一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于晶圆贴膜切割设备的技术领域，具体为一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，所述的机架上间隔开设有两组安装槽，两组所述的安装槽内均固定连接有升降伸缩杆，所述的升降伸缩杆伸出端固定连接有升降板，所述的升降板上固定连接有轴承，所述的轴承内圈固定连接有割刀支架，所述的机架上转动连接有与轴承内圈固定连接的辅助伸缩杆，所述的辅助伸缩杆由动力装置驱动，所述的割刀支架上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体，所述的升降板上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。贴膜配合的辅助压膜装置。贴膜配合的辅助压膜装置。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置


[0001]本技术属于晶圆贴膜切割设备的
，具体为一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置。

技术介绍

[0002]随着科技的不断进步和社会的不断发展，晶圆作为封装半导体行业的基础被广泛应用；
[0003]现有贴膜机多为半自动贴膜机，一般通过手动将膜压在晶圆和钢环上，再通过手动切割的方式切割膜，效率低，自动化程度低。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供了一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，解决了现有贴膜机切割组件上，如人工切割膜，效率低，自动化程度低的问题。
[0005]本技术采取的方案为：一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，包括机架，其特征在于，所述的机架上间隔开设有两组安装槽，两组所述的安装槽内均固定连接有升降伸缩杆，所述的升降伸缩杆伸出端固定连接有升降板，所述的升降板上固定连接有轴承，所述的轴承内圈固定连接有割刀支架，所述的机架上转动连接有与轴承内圈固定连接的辅助伸缩杆，所述的辅助伸缩杆由动力装置驱动，所述的割刀支架上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体，所述的升降板上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。
[0006]优选的，所述的辅助压膜装置包括割刀支架上转动连接的压板支架，所述的压板支架与升降板间固定连接有两组压紧伸缩杆，所述的压板支架底部开设有收纳槽，两组所述的压紧伸缩杆伸出端固定连接有与收纳槽配合的压板本体。
[0007]优选的，所述的动力装置包括机架上固定连接的电动机，所述的电动机转动轴轴与辅助伸缩杆间经联轴器连接。/>[0008]本技术的有益效果：
[0009]一、通过辅助压紧膜装置，可以实现在切割膜之前，将膜压紧到切割板上，在经过切割刀进行切割，保证切割完毕后的晶圆膜边缘光滑，没有明显锯齿状；
[0010]二、结构简单，操作方便，解决了传动人工调节膜与贴膜钢环间距，在提高了完成质量的同时也提高贴膜效率。
附图说明
[0011]图1是本技术的立体图视角之一。
[0012]图2是本技术的立体剖视图视角之一。
[0013]图3是图2的A局部放大图。
[0014]附图标记：1、机架；2、安装槽；3、升降伸缩杆；4、升降板；5、轴承；6、割刀支架；7、辅助伸缩杆；8、割刀本体；9、压板支架；10、压紧伸缩杆；11、收纳槽；12、压板本体；13、电动机；
14、联轴器。
具体实施方式
[0015]有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图1
‑
3实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
[0016]下面将参照附图描述本技术的各示例性的实施例。
[0017]实施例一，一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，包括机架1，其特征在于，所述的机架1上间隔开设有两组安装槽2，两组所述的安装槽2内均固定连接有升降伸缩杆3，所述的升降伸缩杆3伸出端固定连接有升降板4，所述的升降板4上固定连接有轴承5，所述的轴承5内圈固定连接有割刀支架6，所述的机架1上转动连接有与轴承5内圈固定连接的辅助伸缩杆7，所述的辅助伸缩杆7由动力装置驱动，所述的割刀支架6上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体8，所述的升降板4上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。
[0018]实施例二，在实施例一的基础上，所述的辅助压膜装置包括割刀支架6上转动连接的压板支架9，所述的压板支架9与升降板4间固定连接有两组压紧伸缩杆10，所述的压板支架9底部开设有收纳槽11，两组所述的压紧伸缩杆10伸出端固定连接有与收纳槽11配合的压板本体12。
[0019]实施例三，在实施例二的基础上，所述的动力装置包括机架1上固定连接的电动机13，所述的电动机13转动轴轴与辅助伸缩杆7间经联轴器14连接。
[0020]该实施例在使用的时候，在进行切割时，首先启动压紧伸缩杆10，使得压紧板将膜与钢环紧密贴合，在通过启动升降伸缩杆3，可以带动升降板4动作，辅助伸缩杆7、升降板4也随之动作，将切割刀本体8移动到切割位置，在移动升降伸缩杆3过程中，压紧伸缩杆10进行收缩动作，直到切割刀本体8与切割位置贴合，此时在启动电动，带动切割刀支架6周向动作，在切割刀本体8的作用下，将膜切割完毕，解决了现有贴膜机切割组件上，一般是通过人工调节膜与钢环间的距离，人工调节膜与晶圆钢环间的距离，由于在切割过程中由于安装误差等因素，无法将膜与晶圆钢环的距离距离调节最小，从而导致切割膜边缘不平整，甚至将膜损坏的技术问题。
[0021]上面所述只是为了说明本技术，应该理解为本技术并不局限于以上实施例，符合本技术思想的各种变通形式均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置，包括机架（1），其特征在于，所述的机架（1）上间隔开设有两组安装槽（2），两组所述的安装槽（2）内均固定连接有升降伸缩杆（3），所述的升降伸缩杆（3）伸出端固定连接有升降板（4），所述的升降板（4）上固定连接有轴承（5），所述的轴承（5）内圈固定连接有割刀支架（6），所述的机架（1）上转动连接有与轴承（5）内圈固定连接的辅助伸缩杆（7），所述的辅助伸缩杆（7）由动力装置驱动，所述的割刀支架（6）上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体（8），所述的升降板（4）上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛彦杰，何在田，董和平，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：