流路组件以及阀装置制造方法及图纸

提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。

Flow path assembly and valve device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流路组件以及阀装置
本专利技术涉及一种流路组件以及使用该流路组件的阀装置、流量控制装置、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法。
技术介绍
在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确计量后的处理气体向处理腔室供给，使用了将开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备集成化了的流体控制装置。在上述那样的流体控制装置中，代替管接头，使形成有流路的设置块(以下，称为基块)沿着基板的长度方向配置，在该基块上设置包括连接有多个流体设备、管接头的接头块等的各种流体设备，从而实现集成化(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-3013号公报专利文献2：日本特许4137267号专利文献3：日本特开2010-190430号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在各种制造工艺中的处理气体的供给控制中，要求更高的响应性，需要使流体控制装置尽可能地小型化、集成化，并设置在更靠近作为流体的供给目的地的处理腔室的位置。半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化发展，与之相应地也需要增加自流体控制装置向处理腔室内供给的流体的供给流量。另外，为了提高处理气体的供给控制的响应性，缩短流路是必不可少的，也提出了将节流孔、过滤器等功能部件集成于阀装置的阀体的技术(参照专利文献2、3等)。像这样，在将节流孔、过滤器等功能部件集成于阀装置的阀体的流路等时，需要长期可靠地对节流孔、过滤器等功能部件与划定流路的构件之间进行密封的技术。本专利技术的一个目的在于提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，其中，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。本专利技术的其他目的在于提供一种为了形成流路的一部分而将上述流路组件内置于阀体的阀装置、流量控制装置、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法。用于解决问题的方案本专利技术的流路组件是将板状构件和划定彼此连接的流体流路的金属制的第1流路构件以及第2流路构件一体化而成的流路组件，所述板状构件设于所述第1流路构件以及第2流路构件之间，具有对在所述流体流路内流通的流体施加特定的作用的作用部，所述第1流路构件以及第2流路构件具有环状的相对面，该相对面配置在所述流体流路的开口的周围，隔着所述板状构件而彼此相对，所述流路组件在所述相对面的外侧还具有介于所述第1流路构件以及第2流路构件之间的环状的弹性构件，所述第1流路构件以及第2流路构件中的一者具有凿紧部，该凿紧部将所述第1流路构件以及第2流路构件和所述板状构件一体化，并且，以所述相对面中的一者朝向所述相对面中的另一者的方式对所述第1流路构件以及第2流路构件中的另一者施加力，对所述板状构件与所述相对面之间进行密封，所述弹性构件受到来自所述凿紧部的力而在所述第1流路构件以及第2流路构件之间被压扁，对该第1流路构件以及第2流路构件之间进行密封。优选的是，能够采用这样的结构：所述弹性构件配置在与所述凿紧部直接接触的位置。此外，能够采用这样的结构：作用于所述第1流路构件以及第2流路构件的所述弹性构件的复原力作为用于对所述板状构件与所述相对面之间进行密封的力的一部分而发挥作用。更加优选的是，能够采用这样的结构：所述作用部包括节流孔。本专利技术的阀装置是具有块状的阀体的阀装置，该阀体划定相对的上表面和底面、以及在所述上表面和底面之间延伸的侧面，所述阀体划定在所述上表面开口并且内置阀元件的收纳凹部、与所述收纳凹部连接的初级侧流路、以及与所述收纳凹部连接的次级侧流路，所述阀元件具有：阀座，其具有形成于该阀座的一端面的环状的座面、形成于该阀座的另一端面的环状的密封面、以及形成于所述座面和密封面的内侧并且将所述一端面以及另一端面贯通的流通流路；阀座支承件，其具有与所述阀座的密封面抵接并且对来自该密封面的按压力进行支承的支承面；以及隔膜，其设置为能够与支承于所述阀座支承件的所述阀座的座面抵接和分离，所述隔膜通过该隔膜与所述阀座的座面之间的间隙而使所述次级侧流路和所述阀座的流通流路连通，所述阀座支承件具有：密封面，其与所述收纳凹部的内壁面的一部分协同动作而将所述初级侧流路和所述次级侧流路之间的连通切断；以及迂回流路，其连接所述初级侧流路和所述阀座的流通流路，所述阀座支承件由将板状构件和划定彼此连接的流体流路的金属制的第1流路构件以及第2流路构件一体化而成的流路组件构成，所述板状构件设于所述第1流路构件以及第2流路构件之间，并且具有对在所述流体流路内流通的流体施加特定的作用的作用部，所述第1流路构件以及第2流路构件具有环状的相对面，该相对面配置在所述流体流路的开口的周围，隔着所述板状构件而彼此相对，所述阀座支承件在所述相对面的外侧还具有介于所述第1流路构件以及第2流路构件之间的环状的弹性构件，所述第1流路构件以及第2流路构件中的一者具有凿紧部，该凿紧部将所述第1流路构件以及第2流路构件和所述板状构件一体化，并且，以所述相对面中的一者朝向所述相对面中的另一者的方式对所述第1流路构件以及第2流路构件中的另一者施加力，对所述板状构件与所述相对面之间进行密封，所述弹性构件受到来自所述凿紧部的力而在所述第1流路构件以及第2流路构件之间被压扁，对该第1流路构件以及第2流路构件之间进行密封。本专利技术的流量控制装置是对流体的流量进行控制的流量控制装置，该流量控制装置包括上述的阀装置。本专利技术的流量控制方法在流体的流量控制中使用包括上述结构的阀装置的流体控制装置。本专利技术的流体控制装置是排列有多个流体设备的流体控制装置，所述多个流体设备包括上述的阀装置。本专利技术的半导体制造方法在需要在密闭的腔室内利用处理气体进行处理工序的半导体装置的制造工艺中，在所述处理气体的流量控制中使用上述的阀装置。本专利技术的半导体制造装置具有向处理腔室供给处理气体的流体控制装置，所述流体控制装置包括多个流体设备，所述流体设备包括上述的阀装置。专利技术的效果根据本专利技术，通过设置弹性构件，除了对第1流路构件以及第2流路构件的相对面之间进行密封以外还对相对面的外侧进行密封，因此能够长期可靠地对介入有板状构件的构件之间进行密封。附图说明图1A是在本专利技术的一实施方式的阀装置的局部包含纵截面的主视图。图1B是图1A的阀装置的俯视图。图1C是图1A的阀装置的仰视图。图1D是图1A的阀装置的侧视图。图2是内盘的剖视图。图3是阀座的剖视图。图4A是图1A的阀装置的主要部分放大剖视图，是表示阀元件被关闭的状态的图。图4B是图1A的阀装置的主要部分放大剖视图，是表示阀元件被打开的状态的图。图5是内置于图1A的阀装置的本专利技术的一实施方式的流路组件的放大剖视图。图6是本专利技术的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流路组件，其是将板状构件和划定彼此连接的流体流路的金属制的第1流路构件以及第2流路构件一体化而成的流路组件，所述板状构件设于所述第1流路构件与所述第2流路构件之间，并且具有对在所述流体流路内流通的流体施加特定的作用的作用部，其中，/n所述第1流路构件以及所述第2流路构件具有环状的相对面，该相对面配置在所述流体流路的开口的周围，隔着所述板状构件而彼此相对，/n所述流路组件在所述相对面的外侧还具有介于所述第1流路构件与所述第2流路构件之间的树脂制的环状的弹性构件，/n所述第1流路构件以及所述第2流路构件中的一者具有凿紧部，所述凿紧部将所述第1流路构件以及所述第2流路构件和所述板状构件一体化，并且，以所述相对面中的一者朝向所述相对面中的另一者的方式对所述第1流路构件以及所述第2流路构件中的另一者施加力，对所述板状构件与所述相对面之间进行密封，/n所述弹性构件受到来自所述凿紧部的力而在所述第1流路构件与所述第2流路构件之间被压扁，对该第1流路构件与该第2流路构件之间进行密封。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171031 JP 2017-2104231.一种流路组件，其是将板状构件和划定彼此连接的流体流路的金属制的第1流路构件以及第2流路构件一体化而成的流路组件，所述板状构件设于所述第1流路构件与所述第2流路构件之间，并且具有对在所述流体流路内流通的流体施加特定的作用的作用部，其中，
所述第1流路构件以及所述第2流路构件具有环状的相对面，该相对面配置在所述流体流路的开口的周围，隔着所述板状构件而彼此相对，
所述流路组件在所述相对面的外侧还具有介于所述第1流路构件与所述第2流路构件之间的树脂制的环状的弹性构件，
所述第1流路构件以及所述第2流路构件中的一者具有凿紧部，所述凿紧部将所述第1流路构件以及所述第2流路构件和所述板状构件一体化，并且，以所述相对面中的一者朝向所述相对面中的另一者的方式对所述第1流路构件以及所述第2流路构件中的另一者施加力，对所述板状构件与所述相对面之间进行密封，
所述弹性构件受到来自所述凿紧部的力而在所述第1流路构件与所述第2流路构件之间被压扁，对该第1流路构件与该第2流路构件之间进行密封。


2.根据权利要求1所述的流路组件，其中，
所述弹性构件配置在与所述凿紧部直接接触的位置。


3.根据权利要求1或2所述的流路组件，其中，
作用于所述第1流路构件以及所述第2流路构件的所述弹性构件的复原力作为用于对所述板状构件与所述相对面之间进行密封的力的一部分而发挥作用。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的流路组件，其中，
在所述相对面中的至少一者形成有环状的突起部，该突起部被自所述凿紧部受到的力压扁而对所述板状构件与所述相对面之间进行密封。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的流路组件，其中，
所述作用部包括节流孔。


6.一种阀装置，其是具有块状的阀体的阀装置，所述阀体划定相对的上表面和底面、以及在所述上表面和所述底面之间延伸的侧面，其中，
所述阀体划定在所述上表面开口并且内置阀元件的收纳凹部、与所述收纳凹部连接的初级侧流路、以及与所述收纳凹部连接的次级侧流路，
所述阀元件具有：
阀座，其具有形成于该阀座的一端面的环状的座面、形成于该阀座的另一端面的环状的密封面、以及形成于所述座面和所述密封面的内侧并且将所述一端面以及所述另一端面贯通的流通流路；
阀座支承...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边一诚，执行耕平，相川献治，中田知宏，松田隆博，篠原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP