一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉技术方案

本实用新型专利技术公开了一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体和一套甲酸注入系统，甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置。储液装置包括石英杯、防护罩、上盖、底座、上盖密封垫、减震垫、高液位检测开关和低液位检测开关。石英杯卡持在上盖和底座之间，防护罩围绕在石英杯的圆周方向上，上盖上设有进液口，上盖上出气通道的入口高于进气通道的出口。嵌套方式固定的石英杯连接紧固、组装方便、注液灵活，通过向真空共晶炉本体的内腔中注入甲酸气体，有效提高了芯片焊接的质量和焊接稳定性，满足了现代芯片焊接的需要。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空共晶炉，特别涉及一种焊接效果好、焊接质量稳定的带有甲酸保护功效的真空共晶炉，属于焊接加工设备领域。
技术介绍
真空共晶炉是芯片焊接加工领域中的一种常见加工设备，其采用真空腔体的方式，将芯片放置在腔体内的加热台上，利用加热台的升温和降温过程，完成芯片焊接。其中，升温过程多采用加热管件进行直接加热，加热台升温迅速，以形成所需的加热曲线，保证焊接质量。降温过程则采用冷却管件进行快速降温，最大限度的使加热台温度迅速降低，方便焊点固化和后期芯片快速装卸，提高生产效率。现有真空共晶炉可满足常规状态下的芯片焊接需要，但随着芯片尺寸缩小、焊点增多，以及受使用环境和使用状态的影响，对芯片焊接质量的要求越来越高，于是，改进焊接工艺，提高焊接质量和焊接稳定性就成为必然。甲酸，俗名蚁酸，是无色、有刺激性气味、易挥发的液体，弱电解质，熔点8.6℃，沸点100.8℃，酸性很强，有腐蚀性，能刺激皮肤起泡，存在于蜂类、某些蚁类和毛虫的分泌物中，是有机化工原料，可用作消毒剂和防腐剂。甲酸气自身在高温下不仅能通过化学反应消耗氧气形成无氧焊接，而且能通过还原反应使被氧化的金属表面还原，形成清洁金属表面的作用。鉴于甲酸的还原作用，设计一种高效、安全的带有甲酸注入系统的真空共晶炉，就成为本技术想要解决的问题。
技术实现思路
本技术旨在提供一种焊接质量好，焊接性能稳定、可靠的带有甲酸注入系统的真空共晶炉，以满足芯片焊接和实际使用的需要。本技术是通过以下技术方案来实现的：一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体，还包括一套甲酸注入系统，甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置；进气通道上按进气方向顺序设有流量计、进气耐腐蚀阀、调压阀、安全阀和进气单向阀，进气通道的出口与储液装置连通；出气通道上按出气方向顺序设有出气单向阀和出气耐腐蚀阀，出气通道的出口与真空共晶炉本体的内腔连通，出气通道的入口与储液装置连通，储液装置内出气通道的入口高于进气通道的出口。所述储液装置包括石英杯、防护罩、上盖、底座、上盖密封垫、减震垫、高液位检测开关和低液位检测开关；石英杯卡持在上盖和底座之间，上盖和底座与石英杯的接触面上分别设有凹坑，上盖的凹坑内设有上盖密封垫，底座的凹坑内设有减震垫，上盖和底座之间通过螺栓紧固连接；上盖上设有进液口，出气通道的入口和进气通道的出口分别穿过上盖和上盖密封垫与石英杯的内腔连通；防护罩围绕在石英杯的圆周方向上，防护罩分别与上盖和底座固定连接；高液位检测开关和低液位检测开关分别与石英杯相对应，并且分别设置在防护罩上。一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，还包括一个安装架，安装架固定在底座上。所述防护罩上还设有观察窗。本技术所述的一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉的有益效果包括：1、利用甲酸注入系统向真空共晶炉本体的内腔中注入甲酸气体，通过气体甲酸的还原性对真空共晶炉内的焊接元器件进行还原处理，并在甲酸气化耗氧过程中形成无氧焊接，有效提高了芯片焊接质量和焊接稳定性；2、石英杯采用嵌套的方式卡持在上盖和底座之间，连接紧固、组装方便、注液灵活；3、防护罩对石英杯的使用过程进行了有效保护，避免了过压状态下石英杯可能破裂带来的伤害；4、减震垫、高液位检测开关、低液位检测开关以及观察窗的结构设置，有效提高了储液装置使用的安全性，防止了可能产生的各类危险情况的发生；5、进气通道上调压阀、安全阀和进气单向阀的结构设置，保证了带压状态下氮气的可控输入，增强了整个系统的使用安全性；6、整体结构设计简单、合理，安装灵活，使用方便。附图说明图1为本技术中甲酸注入系统的结构示意图；图2为本技术中储液装置的剖视结构示意图。具体实施方式下面结合附图1、图2对本技术做进一步的描述：本技术所述的一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体和一套与真空共晶炉本体连通的甲酸注入系统。甲酸注入系统用于向真空共晶炉本体的内腔注入甲酸气体，以提高内腔中芯片的焊接质量。甲酸注入系统包括进气通道1、出气通道9以及连接在进气通道1和出气通道9之间的储液装置。储液装置内用于存放液体甲酸，进气通道1用于向储液装置引人带有压力的氮气，出气通道9则将气体甲酸引入到真空共晶炉本体的内腔中。其中，为确保进气和出气过程的安全性、可靠性和可控性，在进气通道1上按进气方向顺序设有流量计2、进气耐腐蚀阀3、调压阀4、安全阀5和进气单向阀6。在出气通道9上按出气方向顺序设有出气单向阀7和出气耐腐蚀阀8。出气通道9的出口与真空共晶炉本体的内腔连通，出气通道的入口23和进气通道的出口18分别与储液装置连通。为便于甲酸气体流出储液装置，储液装置内出气通道的入口23高于进气通道的出口18。由于甲酸具有易挥发性和腐蚀性，储液装置包括耐腐蚀的石英杯19、防护罩10、上盖15、底座16、上盖密封垫20、减震垫21、高液位检测开关13、低液位检测开关14和安装架17。其中，上盖15和底座16的内表面上分别设有凹坑，石英杯19的顶部和底部分别卡持在两个凹坑中，上盖15和底座16之间通过角部的四个螺栓22紧固连接，避免了石英杯19在前、后、左、右、上、下方向的晃动。为保证密封性，在上盖15的凹坑内还设有上盖密封垫20，在底座16的凹坑内设有减震垫21，对石英杯19减震的同时还可对石英杯顶部开口处进行密封，避免了可能产生的气体泄漏现象。上盖15上除设有可使甲酸倒入的进液口12外，出气通道的入口23和进气通道的出口18还分别穿过上盖15和上盖密封垫20与石英杯19的空腔连通，氮气和气化后的甲酸气体可分别由相应地进气通道1和出气通道9进、出石英杯19。为确保压力状态下石英杯19使用的安全性，在石英杯19的圆周方向上还围绕有防护罩10，防护罩10分别与上盖15和底座16固定连接。防护罩10上设有高液位检测开关13和低液位检测开关14，高液位检测开关13和低液位检测开关14分别与石英杯内液面允许的最高位置和最低位置相对应，以便对液体甲酸的存量进行监控。为方便使用过程，在防护罩10的侧面还设有观察窗11，观察窗11与石英杯19的位置相对应。为方便固定整个储液装置，在底座16上还设有安装架17，安装架17可与外界支撑体相连接，从而消除了石英杯19可能存在的倾斜问题，提高了整个甲酸注入系统使用的安全性。当需要向真空共晶炉本体的内腔中冲入甲酸气体时，先打开出气耐腐蚀阀8，再打开进气耐腐蚀阀3，带有压力的氮气在流量计2、进气耐腐蚀阀3、调压阀4、安全阀5和进气单向阀6的限制和调控下由进气通道1送人到石英杯19中，因为甲酸极易挥发，在大量氮气冲入的过程中甲酸挥发更快，气体甲酸经出气通道9被带入到真空共晶炉本体的内腔中，完成甲酸作用下真空共晶炉的保护焊接，冲入的氮气或者气体甲酸流量可以通过流量计2进行控制。当不需要冲入甲酸气体时，首先关闭进气耐腐蚀阀3，然后关闭出气耐腐蚀阀8，以确保管路中氮气和甲酸混合气体被彻底抽空，一次充气过程完成。当然，使用过程中，通过高液位检测开关13和低液位检测开关14可对石英杯内液体甲酸的注入量进行监控，防止了液体甲酸加入过多溢出，或者高过氮气注入口，造成充氮过程中石英杯19内液体沸腾；而液体甲酸注入过少，则会产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体，其特征在于，还包括一套甲酸注入系统，所述甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置；所述进气通道上按进气方向顺序设有流量计、进气耐腐蚀阀、调压阀、安全阀和进气单向阀，进气通道的出口与储液装置连通；所述出气通道上按出气方向顺序设有出气单向阀和出气耐腐蚀阀，出气通道的出口与真空共晶炉本体的内腔连通，出气通道的入口与储液装置连通，储液装置内出气通道的入口高于进气通道的出口。

【技术特征摘要】
1.一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体，其特征在于，还包括一套甲酸注入系统，所述甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置；所述进气通道上按进气方向顺序设有流量计、进气耐腐蚀阀、调压阀、安全阀和进气单向阀，进气通道的出口与储液装置连通；所述出气通道上按出气方向顺序设有出气单向阀和出气耐腐蚀阀，出气通道的出口与真空共晶炉本体的内腔连通，出气通道的入口与储液装置连通，储液装置内出气通道的入口高于进气通道的出口。2.根据权利要求1所述的一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，其特征在于，所述储液装置包括石英杯、防护罩、上盖、底座、上盖密封垫、减震垫、高液位检测开关和低液位检...

【专利技术属性】
技术研发人员：张延忠，赵永先，
申请(专利权)人：北京中科同志科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11