扫描电镜电子背散射多功能样品台制造技术

本实用新型专利技术公开一种扫描电镜电子背散射多功能样品台，包括：固定式样品台和第一卡槽；所述固定式样品台包括第一底盘、第一台面；所述第一台面设置在第一底盘的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第一卡槽设置在第一底盘的下表面，所述第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置。本实用新型专利技术通过设置与水平面呈70°的第一台面替代现有的样品桩，实现了同时测量多个样品，大量节约高纯氮气；第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽的匹配设置，使得测试稳定性高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测量仪器
更具体地，涉及一种扫描电镜电子背散射多功能样品台。
技术介绍
电子背散射衍射(EBSD，ElectronBackscattered Diffract1n)就是背散射电子在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上发生衍射，从而组成的衍射花样。电子背散射衍射装置是扫描电子显微镜的一个附件，在20世纪90年代以来取得了较大发展。在扫描电镜上配备电子背散射装置可以对试样进行微区织构和取向差分析:晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分布；相鉴定及相比例计算等操作。由于扫描电镜中，电子束的能量较低，产生的EBSD信号较弱。为了得到较强的EBSD信号，样品的倾斜角要保持70°。目前，国内外的扫描电镜配备的样品台是直径为50mm的底托圆盘，SEM的样品采用螺丝紧固的方式置于样品台上，在进行EBSD实验时，需要将样品预先粘在70°预倾斜的样品粧上，再将样品粧固定在底托圆盘上。但是，EBSD实验时间长，为1小时至几小时不定，若样品的尺寸较大，在实验过程中，样品会向下滑移，严重影响实验的进行。此外，由于样品粧的台面较小，每个样品粧上只能粘一个直径为5_的圆形样品，若样品个数较多时，需要不断拿出底托圆盘来更换样品，消耗大量的人力物力。因此，需要一种新的扫描电镜电子背散射多功能样品台，既能方便、稳定的固定样品，又能一次处理多个样品。
技术实现思路
本技术的目的在于是提供一种扫描电镜电子背散射多功能样品台。为达到上述目的，本技术采用下述技术方案:—种扫描电镜电子背散射多功能样品台，包括:固定式样品台和第--^槽；所述固定式样品台包括第一底盘、第一台面；所述第一台面设置在第一底盘的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第一卡槽设置在第一底盘的下表面，所述第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置。第一台面上可同时放置多个小样品。第一卡槽用于将多功能样品台固定在扫描电镜上。进一步地，所述多功能样品台还包括:可调节式样品台、滑动轨道和支架；所述可调节式样品台包括第二底盘和第二台面；所述第二台面设置在第二底盘的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第二底盘的下表面设有第二卡槽；所述滑动轨道包括第三底盘和设置在第三底盘上表面的凸起轨道；所述第二卡槽与凸起轨道为间隙配合设置；所述第三底盘与第一底盘固定连接；所述支架设置在第一底盘的上表面与第一台面相对的一侧，与水平面呈70°夹角；第二台面与支架平行，与第一台面不平行。进一步地，所述支架为包括支架臂和支撑部；所述支撑部与第一底盘连接；所述支架臂与水平面呈70°夹角。进一步地，所述第二底盘上设有固定用螺栓孔。进一步地，所述第三底盘上设有销孔，所述第一底盘上设有连接销，第三底盘和第一底盘经销孔和连接销固定连接。进一步地，第二卡槽和凸起轨道的截面均为倒梯形形状。可调节式样品台与滑动轨道之间为间隙配合，使得可调节式样品台可以在滑动轨道上滑动。可调节式样品台与支架配合使用。检测大样品时，将大样品通过导电胶固定在第二台面上，通过调节可调节式样品台在滑动轨道上的位置，使得支架对大样品起到支撑作用。待调节位置合适后，通过经固定用螺栓孔拧紧固定用螺栓来固定可调节式样品台的位置。支架和第二台面的配合设计能够避免大样品在测试过程中滑移，以避免数据失真。