台上设有驱动支架沿着导轨二前后移动、驱动安装座沿着导轨一左右移动、驱动升降座沿着滑槽升降的驱动机构,真空吸嘴与真空管路相连可以吸附固定ic,升降座可在三维空间自由移动,升降座移动时,相应的电线、信号线埋入承接盒内,使得机械手在作业过程中线路摩擦产生的异物颗粒落在承接盒内,保护ic产品品质;板体一经嵌入槽分隔为两块板,承接盒通过嵌入槽与升降座配对定位,定期拆下承接盒进行清理。与现有技术相比,本技术的有益效果在于:可以较好地承接ic拾取手臂因转动摩擦产生的异物颗粒,避免异物掉落晶圆上;节约成本,实用性高;有效的保证晶圆品质,降低损失,提高产能。

4、作为本技术的进一步改进,所述升降座与前挡板之间设有至少两根纵向加强支撑杆,加强支撑杆包括外套体,外套体的前后两端分别顶靠着前挡板、升降座,外套体内部同轴设有螺杆,螺杆靠近前挡板顶部设置,螺杆向前穿过前挡板,螺杆前端螺纹连接有压紧前挡板的螺母。加强支撑杆加强承接盒的结构强度,防止变形。

5、作为本技术的进一步改进,所述升降座经至少两个滑块与安装座相活动连接,安装座上对应各滑块开设有两条竖直的滑槽,l形底板与安装座相错开设置。

6、为了从上方遮挡承接盒开口,防止废物颗粒跑到承接盒外,提高封闭性,所述升降座顶部通过若干紧固件固定连接有l形盖板,盖板的材质为透明亚克力,所述盖板对应遮挡住承接盒。

7、作为本技术的进一步改进,所述安装座安装在支架上,支架上设有两根横向导轨一,两根导轨一上下间隔分布,安装座后侧设有滑动座,滑动座与两根导轨一相活动连接,支架底部的左右两侧均设置有滑动块,两个滑动块分别活动连接在两根左右对称的纵向导轨二上。

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【技术保护点】

1.一种IC拾取承接装置,包括拾取IC的机械手,所述机械手包括升降座,升降座侧面设有横向手臂,手臂端部可转动地设置有纵向旋转轴,旋转轴端部设有真空吸嘴,其特征在于,所述升降座底部设有承接盒,所述承接盒包括L形底板,底板前侧竖直设置有前挡板,底板的左右两侧分别竖直设有左挡板和右挡板,底板的后侧竖直设有后挡板,所述后挡板包括板体一、板体二和板体三,板体二与右挡板左右相对设置,板体一、板体三均与前挡板前后对应设置,板体一与左挡板垂直且相邻设置,板体三与右挡板垂直且相邻设置,所述前挡板与左挡板之间留有缺口,旋转轴穿过缺口向前延伸,所述板体一上开设有嵌入槽,所述升降座对应卡入嵌入槽设置,底板与升降座底部贴合且通过若干紧固件与升降座相固定,升降座后侧面位于板体一后方,所述手臂连接在升降座左侧。

2.根据权利要求1所述的一种IC拾取承接装置,其特征在于,所述升降座与前挡板之间设有至少两根纵向加强支撑杆,加强支撑杆包括外套体,外套体的前后两端分别顶靠着前挡板、升降座,外套体内部同轴设有螺杆,螺杆靠近前挡板顶部设置,螺杆向前穿过前挡板,螺杆前端螺纹连接有压紧前挡板的螺母。

3.根据权利要求1或2所述的一种IC拾取承接装置,其特征在于,所述升降座经至少两个滑块与安装座相活动连接,安装座上对应各滑块开设有两条竖直的滑槽,L形底板与安装座相错开设置。

4.根据权利要求1或2所述的一种IC拾取承接装置,其特征在于,所述升降座顶部通过若干紧固件固定连接有L形盖板,盖板的材质为透明亚克力,所述盖板对应遮挡住承接盒。

5.根据权利要求3所述的一种IC拾取承接装置,其特征在于,所述安装座安装在支架上,支架上设有两根横向导轨一,两根导轨一上下间隔分布,安装座后侧设有滑动座,滑动座与两根导轨一相活动连接,支架底部的左右两侧均设置有滑动块,两个滑动块分别活动连接在两根左右对称的纵向导轨二上。

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【技术特征摘要】

1.一种ic拾取承接装置,包括拾取ic的机械手,所述机械手包括升降座,升降座侧面设有横向手臂,手臂端部可转动地设置有纵向旋转轴,旋转轴端部设有真空吸嘴,其特征在于,所述升降座底部设有承接盒,所述承接盒包括l形底板,底板前侧竖直设置有前挡板,底板的左右两侧分别竖直设有左挡板和右挡板,底板的后侧竖直设有后挡板,所述后挡板包括板体一、板体二和板体三,板体二与右挡板左右相对设置,板体一、板体三均与前挡板前后对应设置,板体一与左挡板垂直且相邻设置,板体三与右挡板垂直且相邻设置,所述前挡板与左挡板之间留有缺口,旋转轴穿过缺口向前延伸,所述板体一上开设有嵌入槽,所述升降座对应卡入嵌入槽设置,底板与升降座底部贴合且通过若干紧固件与升降座相固定,升降座后侧面位于板体一后方,所述手臂连接在升降座左侧。

2.根据权利要求1所述的一种ic拾取承接装置,其特征在于,所述升降座与前挡板之间设有至少两根纵向加强支撑杆,加...

【专利技术属性】
技术研发人员:涂可嘉刘明群赵原解兰翔
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司
类型:新型
国别省市:

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