本技术公开了一种涂胶用匀胶机构，包括支撑机构、吸附座，还包括设置在支撑机构上的用于对晶圆上进行上胶的匀胶组件，匀胶组件与吸附座上下对应；支撑机构包括设置两层的安装板，匀胶组件包括点胶组件，点胶组件上连接有用于对点胶后胶液进行摊平的摊铺组...

本技术涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种贴膜送料机构，包括支撑机构，支撑机构上设置有用于对贴膜进行间断输送的送料组件；支撑机构包括相对设置的立板，立板相对面上均开设有环形滑槽；送料组件包括设置在立板相对面上的限位组件，限位组件位于环形...

本技术公开了一种激光光束收集器，包括环形桶，所述环形桶一端的壁内安装有凹透镜，所述环形桶靠近所述凹透镜的一端安装有凹透镜压盖，所述环形桶远离所述凹透镜压盖的一端为开口状并且其内部安装有反射锥，所述凹透镜压盖、所述凹透镜、所述环形桶、所述...

本技术涉及半导体制作工艺设备技术领域，具体是涉及一种离心式涂胶机构，包括用于对晶圆半导体进行固定的吸附机构、用于对涂胶进行喷洒和喷涂位置进行调节的调整机构，还包括用于对晶圆半导体和喷头进行同一轴心调节的定位机构；有益效果：通过设置有升降...

本技术公开了一种边缘去胶机构，包括支撑机构，还包括设置在支撑机构上的用于对晶圆进行居中固定的限位机构，限位机构上侧设置有用于对晶圆转动过程中边缘进行去胶的去胶组件；限位机构包括固定在支撑机构上的安装架，安装架上平行设置有左右螺旋丝杆、导...

本技术涉及晶圆加工领域，特别涉及一种晶圆承载吸盘，包括用于将整个装置连接到一起的承载机构，还包括能够装载多种尺寸晶圆的限位机构，所述限位机构安装在所述承载机构上端；通过上述技术方案，此装置在对晶圆进行承载吸附前，若是对尺寸为6寸的晶圆进...

本技术公开了一种晶圆扩膜装置，属于晶圆加工领域，包括支撑台，所述支撑台的顶部后侧固定连接有安装架，所述支撑台的顶部中间设置有放置机构，所述放置机构的上方设置有下压机构，所述放置机构的下方设置有顶升机构，所述放置机构和所述下压机构之间设置...

本技术公开了一种超窄切割道low‑k介质晶圆激光开槽装置，包括紫外激光器、二向分光镜、二分之一波片、第一偏振片、第一45°反射镜、第一光闸、光阑、光斑整形系统、第二45°反射镜、第二光闸、棱镜、第二偏振片、第三45°反射镜、第三光闸、第...

本技术公开了一种负压吸附式机械手，包括安装板，还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构，所述第一吸附机构固定在所述安装板下方。本技术通过设置第一吸附机构，使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫...

本技术公开了一种带DAF膜超薄晶圆激光全切装置，包括紫外激光器、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、二分之一波片、第三分光镜、第一45°反射镜、第一光闸、第二45°反射镜、第二光闸、棱镜、第一偏振片、第三光闸、第一光斑整形系统、第三45°反...

本实用新型属于晶圆取放技术领域，具体为一种晶圆取放机构，包括将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接的支撑组件，所述支撑组件前方设置有稳定吸附晶圆的吸附组件，所述支撑组件上设置有根据转运需要对所述吸附组件的提放角度进行调节的调节组件。本实...

本实用新型公开了一种凸模顶升式扩膜机，包括扩膜机本体，还包括用于对扩膜机本体进行防护的防护机构，所述防护机构安装在所述扩膜机本体上方，所述防护机构包括固定架、固定箱、移动组件、防护罩，所述固定箱安装在所述固定架前部，所述移动组件安装在所...

本实用新型公开了一种水冷式激光切割头，包括激光切割头本体，还包括用于对激光切割头本体进行冷却降温的水冷机构，所述水冷机构安装在所述激光切割头本体外侧，所述水冷机构包括防护箱、透气网、水冷组件，所述透气网安装在所述防护箱前部和后部，所述水...

本实用新型涉及半导体装置技术领域，特别是涉及一种晶圆揭膜去边装置，包括支撑组件，支撑组件一侧固定有夹持组件，支撑组件另一侧安装有切膜组件；其有益效果在于：装置对晶圆进行边膜切除时，工人根据晶圆大小使用连接螺栓将晶圆载台安装在法兰盘上以及...

本实用新型公开了一种转移机械臂，包括机械转移臂、通过电力设备带动其他结构进行转动的旋转机构，还包括能够一次装夹多个晶圆且能够对晶圆有一定保护的装夹机构；通过上述技术方案，当装置对晶圆转移时，通过机械转移臂的运作以及旋转机构的转动，将设备...

本实用新型公开了一种轨道式夹紧定位机构，包括用于限位晶圆前移与承载重量的导向装置，所述导向装置上设置有用于带动晶圆前后移动与支撑其升降的移送装置，还包括所述移送装置定比设置的用于支撑转动与带动上下移动的连接装置，所述连接装置底部设置有用...

本实用新型公开了一种晶圆夹持机械手，包括用于整体承重与限位前后滑动的支撑装置，所述支撑装置前面设置有用于提供转动动力与引导移动的连接装置，还包括所述连接装置底部设置的用于圆周均匀伸缩夹持晶圆的旋转装置。本实用新型所述的一种晶圆夹持机械手...

本实用新型涉及激光切割技术领域，特别是涉及一种具有除尘功能的激光切割头，包括底板，底板前侧固定有除尘主体，除尘主体内安装有清洁机构，清洁机构包括丝杆，丝杆一端连接有驱动源，丝杆后侧设置有滑杆，丝杆一端连接有移动块；其有益效果在于：通过增...

本实用新型提供了一种步进电机控制电路，包括电机控制驱动电路和电源转换电路，所述电源转换电路用于为电机控制驱动电路提供电源，电机控制驱动电路包括电机控制驱动单元、限位开关电路、编码器接口、电机驱动控制接口和I/O接口，电机控制驱动单元通过...

本实用新型属于气浮平台设备技术领域，具体涉及一种防磨损气浮平台，包括底座，所述底座上方设置有气浮动力机构，所述气浮动力机构上方设置有防磨损执行机构。由气罐体产生的气体经过气浮组件吹进横向气浮导轨、纵向气浮导轨上方设置的第一气浮孔，带动横...