本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用硼扩散炉管，属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。本实用新型专利技术包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。使用本实用新型专利技术的炉管进行硼工艺时，三溴化硼气体进气管进入，经排风从尾端的尾气管排出，炉管内部不涉及石英材质的器件，因此硼扩散反应产生的硼硅玻璃不会导致粘连问题，可以大大延长炉管的使用寿命，也间接提高了生产效率，降低了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种扩散炉用硼扩散炉管，属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。本技术包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。使用本技术的炉管进行硼工艺时，三溴化硼气体进气管进入，经排风从尾端的尾气管排出，炉管内部不涉及石英材质的器件，因此硼扩散反应产生的硼硅玻璃不会导致粘连问题，可以大大延长炉管的使用寿命，也间接提高了生产效率，降低了生产成本。【专利说明】一种扩散炉用硼扩散炉管
本技术属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。
技术介绍
硼扩散是N型光伏电池制造的一个重要环节、一道关键工序，硼扩散的目的在于 形成电池的P-N结。目前用于硼扩散的设备为Tempress扩散炉；此扩散炉是用于磷扩散 的，扩散炉内设有炉管，炉管是进行硼扩散的主要场所。炉管的尾端设有进气管、尾气管和 TC套管，三个管呈等边三角形排列。尾气管的一部分深入到炉管内部，延伸至炉管的前端。 TC套管的一部分也是探入到炉管内部的，在TC套管深入炉管内部的部分上设有热电偶，用 来测量炉内温度，TC套管位于外部的尾部小口连接压力传感器，用于测量炉管内部的压力。 尾气管和TC套管深入炉管内部的部分都是石英材质制成的。 硼扩散与磷扩散工艺相比比较特殊，在扩散工艺过程会用到三溴化硼，三溴化硼 会和石英器件起化学反应生成硼硅玻璃，而落在石英器件上的硼硅玻璃会对石英器件造成 腐蚀，引起石英器件的损坏。 利用现有的磷扩散炉进行硼扩散时，工艺气体从炉管尾部的中间口进入，气流到 达炉门口处，经尾气管由排风抽走，炉管里面的尾气管和TC套管直接和炉管下内壁接触， 扩散反应过程中产生的硼硅玻璃会使落在尾气管和TC套管上，引起粘连，导致尾气管和TC 套管的损坏，而损坏的尾气管和TC套管又不能维修和替换，如果在粘连的情况下硬性将尾 气管拔出，还会造成炉管损坏，因此为了保证正常生产，只能更换炉管，这样既严重影响正 常生产，又大大增加了生产成本，很不实用。
技术实现思路
本技术提供了一种扩散炉用硼扩散炉管，该炉管结构简单，设计合理，可有效 避免发生在炉管内部的石英器件的粘连问题、减少炉管维修、延长设备的使用寿命。 为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种扩散炉用硼扩散炉管， 包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于 管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。 所述校温管与尾气管之间的圆心距离为5cm。 所述进气管和尾气管的半径为1. 3cm，校温管的半径为1. 5cm。 采用上述技术方案取得的技术进步为：使用本技术的炉管进行硼工艺时，三 溴化硼气体从炉管前端的进气管进入，平稳的推送至炉管尾部，经排风从尾气管抽走，炉管 内部不涉及石英材质的器件的接触(原有炉管内石英材质的尾气管和TC套管都被去除了）， 因此硼扩散反应产生的硼硅玻璃不会导致粘连问题，可以大大延长炉管的使用寿命，也间 接提高了生产效率，降低了生产成本；同时除去了使用热电偶的温控方式，设置了校温管， 解决了 TC套管和热电偶由于粘连而造成的损坏问题。 【专利附图】【附图说明】 图1为技术的结构示意图； 其中，1、进气管，2、管体，3、尾气管，4、校温管。 【具体实施方式】 由图1所示可知，一种扩散炉用硼扩散炉管，包括管体2、进气管1、尾气管3和校 温管4,所述进气管1位于管体2前端的侧壁上，所述尾气管3位于管体2尾端端面的中心 位置，所述校温管4与尾气管3位于同一端面；所述校温管4与尾气管3之间的圆心距离为 5cm〇 所述进气管1和尾气管3的半径为1. 3cm，校温管4的半径为1. 5cm。 本技术对现有结构的炉管进行了改进，主要的改进之处在于：1)进气管1和 尾气管3不再位于管体2尾端，而是进气管1位于管体2的前端，尾气管3位于管体2的尾 端，2)尾气管3和校温管4位于管体2的外部，管体2内部不再设有任何石英管。 使用本技术后硼扩散在炉管内的工作过程为：工艺气体三溴化硼从管体2前 端的进气管1进入，然后被平缓向管体2的尾端推进，边推进边进行反应，由于管体2内不 再有石英器件的相互接触，因此就不会产生石英器件的相互粘连问题；反应产生的尾气也 被推进到管体2的尾端，尾气在尾气管3处的抽风作用下排出。 在反应过程中，校温管4处始终被堵头封闭着，当需要测量温度时，将TC套管插入 校温管4,测量之后将TC套管拔出，再换上堵头，对管体2进行封闭。由于较温时间为2个 工艺时长，不会产生好多硼硅玻璃，不会造成TC套管和炉管内壁的粘连现象。这种测温方 式与原有的热电偶的方式相比，避免了 TC套管的粘连问题，进而提高了套管和炉管的使用 寿命，降低了生产成本。 现有结构的炉管由于存在尾气管3和TC套管的粘连问题的存在，整个炉管使用寿 命仅为3个月，因为尾气管3内部石英部分的使用寿命为3个月，3个月后尾气管3就会损 坏，由于尾气管3和炉管粘连拔不出来，因此必须更换炉管。而本技术的炉管结构，不 再涉及石英器件粘连问题，这样炉管的使用寿命就不再受尾气管3和TC套管的影响，炉管 本身的使用寿命为12个月，因此可以等到12个月再更换炉管，这样就比现有技术延长了炉 管的使用寿命，从而降低了生产成本，当然也从另一方面提高了工作效率。 本技术中，进气管1、尾气管3和校温管4的孔径都是按照现有磷扩散用炉管 的尺寸设置的，当然，本领域技术人员可以根据实际需要自行设计尺寸。尾气管3和校温管 4的距离和相对位置关系也是可以自行设计的主要能实现其作用即可。【权利要求】1. 一种扩散炉用硼扩散炉管，其特征在于包括管体（2)、进气管（1)、尾气管（3)和校温 管（4)，所述进气管（1)位于管体（2)前端的侧壁上，所述尾气管（3)位于管体（2)尾端端面 的中心位置，所述校温管（4)与尾气管（3)位于同一端面，所述校温管（4)与尾气管（3)之 间的圆心距离为5cm，进气管（1)和尾气管（3)的半径为1. 3cm，校温管（4)的半径为1. 5cm。【文档编号】H01L21/228GK203883027SQ201420075372【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年2月21日 优先权日:2014年2月21日 【专利技术者】戎帅, 赵鹏 申请人:英利能源（中国）有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种扩散炉用硼扩散炉管，其特征在于包括管体（2）、进气管（1）、尾气管（3）和校温管（4），所述进气管（1）位于管体（2）前端的侧壁上，所述尾气管（3）位于管体（2）尾端端面的中心位置，所述校温管（4）与尾气管（3）位于同一端面，所述校温管（4）与尾气管（3）之间的圆心距离为5cm，进气管（1）和尾气管（3）的半径为1.3cm，校温管（4）的半径为1.5cm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戎帅，赵鹏，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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