一种防磨损气浮平台制造技术

本实用新型专利技术属于气浮平台设备技术领域，具体涉及一种防磨损气浮平台，包括底座，所述底座上方设置有气浮动力机构，所述气浮动力机构上方设置有防磨损执行机构。由气罐体产生的气体经过气浮组件吹进横向气浮导轨、纵向气浮导轨上方设置的第一气浮孔，带动横向滑块、纵向滑块移动，使得负载台横向与纵向移动，使得横向气浮导轨、纵向气浮导轨与横向滑块、纵向滑块之间形成的承载气膜面积更大、更加稳定，从而提高了气浮平台的承载能力和刚度，利用气体浮力，两个相对运动的横向滑块、纵向滑块是不接触的，横向滑块、纵向滑块和横向气浮导轨、纵向气浮导轨不会磨损，采用第一气浮孔，增加平台运动刚性和平稳性，操作简单，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种防磨损气浮平台


[0001]本技术属于气浮平台设备
，具体涉及一种防磨损气浮平台。

技术介绍

[0002]现在产品制造行业，如多片小尺寸晶圆设备、大尺寸晶圆、大尺寸面板等激光加工或检测的气浮平台主要集中于小尺寸，或大尺寸低加速，由于产品本身精密等特性，对其传送过程的洁净度和稳定性要求较高，因此通常采用非接触式的传送方式，如气浮平台。当悬浮力与工件的重力平衡时，工件便可处于稳定的悬浮状态。气浮传送方式能够避免与工件直接接触，不会产生划擦，也能够保证工件的洁净度。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN202022422412.8的中国技术专利申请文件公开了，一种高精密气浮平台，包括工作台及工作台台面上的测量装置，工作台下侧开设有送气孔，送气孔底侧连通有送气通道，送气通道远离工作台一侧固定连接有风机，工作台上侧开设有出气孔，测量装置滑动连接于工作台两侧，测量装置包括两个相对的伸缩组件及刻度尺，两个伸缩组件滑动连接与工作台两侧，刻度尺固定连接于两个伸缩组件的顶部，刻度尺上刻制有第一刻度线。
[0004]针对上述中的相关技术，该气浮平台，在使用时无法对晶圆加工承载台进行有效防磨损控制，并且仅仅依靠风机，无法对晶圆进行加工，所以亟需设计一种防磨损气浮平台来处理这些问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了一种防磨损气浮平台。
[0006]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0007]一种防磨损气浮平台，包括底座，所述底座上方设置有气浮动力机构，所述气浮动力机构上方设置有防磨损执行机构。
[0008]所述防磨损执行机构包括横向固定设置在所述底座上方的横向气浮导轨，所述横向气浮导轨上方纵向设置有纵梁，所述纵梁上方固定设置有纵向支撑台，所述纵向支撑台上方两侧固定设置有纵向气浮导轨，所述纵向支撑台上方设置有纵向滑块，所述纵向滑块上方固定设置有负载台。
[0009]优选地，所述气浮动力机构包括固定设置在所述底座下方的气罐体，所述气罐体下方固定设置有输泄气管，所述底座上方设置有气浮组件。
[0010]优选地，所述横向气浮导轨前后侧设置有导向板台，所述横向气浮导轨上方设置有第一气浮孔。
[0011]优选地，所述纵梁前后侧固定设置有横向滑块，所述横向滑块内侧设置有气浮垫。
[0012]优选地，所述气罐体前侧固定设置有压力控制器。
[0013]优选地，所述气罐体两端设置有进出气管，所述进出气管设置为正负压气体管。
[0014]有益效果在于：
[0015]本技术公开了一种防磨损气浮平台，通过设置的气浮动力机构与防磨损执行机构，使得气浮平台在工作时，不会造成磨损，由气罐体产生的气体经过气浮组件吹进横向气浮导轨、纵向气浮导轨上方设置的第一气浮孔，带动横向滑块、纵向滑块移动，使得负载台横向与纵向移动，使得横向气浮导轨、纵向气浮导轨与横向滑块、纵向滑块之间形成的承载气膜面积更大、更加稳定，从而提高了气浮平台的承载能力和刚度，利用气体浮力，两个相对运动的横向滑块、纵向滑块是不接触的，横向滑块、纵向滑块和横向气浮导轨、纵向气浮导轨不会磨损，采用第一气浮孔，增加平台运动刚性和平稳性，操作简单，使用方便。
附图说明
[0016]图1是本技术的轴等侧结构示意图；
[0017]图2是本技术的正视结构示意图；
[0018]图3是本技术的第一结构示意图；
[0019]图4是本技术的第二结构示意图；
[0020]图5是本技术的第三结构示意图；
[0021]图6是本技术的气浮组件结构示意图。
[0022]图中：1、底座；
[0023]2、气浮动力机构；201、气罐体；202、压力控制器；203、输泄气管；204、开关电磁阀；205、连接管；206、进出气管；207、气浮组件；2070、承载支台；2071、供气孔；2072、供气主管；2073、供气分管；2074、温度检测器；2075、压力检测器；2076、调节件；
[0024]3、防磨损执行机构；301、横向气浮导轨；302、导向板台；303、第一气浮孔；304、纵梁；305、横向滑块；306、气浮垫；307、纵向支撑台；308、纵向滑块；309、纵向气浮导轨；310、防撞限位开关；311、固定块；312、负载台；313、导向限位槽。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]参照图1
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6，本技术提供的一种实施例：一种防磨损气浮平台，包括底座1，底
座1上方设置有气浮动力机构2，气浮动力机构2上方设置有防磨损执行机构3。
[0029]本实施例中：气浮动力机构2包括固定设置在底座1下方的气罐体201，气罐体201下方固定设置有输泄气管203，底座1上方设置有气浮组件207。气罐体201前侧固定设置有压力控制器202。气罐体201两端设置有进出气管206，进出气管206设置为正负压气体管。输泄气管203外表面固定设置有开关电磁阀204，气罐体201两端固定设置有连接管205，气浮组件207包括承载支台2070，承载支台2070下方设置有供气主管2072，承载支台2070一侧设置有供气孔2071，供气主管2072两侧横向等距固定设置有供气分管2073，供气分管2073一端焊接设置有调节件2076，供气主管2072下方一侧固定设置有温度检测器2074，温度检测器2074一侧设置有压力检测器2075。气罐体201用于为平台运动提供整体动力气源，气浮组件207用于对平台运动提供分散执行动力形成气体浮力，开关电磁阀204用于控制气罐体201中气体进气与排气。
[0030]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防磨损气浮平台，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上方设置有气浮动力机构(2)，所述气浮动力机构(2)上方设置有防磨损执行机构(3)；所述防磨损执行机构(3)包括横向固定设置在所述底座(1)上方的横向气浮导轨(301)，所述横向气浮导轨(301)上方纵向设置有纵梁(304)，所述纵梁(304)上方固定设置有纵向支撑台(307)，所述纵向支撑台(307)上方两侧固定设置有纵向气浮导轨(309)，所述纵向支撑台(307)上方设置有纵向滑块(308)，所述纵向滑块(308)上方固定设置有负载台(312)。2.根据权利要求1所述的一种防磨损气浮平台，其特征在于：所述气浮动力机构(2)包括固定设置在所述底座(1)下方的气罐体(201)，所述气罐体(201)下方固...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐新玉，陈松涛，何在田，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：