致动器、阀、以及流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。具备致动器(3)的阀(1)中，倍力机构(30)具有在放大驱动力时不会变形的多个第一杠杆(31)，各个第一杠杆(31)具有接受来自弹簧承受部件(22)的弹簧承受部(22A)的力的施力点部(内端部(31E))、抵接于中间壳体(17)的下表面(17F)并成为第一杠杆(31)的转动中心的支点部(外端部(31D))、以及向移动部件(15)传递力的作用点部(外侧部(31B)的对第二突起部(33C)抵接的部分)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器、阀、以及流体控制装置
本专利技术涉及一种使用于半导体制造装置等的流体管路中的致动器、阀、以及流体控制装置。
技术介绍
已知一种具备倍力机构的阀的方案(例如参照专利文献1)，其中，所述倍力机构通过利用杠杆原理的具有柔软性的施力部件来放大力。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第6059259号说明书
技术实现思路
(一)要解决的技术问题但是，在专利文献1所公开的倍力机构中，会由于施力部件会发生形变而耐久性差，无法在开闭次数多的阀中使用。因此，本专利技术的目的在于，提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。(二)技术方案为了实现上述目的，本专利技术一方式的致动器具备：壳体(casing)；往复运动部件，其设置为能够在所述壳体内往复运动；驱动单元，其设置于所述壳体内，且使所述往复运动部件驱动；倍力机构，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力放大；以及移动部件，其接受通过所述倍力机构所放大的力而移动，所述倍力机构具有配置于所述移动部件的周向且在放大所述驱动力时不会变形的多个杠杆，各个杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个杠杆的转动中心的支点部、以及向所述移动部件传递力的作用点部。另外，也可以为，所述施力点部为所述各个杠杆的内端部，所述支点部为所述各个杠杆的外端部，所述作用点部位于所述内端部与所述外端部之间。另外，也可以为，所述倍力机构具备保持所述多个杠杆的保持件(retainer)。另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第一杠杆，所述倍力机构具有：第一倍力部，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力倍增；以及第一传递部，其传递通过所述第一倍力部所倍增的力，所述第一倍力部具有配置于所述往复运动部件的周向的所述多个第一杠杆，所述第一传递部具有对应于所述多个第一杠杆而设置的多个第一传递部件，各个第一杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第一杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第一传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第一杠杆的作用点部进行线接触的第一接触部。另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第二杠杆，所述倍力机构还具备：第二倍力部，其放大通过所述第一传递部所传递的力；以及第二传递部，其将通过所述第二倍力部所放大的力传递至所述移动部件，所述第二倍力部具有对应于所述第一传递部件而设置的多个第二杠杆，所述第二传递部具有对应于所述多个第二杠杆而设置的多个第二传递部件，各个第二杠杆具有接受来自所述第一传递部的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第二杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第二传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第二杠杆的施力点部进行线接触的第二接触部，各个第二传递部件具有对各个第二杠杆的作用点部进行线接触的第三接触部。另外，也可以为，所述驱动单元具备：活塞，其通过从外部所供给的驱动流体而驱动，且连接有所述往复运动部件；以及施力单元，其朝向所述移动部件对所述往复运动部件施力。另外，本专利技术一方式的阀具备：壳体，其连接于所述主体；往复运动部件，其设置为能够在所述壳体内往复运动；驱动单元，其设置于所述壳体内，且使所述往复运动部件驱动；倍力机构，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力放大；以及移动部件，其为了通过所述阀芯使所述流体通路开闭，而设置为能够相对于所述主体接近移动及分离移动，且接受通过所述倍力机构所放大的力而移动，所述倍力机构具有配置于所述移动部件的周向且在放大所述驱动力时不会变形的多个杠杆，各个杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个杠杆的转动中心的支点部、以及向所述移动部件传递力的作用点部。另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第一杠杆，所述倍力机构具有：第一倍力部，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力倍增；以及第一传递部，其传递通过所述第一倍力部所倍增的力，所述第一倍力部具有配置于所述往复运动部件的周向的所述多个第一杠杆，所述第一传递部具有对应于所述多个第一杠杆而设置的多个第一传递部件，各个第一杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第一杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第一传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第一杠杆的作用点部进行线接触的第一接触部。另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第二杠杆，所述倍力机构还具备：第二倍力部，其放大通过所述第一传递部所传递的力；以及第二传递部，其将通过所述第二倍力部所放大的力传递至所述移动部件，所述第二倍力部具有对应于所述第一传递部件而设置的多个第二杠杆，所述第二传递部具有对应于所述多个第二杠杆而设置的多个第二传递部件，各个第二杠杆具有接受来自所述第一传递部的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第二杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第二传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第二杠杆的施力点部进行线接触的第二接触部，各个第二传递部件具有对各个第二杠杆的作用点部进行线接触的第三接触部。另外，本专利技术一方式的流体控制装置是通过多个流体控制设备所构成的流体控制装置，所述多个流体控制设备中的至少一个为上述的阀。(三)有益效果根据本专利技术，能够提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。附图说明图1表示第一实施方式的处于闭合状态的阀的纵剖视图。图2表示第一实施方式的阀的倍力机构附近的剖面立体图。图3的(a)表示将第一杠杆(第二杠杆)和第一保持件(第二保持件)组合的状态的立体图；图3的(b)表示第一保持件(第二保持件)的立体图。图4表示第一实施方式的阀处于闭合状态时的倍力机构的剖视图。图5表示第一实施方式的阀处于开启状态时的倍力机构的剖视图。图6是第二实施方式的处于闭合状态的阀的纵剖视图。图7是第二实施方式的阀的倍力机构附近的剖面立体图。图8是将倍力机构和移动部组合的状态的立体图。图9是倍力机构和移动部的分解立体图。图10的(a)是第一杠杆(第二杠杆)的侧视图；图10的(b)是第一传递部件的侧视图；图10的(c)是第二传递部件的侧视图。图11的(a)是第二实施方式的阀处于闭合状态的倍力机构和移动部的俯视图；图11的(b)是沿着(a)的XI-XI线的剖视图。图12的(a)是第二实施方式的阀处于开启状态的倍力机构和移动部的俯视图；图12的(b)是沿着(a)的XII-XII线的剖视图。图13是表示半导体制造装置的概要图。具体实施方式参照附图来对本专利技术一实施方式的致动器、阀、以及流体控制装置进行说明。针对第一实施方式的致动器和阀进行说明。图1示出了第一实施方式的处于闭合状态的阀1的纵剖视图。如图1所示，阀1为隔膜阀(diaphragmv本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器，其特征在于，具备：/n壳体；/n往复运动部件，其设置为能够在所述壳体内往复运动；/n驱动单元，其设置于所述壳体内，且使所述往复运动部件驱动；/n倍力机构，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力放大；以及/n移动部件，其接受通过所述倍力机构所放大的力而移动，/n所述倍力机构具有配置于所述移动部件的周向且在放大所述驱动力时不会变形的多个杠杆，/n各个杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个杠杆的转动中心的支点部、以及向所述移动部件传递力的作用点部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170928 JP 2017-188104;20170928 JP 2017-188116;201.一种致动器，其特征在于，具备：
壳体；
往复运动部件，其设置为能够在所述壳体内往复运动；
驱动单元，其设置于所述壳体内，且使所述往复运动部件驱动；
倍力机构，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力放大；以及
移动部件，其接受通过所述倍力机构所放大的力而移动，
所述倍力机构具有配置于所述移动部件的周向且在放大所述驱动力时不会变形的多个杠杆，
各个杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个杠杆的转动中心的支点部、以及向所述移动部件传递力的作用点部。


2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述施力点部为所述各个杠杆的内端部，所述支点部为所述各个杠杆的外端部，所述作用点部位于所述内端部与所述外端部之间。


3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，所述倍力机构具备保持所述多个杠杆的保持件。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的致动器，其特征在于，所述多个杠杆具有多个第一杠杆，
所述倍力机构具有：
第一倍力部，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力倍增；以及
第一传递部，其传递通过所述第一倍力部所倍增的力，
所述第一倍力部具有配置于所述往复运动部件的周向的所述多个第一杠杆，
所述第一传递部具有对应于所述多个第一杠杆而设置的多个第一传递部件，
各个第一杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第一杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第一传递部件传递力的作用点部，
各个第一传递部件具有对各个第一杠杆的作用点部进行线接触的第一接触部。


5.根据权利要求4所述的致动器，其特征在于，所述多个杠杆具有多个第二杠杆，
所述倍力机构还具备：
第二倍力部，其放大通过所述第一传递部所传递的力；以及
第二传递部，其将通过所述第二倍力部所放大的力传递至所述移动部件，
所述第二倍力部具有对应于所述第一传递部件而设置的多个第二杠杆，
所述第二传递部具有对应于所述多个第二杠杆而设置的多个第二传递部件，
各个第二杠杆具有接受来自所述第一传递部的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第二杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第二传递部件传递力的作用点部，
各个第一传递部件具有对各个第二杠杆的施力点部进行线接触的第二接触部，
各个第二传递部件具有对各个第二杠杆的作用点部进行线接触的第三接触部。


6.根据权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：中泽正彦，中村伸夫，中田知宏，筱原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP