本实用新型涉及晶圆扩膜设备的技术领域，具体为一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，基板上竖向滑动连接有扩膜载台，安装座上可拆卸连接有第一辅助板，第一辅助板上连接有第一光电开关，扩膜载台上沿周向间隔固定连接有与基板竖向滑动配合的两组第一导向杆...

本实用新型属于的晶圆加工设备技术领域，具体为一种裂片机的旋转平台，所述的设备支架上设有两组平台支撑板，两组所述的平台支撑板上设有轨道，所述的移动平台底部设有与轨道配合的滑块，所述的移动平台上转动连接有压板支撑板，所述的压板支撑板底部固定...

本实用新型属于晶圆加工生产设备的技术领域，具体为一种操作便捷的晶圆扩膜设备，扩膜设备主体上固定连接有与晶圆膜移动压环对应的晶圆膜辅助压环，晶圆膜辅助压环内侧壁上竖向滑动连接有扩膜升降板，扩膜升降板上可拆卸连接有扩膜凸台，扩膜凸台与晶圆膜...

本实用新型涉及激光开槽设备的技术领域，尤其是一种激光开槽设备快速拆除装置，包括开槽机的前侧和控制箱两侧之间对称设置的拆除装置，所述的拆除装置包括开槽机的前侧固定连接的配合块、以及开槽机的控制箱的前侧固定连接的与配合块匹配卡设连接的凸块，...

本实用新型属于的晶圆加工设备技术领域，具体为一种晶圆裂片装置，第一支撑平台后端自左到右依次设有：紫外激光器、第一扩束镜、第一光挡、第一旋转电机等；第一支撑平台前端自右到左依次设有：第一红外激光器、第二扩束镜、第二光挡等；第一支撑平台后端...

本实用新型属于晶圆加工设备的技术领域，具体为一种匹配多尺寸晶圆的扩膜机扣膜盖板，扣板底部开设有圆槽，圆槽内转动连接有第一连接件，圆槽内沿周向间隔固定连接有四组安装底座，四组所述的安装底座上均滑动连接有拉杆，所述的拉杆上固定连接有第二连接...

本实用新型属于的晶圆加工设备技术领域，具体为一种LED晶圆劈刀限位结构，所述的机架上设有固定板，所述的固定板上滑动连接有规定板，所述的规定板上间隔固定连接有两组限位箱，两组所述的限位箱上端均设有弹簧固定块，所述的限位箱内滑动连接有劈刀，...

本实用新型属于晶圆扩膜设备的技术领域，具体为一种匹配多尺寸晶圆的扩膜机载台，第一驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机上均设有第一减速机、第二减速机、第三减速机，第一减速机、第二减速机、第三减速机上均竖向设有第一螺杆、第二螺杆、第三螺杆，...

本实用新型属于晶圆切割的技术领域，具体为一种用于实现晶圆隐切和表面开槽功能的激光光路，该激光光路系统包括激光光路装置和控制检测系统。激光光路装置包括激光器、聚焦透镜组、分光棱镜、反射镜、分束镜、光路整形镜、光阑、半波片、激光倍频器装置等...

本实用新型属于晶圆切割设备取片设备的技术领域，具体为一种带寻边功能的晶圆取片装置，机架固定连接有模组电机，机架上横向滑动连接有电动机固定板，电动机固定板上转动连接有托板连接块，托板连接板块由搬运动力装置驱动，托板连接块上固定连接有晶圆托...

本实用新型属于晶圆切割设备上料装置的技术领域，具体为一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手...

本实用新型提供了一种电源前端保护电路，包括瞬态抑制单元、反接保护单元、过压保护单元和抛负载保护单元，所述瞬态抑制单元的输入端连接电源，所述瞬态抑制单元的输出端连接所述反接保护单元的输入端，所述反接保护单元的输出端连接所述抛负载保护单元的...

本发明属于晶圆激光切割的技术领域，具体为一种半导体晶圆激光加工设备及圆心定位方法，所述的机架经竖向滑动组件连接有光学箱，所述的光学箱下端固定连接有距离传感器，所述的机架上设有两组X轴直线导轨，两组所述的X轴直线导轨上滑动连接有连接板，所...

本实用新型属于晶圆切割设备的技术领域，具体为一种双焦点激光隐形切割装置，所述的激光器上设有第一旋转电机，所述的第一旋转电机输出轴设有第一波片，所述的第一波片右侧设有分光棱镜，所述的分光棱镜上可拆卸连接有第一光闸，所述的第一光闸右侧设有第...

本实用新型属于晶圆切割设备的技术领域，具体为一种晶圆激光切割头除尘一体化装置，所述的底板与第一安装座间可拆卸连接，所述的第一安装座上与第二安装座可拆卸连接，所述的第一安装座与第二安装座上均开设有四组安装槽，所述的第一安装座与第二安装座间...

本实用新型涉及激光开槽的技术领域，尤其是一种激光开槽设备陶瓷盘调平装置，包括发出光源的激光器、设置在激光器正前方的准直镜、倾斜设置在准直镜前方的PBS棱镜、设置在PBS棱镜下方的1/4波片一、设置在PBS棱镜上方45

本实用新型属于晶圆贴膜切割设备的技术领域，具体为一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，所述的机架上间隔开设有两组安装槽，两组所述的安装槽内均固定连接有升降伸缩杆，所述的升降伸缩杆伸出端固定连接有升降板，所述的升降板上固定连接有轴承，所述的轴承内...

本实用新型涉及晶圆激光开槽设备的技术领域，尤其是一种晶圆划片装置，包括激光器、设置在激光器正前方的第一准直镜、设置在第一准直镜前方的二向分光镜、设置在二向分光镜正前方的角度可调节的第一光闸、设置在第一光闸前方的第一45

本实用新型提供了一种基于反馈控制的氢气传感器用温度调节电路，包括电压调节单元、闭环反馈单元、调节设定单元、比较输出单元和过压保护单元，所述电压调节单元的输入端连接电源，所述电压调节单元的输出端分别连接传感器内部的加热电阻和过压保护单元，...

本实用新型属于转运晶圆定心设备的技术领域，具体为晶圆加工过程中定心装置，支撑平台上竖向设有直线模组，直线模组移动端固定连接有放置平台，放置平台上设有晶圆放置框，支撑平台上间隔固定连接有四组支撑柱，四组支撑柱上固定连接有辅助板，辅助板上间...