【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种探针清洁装置,其特征在于,包括:腔体;所述腔体的底部设有清针片;所述清针片以外的腔体侧壁设有毛刷;所述清针片以外的腔体侧壁设有一个或多个吸孔,所述吸孔通过管道与吸气阀连接,并连接至集尘装置中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王善屹,
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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