本技术的有益效果如下:1、本技术通过设置与水平面呈70°的第一台面替代现有的样品粧，实现了同时测量多个样品，大量节约高纯氮气；第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽的匹配设置，使得测试稳定性高。2、本技术通过设置可调节式样品台、滑动轨道和支架，使得在测试大样品时，大样品不易滑移，稳定性好，确保了测试精度，极大的提高工作效率，降低测试成本。3、本技术的多功能样品台只需将样品台进行旋转，即能够实现大样品和多个小样品的同时测量，方便科研工作者进行不同样品区域的比对，大大提高工作效率。【附图说明】下面结合附图对本技术的【具体实施方式】作进一步详细的说明。图1示出可调节式样品台的示意图。图2示出可调节式样品台的剖视图。图3示出滑动轨道的示意图。图4示出滑动轨道的剖视图。图5示出固定式样品台、支架的示意图。图6示出固定式样品台、支架的侧视图。图7示出本技术的扫描电镜电子背散射多功能样品台的示意图。图8示出本技术的扫描电镜电子背散射多功能样品台的侧视图。【具体实施方式】为了更清楚地说明本技术，下面结合优选实施例和附图对本技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本技术的保护范围。实施例如图1-8所示，本技术提供一种扫描电镜电子背散射多功能样品台，包括:固定式样品台5、第一卡槽10、可调节式样品台1、滑动轨道4和支架6 ;所述固定式样品台5包括第一底盘7、第一台面51 ;所述第一台面51设置在第一底盘7的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第一卡槽10设置在第一底盘7的下表面，所述第一卡槽10与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置；所述可调节式样品台1包括第二底盘11和第二台面12 ;所述第二台面12设置在第二底盘11的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第二底盘11的下表面设有第二卡槽13;所述滑动轨道4包括第三底盘41和设置在第三底盘41上表面的凸起轨道42 ;所述第二卡槽13与凸起轨道42为间隙配合设置；所述第三底盘41与第一底盘7固定连接；所述支架6设置在第一底盘7的上表面与第一台面51相对的一侧，与水平面呈70°夹角；第二台面12与支架6平行，与第一台面51不平行。所述支架6为包括支架臂61和支撑部62 ;所述支撑部62与第一底盘7连接；所述支架臂61与水平面呈70°夹角。所述第三底盘41上设有销孔3，所述第一底盘7上设有连接销8，第三底盘41和第一底盘7经销孔3和连接销8固定连接。第二卡槽13和凸起轨道42的截面均为倒梯形形状。可调节式样品台1与支架6配合使用。支架6和第二台面12的配合设计能够避免大样品在测试过程中滑移，以避免数据失真。在测量多个小样品时，将多个小样品根据分析位置的需要排列好，将样品通过导电胶固定在固定式样品台5的第一台面51上并压实，以确保样品表面与扫面电镜底座呈70。。在测量大样品时，将大样品通过导电胶固定在第二台面12上，通过调节可调节式样品台1在滑动轨道4上的位置，使得支架6对大样品起到支撑作用。待调节位置合适后，通过经固定用螺栓孔2拧紧固定用螺栓9来固定可调节式样品台1的位置。本技术的多功能样品台只需将样品台进行旋转，即能够实现大样品和多个小样品的同时测量，方便科研工作者进行不同样品区域的比对，大大提高工作效率；通过在扫描电镜样品底座上根据样品大小进行前后滑移和旋转，尤其适用于钢厂常规分析所用的大、小样品，且操作方便，节省时间，并能够保证测试精度要求。显然，本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本技术的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电镜电子背散射多功能样品台，其特征在于，包括：固定式样品台(5)和第一卡槽(10)；所述固定式样品台(5)包括第一底盘(7)、第一台面(51)；所述第一台面(51)设置在第一底盘(7)的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第一卡槽(10)设置在第一底盘(7)的下表面，所述第一卡槽(10)与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：桂晓露，程骋，高古辉，白秉哲，
申请(专利权)人：北京交通大学，
类型：新型
国别省市：北京;11