一种防磨损气浮平台制造技术

本实用新型专利技术属于气浮平台设备技术领域，具体涉及一种防磨损气浮平台，包括底座，所述底座上方设置有气浮动力机构，所述气浮动力机构上方设置有防磨损执行机构。由气罐体产生的气体经过气浮组件吹进横向气浮导轨、纵向气浮导轨上方设置的第一气浮孔，带动横向滑块、纵向滑块移动，使得负载台横向与纵向移动，使得横向气浮导轨、纵向气浮导轨与横向滑块、纵向滑块之间形成的承载气膜面积更大、更加稳定，从而提高了气浮平台的承载能力和刚度，利用气体浮力，两个相对运动的横向滑块、纵向滑块是不接触的，横向滑块、纵向滑块和横向气浮导轨、纵向气浮导轨不会磨损，采用第一气浮孔，增加平台运动刚性和平稳性，操作简单，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种防磨损气浮平台


[0001]本技术属于气浮平台设备
，具体涉及一种防磨损气浮平台。

技术介绍

[0002]现在产品制造行业，如多片小尺寸晶圆设备、大尺寸晶圆、大尺寸面板等激光加工或检测的气浮平台主要集中于小尺寸，或大尺寸低加速，由于产品本身精密等特性，对其传送过程的洁净度和稳定性要求较高，因此通常采用非接触式的传送方式，如气浮平台。当悬浮力与工件的重力平衡时，工件便可处于稳定的悬浮状态。气浮传送方式能够避免与工件直接接触，不会产生划擦，也能够保证工件的洁净度。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN202022422412.8的中国技术专利申请文件公开了，一种高精密气浮平台，包括工作台及工作台台面上的测量装置，工作台下侧开设有送气孔，送气孔底侧连通有送气通道，送气通道远离工作台一侧固定连接有风机，工作台上侧开设有出气孔，测量装置滑动连接于工作台两侧，测量装置包括两个相对的伸缩组件及刻度尺，两个伸缩组件滑动连接与工作台两侧，刻度尺固定连接于两个伸缩组件的顶部，刻度尺上刻制有第一刻度线。
[0004]针对上述中的相关技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防磨损气浮平台，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上方设置有气浮动力机构(2)，所述气浮动力机构(2)上方设置有防磨损执行机构(3)；所述防磨损执行机构(3)包括横向固定设置在所述底座(1)上方的横向气浮导轨(301)，所述横向气浮导轨(301)上方纵向设置有纵梁(304)，所述纵梁(304)上方固定设置有纵向支撑台(307)，所述纵向支撑台(307)上方两侧固定设置有纵向气浮导轨(309)，所述纵向支撑台(307)上方设置有纵向滑块(308)，所述纵向滑块(308)上方固定设置有负载台(312)。2.根据权利要求1所述的一种防磨损气浮平台，其特征在于：所述气浮动力机构(2)包括固定设置在所述底座(1)下方的气罐体(201)，所述气罐体(201)下方固...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐新玉，陈松涛，何在田，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：