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本实用新型公开了一种扩散炉用硼扩散炉管，属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。本实用新型包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。使用本实用新...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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