提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的...

提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有...

提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有：手柄(10)，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12)；以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30)，其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该...

本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)...

本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器...

本发明提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。手动阀装置具有内置驱动机构(50)的筒状的壳体(70)、用于使驱动机构(50)进行工作的操作构件(110)、以及将作用于该操作构件(110)的力转换为该驱动机构的驱动力的...

本发明的目的是提供一种提高防止隔膜从连接构件脱落的效果的隔膜阀。隔膜阀包括具有流路的主体、阀杆、隔膜、安装在所述阀杆下端部的隔膜压件、连接所述隔膜和所述隔膜压件的连接构件。此外，所述连接构件具有与所述隔膜压件连接的棒状部，和在所述连接构...

本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯...

本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测...

本发明提供一种在垫片上不产生形变的条件下易于进行维护的高压气体用的阀门。该高压气体用的阀门(V)被设为如下的阀门，其特征在于，在被形成于所述阀门(V)的阀体(1)上的贯穿孔(5)的内部设置有座部件(6)，并且所述座部件(6)在贯穿孔内部...

本发明提供一种实现小型化并且不使用焊接就能够进行制造的接头块。该接头块具有块主体(10)和安装在形成于块主体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)的封闭构件(50)，该接头块具有：密封机构，其具有形成于块主体(10)的相对面(15b...

本发明提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。具备致动器(3)的阀(1)中，倍力机构(30)具有在放大驱动力时不会变形的多个第一杠杆(31)，各个第一杠杆(31)具有接受来自弹簧承受部件(22)的弹簧承受部(22...

本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接...

本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(...

提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2...

提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，...

提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮...

目的在于提供螺纹部分的结构简单并且即使使用者对旋转操作部件施加过度的旋转力也能够可靠地用预定的紧固力紧固阀的阀的过度紧固防止装置。过度紧固防止装置具备：底座部；第一阀杆，与底座部的螺纹孔螺合；第二阀杆，移动自如地插入第一阀杆的插入空间的...

本发明提供一种为了使用加热器适当地进行原料的供给的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部的流体加热部(1)；以及对流体加热部进行加热的加热器(10)，加热器具有发热体(10a)和金属制的传热部件(10b)，传热部件...

在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。此外，能够容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。在管理者终端(3)和信息处理装置(2)被构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信的系统中，管理者终端(3)...